Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si

При Т = 85 K на кристалах n-Ge та n-Si досліджено концентраційні залежності параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами у M= α^Φ||/α^Φ⊥ у широкому інтервалі концентрацій (1,9 • 10¹²≤ nе ≡ NI ≤ 4,6 • 10¹⁷см⁻³). Показано, що в n-Ge (на відміну від n-Si) параметр М є малочутливим до...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2017
Автори: Гайдар, Г.П., Баранський, П.І.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2017
Назва видання:Доповіді НАН України
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126644
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si / Г.П. Гайдар, П.І. Баранський // Доповіді Національної академії наук України. — 2017. — № 5. — С. 45-50. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-126644
record_format dspace
spelling irk-123456789-1266442017-11-30T03:02:47Z Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si Гайдар, Г.П. Баранський, П.І. Механіка При Т = 85 K на кристалах n-Ge та n-Si досліджено концентраційні залежності параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами у M= α^Φ||/α^Φ⊥ у широкому інтервалі концентрацій (1,9 • 10¹²≤ nе ≡ NI ≤ 4,6 • 10¹⁷см⁻³). Показано, що в n-Ge (на відміну від n-Si) параметр М є малочутливим до наявності домішок у кристалах аж до концентрацій ~10¹⁵см⁻³. При Т = 85 K на кристаллах n-Ge и n-Sі исследованы концентрационные зависимости параметра анизотропии термо-ЭДС увлечения электронов фононами M= α^Φ||/α^Φ⊥ в широком интервале концентраций (1,9 • 10¹²≤ nе ≡ NI ≤ 4,6 • 10¹⁷см⁻³). Показано, что в n-Ge (в отличие от n-Sі) параметр М является малочувствительным к наличию примесей в кристаллах вплоть до концентраций ~10¹⁵см⁻³. At Т = 85 K, the concentration dependences of the anisotropy parameter of electron-phonon drag thermal e.m.f. in a wide range of concentrations (1,9 • 10¹²≤ nе ≡ NI ≤ 4,6 • 10¹⁷см⁻³) are investigated on n-Ge and n-Si crystals. It is shown that the parameter M is insensitive in n-Ge (unlike n-Si) to the presence of impurities in the crystals up to concentrations ~10¹⁵см⁻³. 2017 Article Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si / Г.П. Гайдар, П.І. Баранський // Доповіді Національної академії наук України. — 2017. — № 5. — С. 45-50. — Бібліогр.: 9 назв. — укр. 1025-6415 DOI: doi.org/10.15407/dopovidi2017.05.045 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126644 621.315.592 uk Доповіді НАН України Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Механіка
Механіка
spellingShingle Механіка
Механіка
Гайдар, Г.П.
Баранський, П.І.
Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
Доповіді НАН України
description При Т = 85 K на кристалах n-Ge та n-Si досліджено концентраційні залежності параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами у M= α^Φ||/α^Φ⊥ у широкому інтервалі концентрацій (1,9 • 10¹²≤ nе ≡ NI ≤ 4,6 • 10¹⁷см⁻³). Показано, що в n-Ge (на відміну від n-Si) параметр М є малочутливим до наявності домішок у кристалах аж до концентрацій ~10¹⁵см⁻³.
format Article
author Гайдар, Г.П.
Баранський, П.І.
author_facet Гайдар, Г.П.
Баранський, П.І.
author_sort Гайдар, Г.П.
title Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
title_short Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
title_full Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
title_fullStr Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
title_full_unstemmed Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si
title_sort залежність параметра анізотропії термо-ерс захоплення від концентрації домішок у кристалах n-ge та n-si
publisher Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
publishDate 2017
topic_facet Механіка
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126644
citation_txt Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si / Г.П. Гайдар, П.І. Баранський // Доповіді Національної академії наук України. — 2017. — № 5. — С. 45-50. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.
series Доповіді НАН України
work_keys_str_mv AT gajdargp zaležnístʹparametraanízotropíítermoerszahoplennâvídkoncentracíídomíšokukristalahngetansi
AT baransʹkijpí zaležnístʹparametraanízotropíítermoerszahoplennâvídkoncentracíídomíšokukristalahngetansi
first_indexed 2025-07-09T05:28:23Z
last_indexed 2025-07-09T05:28:23Z
_version_ 1837145949397319680
fulltext 45ISSN 1025-6415. Допов. Нац. акад. наук Укр. 2017. № 5 ОПОВІДІ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ © Г.П. Гайдар, П.І. Баранський, 2017 Параметр анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами ф ф || /M ⊥= α α (де ф ||α , ф ⊥α — фононні складові термо-ЕРС захоплення вздовж і поперек довгої осі ізоенергетично- го еліпсоїда відповідно) є одним із найбільш важливих параметрів теорії кінетики електрон- них процесів у багатодолинних напівпровідниках поряд із параметром анізотропії рух- ливості [1—3]. Різними авторами і навіть за допомогою різних методик було знайдено зна- чення параметра М для n-Ge, але лише для умов переважно фононного розсіяння (див., наприклад, [4, 5]). Враховуючи відмінності в значеннях М, які наводяться в окремих робо- тах, можна вважати, що найбільш імовірне значення цього параметра відповыідає величині М = (9 ± 1) для досить чистих кристалів n-Ge. Температурна залежність параметра анізотропії рухливості в окремо взятому ізоенер- гетичному еліпсоїді K = μ⊥/μ || = Km /Kτ = f (T) (μ ||, μ⊥ — рухливості носіїв заряду вздовж і поперек довгої осі ізоенергетичного еліпсоїда відповідно) для кристалів n-Ge, експеримен- тально досліджена в роботі [6], була пояснена на основі уявлень, пов’язаних із анізотроп- ним характером часу релаксації τ. У рамках припущення про анізотропний характер часу релаксації параметр анізотропії розсіяння Kτ = 〈τ||〉/〈τ⊥〉 = Km /K (а, отже, і параметр K) істотно визначається внеском домішкового розсіяння, що (при заданій температурі криста- ла) є еквівалентним залежності параметра K від концентрації домішки в його об’ємі. Тут doi: https://doi.org/10.15407/dopovidi2017.05.045 УДК 621.315.592 Г.П. Гайдар1, П.І. Баранський2 1 Інститут ядерних досліджень НАН України, Київ 2 Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Київ E-mail: gaydar@kinr.kiev.ua Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах n-Ge та n-Si Представлено членом-кореспондентом НАН України О.Є. Бєляєвим При Т = 85 K на кристалах n-Ge та n-Si досліджено концентраційні залежності параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами у || /M Φ Φ ⊥= α α у широкому інтервалі концентрацій (1,9 · 1012 � � nе ≡ NI � 4,6 · 1017 см–3). Показано, що в n-Ge (на відміну від n-Si) параметр М є малочутливим до наявнос ті домішок у кристалах аж до концентрацій ~1015 см–3. Ключові слова: кремній, германій, концентрація домішок, параметр анізотропії термо-ЕРС. ФІЗИКА 46 ISSN 1025-6415. Dopov. Nac. acad. nauk Ukr. 2017. № 5 Г.П. Гайдар, П.І. Баранський Km = m || /m⊥ — параметр анізотропії ефективної маси; m || і m⊥ — ефективні маси носіїв заряду вздовж і поперек довгої осі ізоенергетичного еліпсоїда відповідно; τ|| і τ⊥ — компоненти тензора часу релаксації за відсутності магнітного поля в лінійному наближенні вздовж і по- перек довгої осі ізоенергетичного еліпсоїда відповідно. Приймаючи до уваги те, що в приладобудуванні використовуються n-Ge та n-Si, лего- вані домішками в широкому інтервалі концентрацій, при розрахунку різних ефектів у таких кристалах (особливо при розрахунку термоелектричних і термомагнітних явищ на основі теорії анізотропного розсіяння, узагальненої на випадок електрон-фононного захоплення і пружної деформації) необхідно також знати значення М в області змішаного розсіяння. Метою даної роботи було дослідження параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення М в n-Ge та n-Si при температурі Т = 85 K у широкому інтервалі концентрацій (1,9 ⋅ 1012 � nе ≡ ≡ NI � 4,6 ⋅ 1017 см–3), що включає як змішане, так і переважно фононне розсіяння. Відомо декілька методів визначення параметра М в n-Ge та n-Si, однак, імовірно, най- більш надійним і точним з них є метод, який дозволяє розраховувати значення М на осно- ві результатів вимірів тензоопору і тензотермо-ЕРС уздовж кристалографічного напрямку, що збігається з напрямком довгої осі ізоенергетичного еліпсоїда, а саме: вздовж напрямку [111] в n-Ge та вздовж [100] в n-Si (тобто, в n-Ge за умов X // J , ∇T // [111], а в n-Si — за умов X // J , ∇T // [100], де Х — механічне напруження на кристалі; J — струм; ∇T — гра дієнт температури). Відомо [1, 7], що в умовах переважно фононного розсіяння між компонентами тензора питомого опору ρ̂ і тензора термо-ЕРС захоплення фα̂ в одновісно деформованих багато- долинних напівпровідниках існує зв’язок, який визначається співвідношенням ф ф 00 ( ) ( )( ) (2 1) 3 ( 1) (1 ) (2 ) ( 1) (2 ) ik ik ik X XM K K K M K K M K K M α ρ− + −= δ + − + ρ − +α , (1) де ф ф 0( ) /ik Xα α і 0( ) /ik Xρ ρ — компоненти фононної частини тензотермо-ЕРС і тензо- опору, віднесені до відповідних значень тих же параметрів у недеформованому кристалі; ikδ — дельта-функція. Слід зазначити, що вираз (1) застосовний не лише в області фононного, але також і в об- ласті змішаного розсіяння, в якій для параметра K [8] залишається справедливою формула [ ] 0 3 1 2 2 l p t K ∞ρ = − ρ . (2) Тоді, як це було зроблено для розсіяння на фононах, базуючись на (1), можна записати вираз, що пов'язує параметр М з експериментально вимірюваними величинами α0, α∞ і ρ0, ρ∞: ф 0 0 ф 2 2 (2 1) 1 (2 1) 1 e e K K M K K ∞ ∞ = = α −α α+ − + − α −α α , (3) де α 0 і α ∞ — значення термо-ЕРС в недеформованих і в деформованих зразках відповідно; ф 0α і ф ∞α — фононні складові термо-ЕРС, виміряні в недеформованому і пружно деформо- 47ISSN 1025-6415. Допов. Нац. акад. наук Укр. 2017. № 5 Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах ваному кристалі; ρ0, [ ]l p t ∞ρ — питомий опір недеформованого ρ (Х = 0) ≡ ρ 0 і одновісно пружно деформованого ρ (Х → ∞) ≡ ρ ∞ [ρ ∞ відповідає області насичення функції ρ = ρ (Х)] кристала в кристалографічному напрямку [111] для £Ge [ ] [100] для £Si n l p t n ⎧ −⎪→ ⎨ −⎪⎩ ; αe — дифузійна (електронна) складова термо-ЕРС, величина якої розраховується за формулою Писаренка [9]. Однак необхідно приймати до уваги, що при збільшенні концентрації домішки зміню- ються умови розсіяння носіїв. У цьому випадку в формулу для обчислення αe вводиться поправка на залежність ефективної довжини пробігу від концентрації іонізованих домішок при змішаному розсіянні. Тоді формула Писаренка матиме наступний вигляд: ( ) * 3/2 3 0 2 (2 ) lne k m kT e n h ⎡ ⎤πα = ϕ γ +⎢ ⎥ ⎢ ⎥⎣ ⎦ , (4) де ϕ — деяка функція від 6 I L ρ γ = ρ ; ρL і ρI — фононна і домішкова складові питомого опору при змішаному розсіянні, формули для їх розрахунку наведено в [8]; n0 — концентрація носіїв заряду; e — заряд електрона; k — стала Больцмана; T — температура; h — стала Планка; * 3/2 23 ||m N m m⊥= — ефективна маса густини станів; N — число ізоенергетичних еліпсої дів, Рис. 1. Концентраційні залежності (при Т = 85 K) термо-ЕРС кристалів n-Ge: 1 — недеформованого (“чо- тиридолинного”); 2 — деформованого (“однодолинного”) за умов Х = 0,8 ГПа, X // J , ∇T // [111] Рис. 2. Залежності (при Т = 85 K) параметрів анізотропії термоЕРС захоплення ф ф || /M ⊥= α α (1) та ані зотропії рухливості K = μ⊥/μ || (2) від концентрації домішок ne ≡ NI у кристалах n-Ge за умов X // J , ∇T // [111] 48 ISSN 1025-6415. Dopov. Nac. acad. nauk Ukr. 2017. № 5 Г.П. Гайдар, П.І. Баранський зокрема для n-Ge 4 при 0, 1 при 0,6 ГПа і 77 K, X N X Т =⎧ = ⎨ =⎩ � для n-Si 6 при 0, 2 при 0,6 ГПа і 77 K, X N X Т =⎧ = ⎨ =⎩ � Виміри термо-ЕРС і тензотермо-ЕРС проводили при температурі 85 K на кристалах n-Ge та n-Si в інтервалі концентрацій 1,9 ⋅ 1012 — 4,6 ⋅ 1017 см–3, а виміри холлівських па раметрів (представлені у таблиці) і тензоопору — при Т = 77 K. Спочатку вимірювали пи- томий опір без тиску ρ 0 і термо-ЕРС α 0, після чого зразки n-Ge та n-Si переводили в “одно-” та “дводолинний” стан відповідно і вимірювали значення ρ∞ і α∞. Досліджувані зразки пе- реводили в “одно-” та “дводолинний” стан накладанням на них механічного нап руження Х = 0,8 ГПа: в умовах X // J , ∇T // [111] — у випадку n-Ge; в умовах X // J , ∇T // [100] у випадку n-Si. Експериментально визначені α 0 і α ∞, представлені на рис. 1, значення параметра K, одержані в результаті вимірів ρ∞ і ρ 0 за формулою (2) (рис. 2 та 3, криві 2), і розрахована за ви разом (4) величина дифузійної (електронної) складової термо-ЕРС дозволили обчис- лити па раметр анізотропії термо-ЕРС захоплення ф ф || / ( )eM f n⊥= α α = для кристалів n-Ge (рис. 2, кривa 1) та n-Si (рис. 3, кривa 1) у припущенні, що ne ≡ NI. Як випливає з рис. 2, значення М для n-Ge (крива 1) залишається сталим [на відміну від n-Si (див. рис. 3, крива 1)] у досить широкому концентраційному інтервалі (1,9 ⋅ 1012 � � ne � 1015 см–3) і складає приблизно 9,8, що непогано узгоджується з відомими даними для цього параметра в області переважно фононного розсіяння. Рис. 3. Залежності (при Т = 85 K) параметрів анізотропії термо-ЕРС захоплення ф ф || /M ⊥= α α (1) та ані зотропії рух ливості K = μ⊥/μ || (2) від концентрації домішок ne ≡ NI у кристалах n-Si за умов X // J , ∇T // [111] Параметри досліджуваних зразків n-Ge № n0, см–3 μ 77K, см2/В ⋅ с αe, мкВ/град 1 1,9 ⋅ 1012 34 800 1340 2 1,8 ⋅ 1013 33 400 1147 3 2,8 ⋅ 1013 33 300 1109 4 7,5 ⋅ 1013 32 000 1024 5 3,8 ⋅ 1014 27 700 910 6 1,7 ⋅ 1015 21 100 808 7 3,5 ⋅ 1015 20 000 760 8 3,3 ⋅ 1016 13 000 609 9 4,6 ⋅ 1017 4950 424 49ISSN 1025-6415. Допов. Нац. акад. наук Укр. 2017. № 5 Залежність параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення від концентрації домішок у кристалах Звертає на себе увагу різний характер впливу збільшення концентрації легуючої до- мішки на електронну і фононну підсистеми в n-Ge та n-Si. Якщо зміни параметра анізо- тропії рухливості K = μ⊥/μ || в n-Ge і n-Si зі збільшенням концентрації якісно ідентичні (див. рис. 2 і 3, криві 2), то зміни параметра анізотропії термо-ЕРС захоплення М істотно відрізняються (див. рис. 2 і 3, криві 1). Таким чином, експериментально встановлено, що в n-Si із підвищенням концентрації носіїв заряду nе параметр анізотропії термо-ЕРС захоплення М змінюється монотонно, то ді як в n-Ge після значення концентрації ∼ 1015 см–3 спостерігається його різкий спад. Зменшення параметра М пов’язане з підвищенням ефективності розсіювання як електро- нів (що захоплюються фононами) на домішкових іонах, так і фононів на електронах про- відності в полі іонізованої домішки. Відсутність зниження параметра М в n-Ge (в інтер- валі концентрацій 1012—1015) пов’язана, імовірно, з особливостями фононної підсистеми в цьому матеріалі. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. Gaidar G.P., Baranskii P.I. Thermoelectric properties of transmutation doped silicon crystals. Phys. B: Condensed Matter. 2014. 441. P. 80—88. 2. Баранський П.І., Бєляєв О.Є., Гайдар Г.П., Кладько В.П., Кучук А.В. Проблеми діагностики реальних напівпровідникових кристалів. Київ: Наук. думка, 2014. 462 с. 3. Gaidar G., Baranskii P. Optimization of the thermoelectric figure of merit in the transmutation-doped and ordinary n-Si crystals. Phys. Status Solidi A. 2015. 212, № 10. P. 2146—2153. 4. Herring C., Geballe T.H., Kunzler J.E. Analysis of Phonon-Drag Thermomagnetic Effects in n-Type Germanium. Bell System Tech. J. 1959. 38, № 3. P. 657—747. 5. Баранский П.И., Буда И.С., Коломоец В.В., Самойлович А.Г., Сусь Б.А. Исследование анизотропии эффекта увлечения электронов фононами в n-Ge. ФТП. 1974. 8, № 11. С. 2159—2163. 6. Laff R.A., Fan H.Y. Magnetoresistance in n-Type Germanium at Low Temperatures. Phys. Rev. 1958. 112, № 2. P. 317—321. 7. Гайдар Г.П. Механізми формування анізотропії термоелектричних і термомагнітних явищ у багатодо- линних напівпровідниках. Фізика і хімія твердого тіла. 2013. 14, № 1. С. 7—20. 8. Баранский П.И., Буда И.С., Даховский И.В., Коломоец В.В. Электрические и гальваномагнитные явле- ния в анизотропных полупроводниках. Киев: Наук. думка, 1977. 270 с. 9. Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. Mосква: Наука, 1977. 672 с. Надійшло до редакції 11.01.2017 REFERENCES 1. Gaidar, G. P. & Baranskii, P. I. (2014). Thermoelectric properties of transmutation doped silicon crystals. Physica B: Condensed Matter, 441, pp. 80-88. 2. Barans’kyi, P. I., Bieliaiev, O. Ye., Gaidar, G. P., Klad’ko, V. P. & Kuchuk, A. V. (2014). Problems of diagnosis actual semiconductor crystals. Kiev: Naukova Dumka (in Ukrainian). 3. Gaidar, G. & Baranskii, P. (2015). Optimization of the thermoelectric figure of merit in the transmutation- doped and ordinary n-Si crystals. Phys. Status Solidi A, 212, No. 10, pp. 2146-2153. 4. Herring, C., Geballe, T. H. & Kunzler, J. E. (1959). Analysis of Phonon-Drag Thermomagnetic Effects in n-Type Germanium. Bell System Tech. J., 38, No. 3, pp. 657-747. 5. Baranskiy, P. I., Buda, I. S., Kolomoets, V. V., Samoylovich, A. G. & Sus’, B. A. (1974). Study of the anisotropy of the entrainment of electrons by phonons in n-Ge. Fizika i tekhnika poluprovodnikov, 8, No. 11, pp. 2159- 2163 (in Russian). 6. Laff, R. A. & Fan, H. Y. (1958). Magnetoresistance in n-Type Germanium at Low Temperatures. Phys. Rev., 112, No. 2, pp. 317-321. 50 ISSN 1025-6415. Dopov. Nac. acad. nauk Ukr. 2017. № 5 Г.П. Гайдар, П.І. Баранський 7. Gaidar, G. P. (2013). Mechanisms of the Anisotropy Formation of Thermoelectric and Thermomagnetic Phe- nomena in the Multi-valley Semiconductors. Fizyka i khimiia tverdogo tila, 14, No. 1, pp. 7-20 (in Uk ra i nian). 8. Baranskiy, P. I., Buda, I. S., Dakhovskiy, I. V. & Kolomoets, V. V. (1977). Electrical and galvanomagnetic phenomena in anisotropic semiconductors. Kiev: Naukova Dumka (in Russian). 9. Bonch-Bruevich, V. L. & Kalashnikov, S. G. (1977). Physics of semiconductors. Moskva: Nauka (in Russian). Received 11.01.2017 Г.П. Гайдар1, П.И. Баранский2 1 Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев 2 Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, Киев E-mail: gaydar@kinr.kiev.ua ЗАВИСИМОСТЬ ПАРАМЕТРА АНИЗОТРОПИИ ТЕРМОЭДС УВЛЕЧЕНИЯ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ ПРИМЕСЕЙ В КРИСТАЛЛАХ n-Ge И n-Si При Т = 85 K на кристаллах n-Ge и n-Sі исследованы концентрационные зависимости параметра анизо- тропии термо-ЭДС увлечения электронов фононами ф ф || /M ⊥= α α в широком интервале концентраций (1,9 ⋅ 1012 � nе ≡ NI � 4,6 ⋅ 1017 см–3). Показано, что в n-Ge (в отличие от n-Sі) параметр М является малочувствительным к наличию примесей в кристаллах вплоть до концентраций ∼1015 см–3. Ключевые слова: кремний, германий, концентрация примесей, параметр анизотропии термо-ЭДС. G.P. Gaidar1, P.I. Baranskii1 1 Institute for Nuclear Research of NAS of Ukraine, Kiev 2 V.Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of NAS of Ukraine, Kiev E-mail: gaydar@kinr.kiev.ua DEPENDENCE OF THE ANISOTROPY PARAMETER OF DRAG THERMAL E.M.F. ON THE CONCENTRATION OF IMPURITIES IN n-Ge AND n-Si CRYSTALS At Т = 85 K, the concentration dependences of the anisotropy parameter of electron-phonon drag thermal e.m.f. in a wide range of concentrations (1.9 ⋅ 1012 � nе ≡ NI � 4.6 ⋅ 1017 сm–3) are investigated on n-Ge and n-Si crys- tals. It is shown that the parameter M is insensitive in n-Ge (unlike n-Si) to the presence of impurities in the crystals up to concentrations ∼1015 cm–3. Keywords: silicon, germanium, impuritу concentration, anisotropy parameter of thermal e.m.f.