Изменения структуры многослойных рентгеновских зеркал Zr/Mg с ростом толщины наноразмерных слоёв магния - Конотопский, Л.Е.; Михайлов, И.Ф.; Копылец, И.А.; Мамон, В.В.; Кондратенко, В.В. (Металлофизика и новейшие технологии, 2017)
Методами рентгеновской дифрактометрии исследованы особенности роста многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) Zr/Mg, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что МРЗ Zr/Mg благодаря высокой степени периодичности слоёв и малому несоответствию параметров их кристаллических решёток в 1,2% когерентно рассеивают рентгеновское излучение с λ = 0,154 нм. В данной работе впервые была использована обработка и анализ данных когерентного рассеяния для описания особенностей формирования зеркал. Полученные результаты в сочетании с данными малоугловой рентгеновской дифракции позволили установить диапазон толщин слоёв магния (до ≅ 4,8–5,2 нм), в котором плёнка является несплошной. Показано, что МРЗ Zr/Mg с толщинами слоёв Mg более 5,2 нм имеют малую межслоевую шероховатость (σ ≅ 0,4 нм) и способны обеспечить высокую отражательную способность в диапазоне длин волн 25–35 нм.