Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів
В короткому огляді на прикладі вивчення особливостей формування наноструктурованих вакуумно-дугових нітридних покриттів проаналізовано вплив дії імпульсного ВЧ генератора на властивості покриттів. Встановлено, що застосування імпульсного ВЧ генератора впливає на підвищення якості нанокомпозитних пок...
Saved in:
| Date: | 2017 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Series: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130540 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів / П.В. Турбін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 86–98. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | В короткому огляді на прикладі вивчення особливостей формування наноструктурованих вакуумно-дугових нітридних покриттів проаналізовано вплив дії імпульсного ВЧ генератора на властивості покриттів. Встановлено, що застосування імпульсного ВЧ генератора впливає на підвищення якості нанокомпозитних покриттів за рахунок оптимізації розмірів кристалітів, сприяє зниженню вмісту крапельної складової та поліпшенню властивостей покриттів. |
|---|