Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах - Гончаров, А.А.; Юнда, А.Н.; Зыков, А.В.; Фареник, В.И.; Шелест, И.В.; Буранич, В.В. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)
В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или ПТ), существенно меняется количество и энергия ионов и нейтральных частиц, которые принимают участие в осаждении и формировании пленки на поверхности подложки, что приводит к формированию покрытий в различных структурных состояниях от аморфноподобного до нанокристаллического с текстурой роста перпендикулярной плоскости (00.1).