Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films

Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase e...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2004
Hauptverfasser: Shalaev, R.V., Varyukhin, V.N., Prudnikov, A.M.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2004
Schriftenreihe:Functional Materials
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-139485
record_format dspace
spelling irk-123456789-1394852018-06-21T03:05:06Z Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof. Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество. Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість. 2004 Article Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof.
format Article
author Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
spellingShingle Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
Functional Materials
author_facet Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
author_sort Shalaev, R.V.
title Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_short Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_full Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_fullStr Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_full_unstemmed Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_sort influence of uv-radiation on structure and properties of diamond-like a-c:n films
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
publishDate 2004
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485
citation_txt Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
series Functional Materials
work_keys_str_mv AT shalaevrv influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
AT varyukhinvn influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
AT prudnikovam influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
first_indexed 2025-07-10T08:21:32Z
last_indexed 2025-07-10T08:21:32Z
_version_ 1837247447378690048
fulltext ���������� �� �� ������ �� ���� ���� �� ����� �� ����� ������ ��������α���������� ���������� ������� ������ ������ ������ �������� ����� �� ��� ������� ��� ������������ �������� ������� �� �������� �� �������� � !�" #��$� �� ���� %&''( )������� ������� �� �� ��� ��� �� ������ �� � ��* +�*�� , + �� ' -.�� / �0 ��� 1���$�� ��������� �� ��� ��� �� �� ��� +��+������ �� �������2���� ���$�� ������� ,α2���/ ����� � ���� ����� ���*�� ��1� $��� +��������� 3�� �0 ����������� �� ��� ���*��� ���� � ����� ��� $��� �� �� �� $� �������1� ��� ��� ���+���� +���� ������� ��� �� ��� �� �� �� ��+��1�� ��� �� �� �������� �� ��� ���� ��� �������� 4 ����� �������� 567�89:;<7=> 67?@<�9:9> A88<7�B;:=AC ;B?�7D89;AC EF2 A ;A�AGB�B A?<@�7=AC =7;>8BHBD GBI=B89A ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ A 8;BD89;: :<G:?BKB�BL=>M K<7=BH =A96A�: @�<76B�: α2��� ; K6B�7887 AM 6B89:� NL=:6@O7=B� �9B EF2BL<@�7=A7 6B89B;BD KB;76M=B89A K<7=BH PQQ7H9A;=B �<C 96:;<7=AC �6:QA9=BD Q:?>� ;7�79 H 6B89@ 896@H2 9@6=BD @KB6C�B�7==B89A K<7=BH A @<@��:79 AM H:�789;B� )������2���� ��������������� ����� ��� � +������ �������� ��� ������� � ����� �����2 ��� � � �� ��4 � R�������R +��+������S ���� ��������� *��� ����������� �������� ��2 �������� $�����+���$������ ���� !������� �� ��� ���� +��+������ �� � ������� �� �����2 ����� �� ��� ���*�� ��������� �� �� ��+��2 ���� ������������� +��$���� ��� ���� �� ��������������� ��������� �� ��� ��� +���� ���� ��� ���*�� � ����� ��� �� � ����� $���� ���*� ��� ������ �#������� ���1��� ��� ���*�� ��� 4 ����� �� ��� �������� �$2 ������� 3�� ��������� ���� ���� �� ��� �� �� �� ������� ��� �������2���� ���� ����� ��2 ������ � ���� ����� ���*�� �� ��� �� ���� ���+�������1��� ��� �� T'U&V� � �� ��2 �������� ��� ��� � �� ������������ +����2 ���� ����� ���*�� +�������� �� ��� ������ �� � ����*��� �� ������� �������1��� ��� ��� �� �� ���*��� � ���� *���� ��� ���� ���� �� �0 ��� 1���$�� ��������� �� ��� �� �� ��� +��+���� �� �������2���� ���$�� ������� ����� T(V � ���� ����� ���*�� ��� $��� �� ����� 3�� α2�� ����� *��� ���*� $� ��������� �+ �2 ������ �� � ���+���� ������ �� + �� �������� �����+���� �� 4 ���W ����� � $�������� 3�� ���*��� � ����� �� ��� ���� ,� $������/ *�� ���������� *��� ��� ��� ��� ��������� �� � )!�X2 YZ ���� �� ���+ ���� �0 �������� �� +�*�� ������� �$� � ' -.�� � � ������ �� �������2���� ����� *��� +��+������ ��2 +������ ���������$�� �� ��� ��������� �+��2 ���� ��� �� �� *�� �$������� �� � � �������� +������� ��� ��� �� ���� +�������� �� ��� ������ ����� 3� �$���� ��� �������2���� ������ � �������� ��������� �� ���$������� *��� �� ��1����� 1�� � ��� + 0��2Y[ *�� ���� � ������ *�� �������� *���� ���� �� +����$�� �� ��������� ��� ������ ��� ��� � $������ � ����� *��� ��������������� ���������� ����� ��� �������� ������ �� ���2 ������ ��� + ��� ��� ����* �� �� �� � � �� ��� ������� 3�� ������ �������� �� � ������� $��� ��#�� �� ��� ������� ���� �� ��������� ��� +� � ��� ������ �� ��� $���� � ������� 2 ��� �+��� �� �� ��� ���� ���+���$�� �� ��W� �� ��� � $������� 3�� � ������ ������ ���+�� �� � ���� +���� �� ��#�� �� ��� $���� *��� ��� ���� ������� ������� ��� �+��� ��� 3�� � $������ �� +������ �� ��� ������ $� �+����� ����+��� +������ 3� �� �� �� +����$�� �� ��������� ��� � $������ ���� �$�1� *��� ��� ���+ ����� �������� � ���� ��� ���� ���*�� ,\��� '/� 3� ���� ���� � ����� ������ �� ��#�� �� ��� ������� ���� �$�1� ��� ������ �� ��� ����� (YZ� ���������� �+����� ���2 \ �������� [�������� ''� ���& , ZZ(/ ] ZZ( ^ ����� �� ��� ������ _������� ��������� ���� �� �� ��� �� ���� ��� ����� ,4 ���W ������/ ��� ��� �� ��� � ��2 ������� �� ��� � $������� 3�� ��� ��� �+�� ���� �� ��� � $������ �� % �� 'Z �� � � 4 ���W �+����� *����* ,\��� / *�� ��� �� +��� ��� ��������� ���� ��� *������ ����$�� �� 0��2Y[� 3�� �+������ ��� �� �� �� ��� ��������� *�� ������� ���� ����� �������� 3�� ������ *�� ������� � ����� �� ��� ����2 $�� �� � �� � ������ ���� ��� ��� ��1����2 ���� ��� � � $������ *��� ���������� �� ��������� ������� �� ��� ��������� $��� �� ��� �#+��������� 3�� � $������ ���+���� �� *�� 1����� *����� ������ �� 'YZ �� (YZ�_ ��� ���������� ���� � �������2�� ��� ����2 ���� +�� +��������� �� ��� �#������ ���� �� ��� ������� 3�� ������ *�� +�*���� ���� �� �������� ��` ���$�� 1������ �� ��� �� 0��2Y[� a ���W ����� +����� *��� ��� �� � $�������� � $������� *��� ������� �� � ��#�� ���1��� $����� ��� ���*��� +������� 3�� ��� +���� �� �� ��� ����$�� *�� ���2 ������� $� �++��+����� ��1���� �� ��� 1��2 � +��� ��� *�� �$� � Z� 3���� 3�� ���� ���*��� ���� *�� ' Z ��� ���� ����+�� � �������2���� ���$�� ������� ����� ,b ��� cd ������/ *��� �$������ *��� +��+������ 1�� ��� �1�� � *��� ������ 3�� ���+������ ��� ��������� �� ��� ����� *��� ������� $� ��� ��������� +��������� ,��� ��# +���� ��� ��������� � �����/� ��� � $2 ������ ���+���� ��� ��� ������ �� ��� ����2 ����������� ��������� �������� �� ��� � $2 ������� 3�� ���� ����� 1����� ���� ���� $��*� + �� ����� $��*� ��� ������� �+��2 ������+�� ���������� �� �������2���� α2�� ����� �� 1���$�� ��� ���� ! �+������ ������ ,*�1������� ����� efZ �� '�ZZ ��/ *��� ������� � � ���� � g[!2&[) �+�����2 +���������� 3�� ����� �� b ������ ���������� *��� � �� �+������ ����� �� ��� ���+� ������2 ���� ���� *��� ��� �0 ���+����� ��� ���2 �������� ,\��� &/ *�������� ��� � � �+����� �� ��� ����� ���*� *���� � ����2 ������� ��� ��+���� �� � �� �������2���� ����+�� � ���$�� ����� TYV� 3�� ���� ����2 ������ *��� ��� � �� ���+ �+������ ����� �� ����������W�� $� � ��*�� �����+������ $��� �� ! ��� �� 1���$�� �������� � ���� ����� ��� ����� $��� ����� ���������� ������� �� ���*��� � ����� ,�������� *��� �������1� �������/ ���� ��� ��� �� ��� ���� ��������� � � �� ������� ���+����W������ �� ��� ����2 ������� ���� *��� �0 ���+����� �� ��� �+���� � , ���� � ������/ ��� ���� �� ������2 �$�� ��� ��� ���� �����+������ $��� �� 1��2 �$�� ��� ! �+������ ������ ��� ��� � ����2 ���������� ����� $��*� ,������/ ������ -� ��� �� ���� ��� �0 ��������� �#����� ����2 �������� ��� ���*��� � ����� �� ��� ����� �� � ���������� ��$����� �� ���*��� �������� �� ��� � ����� ��� ���������� �� ��� ���+�2 ��� +���� �������� ��� ����� ������� ��� �� �� \��� � �+����� ������ ���� � 4 ���W ���+ �� ��������� �� ���� \��� '� ��������� 1��* �� ������ ��� �����2 ���� �� ���� \��� &� �$���+���� �+����� �� α2��� ����� ���*� ���� 1���� � ����������� ���������� ,b ������/S � � ���+� � ^ *���� � ���+h � ^ ������� ������� ��� �� � � � �! ����� �! "�# �$������ �� ��� ��% ��������� ���� �� �� ��� �� ���� �� ��������� ����� �� �+&.�+ ��$����W�� ����� ��� �� ��� ��� ���*�� �� ���� ������� ��� ����24 ����� ��� �� ��� T V� �+����� �� ��� cd ������ ����� �$������ �� 1���� � � $2 ������ ���+���� ��� ��� ���������� ���� $� �0 ���+����� �� ��� ���+ �+���� � ��� ���*� �� \��� (� � �� ���� ���� �� ��� � $2 ������ ���+���� �� ���������� ��� ���� �����+������ �� ��� ! ����� ��������� ���2 ������$��� �����+� ���� �� ������� �� �����2 ���� �� � �����2�������� �� ����� �� ��� ���� ��� �� �� �� ���+���� �� ���1������ \�� ��� ���� ���*� �� ��� � $������ ���+���� �� & i ZZ�_� � � $�������� �����+������ ��2 ��������� �� �$���1�� �� ��� ����� �� %ZZ ��� ���� ������� � � ����� ��������� 3�� *��� ��� ��� � ����� ���� ��� �02��2 ��������� �� ��� ���� ���*��� � ����� �� ��2 �����1� �� ��������� ��$����� ,�#��������/ �� �������� ���� ��� ���+����$�� ��� ��� ���� ���*�� ��� +��1���� �� ��������� ���������� �� ���+���� +���� �������� ��+��1�� ��� �2 � �� ��������� ��� �������� ���� 4 ����� *���� � ����������� ���+�������� �� ��� ���*��� ����������� ���� ����� '� !�-�"��$������ ��[�[������ ��)�[�� ��� �� ���� &��� �� �$ �� ��� ���� ''( ,'ff%/� � 0���0��� ����� !�0�������1� ��2_�j �� ���� '�(� '� )(( � *�+��� ��� "'&f& , ZZ /� &� ��[�� ��� ����b�� W������ 3�[�[�����1 �� ���� ,�� -.�(� &�� � ��/�� ��� &ee ,'f�f/� (� j�2��k��� 3����$���� j�[��� �� �� ���� &��� �� �$ �� ��� ���� '% ,'fff/� Y� l�)�������� ��l $��W��� ��b����� )(( � *�+�� 0����� ����������� �!" #$%&'�()�*$+*,�-.--/�-0�12+3423+3� 20�'%012&'*12��0%,05*$*��6-&7�$%�'*4�α���� �������� ! ���"���#�$�% �&�"�'#(�%�)*! 567�89:;<7=B 67?@<�9:9A �B8<��O7==C ;K<A;@ EF2 � ;A�AGB�B ;AK6BG�=�;:==C =72 ;A8BHBm KB9@O=B89� ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ � ;<:89A;B89� :<G:?BKB��L=AM K<�;BH =�96A�@ ;@�<7�� α2��� @ K6B�78� mM=�B�B 6B89@� JAC;<7=B� IB EF2BK6BG�=7==C 6B89B;Bm KB;76M=� K<�;BH 7Q7H9A;=B �<C 96:;<7==C �6:Q�9=Bm Q:?A� ;7�7 �B 6B89@ 896@H9@6=Bm @KB6C�HB;:=B89� K<�;BH � KB<�K�@n mM=� CH�89�� \��� (� �$���+���� �+����� �� α2��� ����� ���*� �� 1���� � � $������ ���+���� ��� ,cd ������/S � ^ 'YZ �_h � ^ ZZ �_h � ^ YZ �_h � ^ &YZ �_� ������� ��� �� � � � �! ����� �! "�# �$������ �� ��� ��������� ���� �� �� ��� �� ���� ��1