Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании - Филатов, Ю.Д.; Сидорко, В.И.; Ковалев, С.В.; Ковалев, В.А.; Юрчишин, О.Я.; Ветров, А.Г. (Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения, 2016)
Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и отклонение от плоскостности.