(1998). Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1998.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1998.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.