Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....
Gespeichert in:
| Datum: | 1998 |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-140770 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
irk-123456789-1407702018-07-16T01:23:21Z Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Научно-промышленные центры СНГ Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. 1998 Article Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. |
| format |
Article |
| title |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_short |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_fullStr |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full_unstemmed |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_sort |
установка автоматического контроля топологии фотошаблонов эм-602эам |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770 |
| citation_txt |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-07-10T11:12:00Z |
| last_indexed |
2025-07-10T11:12:00Z |
| _version_ |
1837258162481135616 |