Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1998)
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.