Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий - Планковский, С.И.; Шипуль, О.В.; Заклинский, С.А.; Трифонов, О.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2018)
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем выборе объема емкостей и площадей критических отверстий может быть обеспечена высокая точность заданного состава смеси. В случае необходимости генерации газовой смеси из компонент, имеющих различные показатели адиабаты, предложено производить коррекцию начального давления газов в емкостях. Это также позволит компенсировать погрешности, связанные с изготовлением конструктивных элементов генератора смеси. Приведен пример расчета генератора смеси на основе предложенного метода, который подтверждает возможность обеспечения ее компонентного состава с погрешностью порядка 0,01%.