Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпал...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2013
|
| Назва видання: | Поверхность |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147868 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-147868 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
irk-123456789-1478682019-02-17T01:25:30Z Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx Гаврилюк, О.О. Семчук, О.Ю. Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпалу нестехіометричних плівок SiOx. Проведено теоретичне дослідження теплофізичних властивостей нестехіометричних плівок SiOx. Розрахований розподіл температури на поверхні плівок SiOx, опроміненних лазерним променем з різною інтенсивністю. Показано, що при лазерному відпалі з інтенсивністю лазерного променя 59 МВт/м² температура на поверхні плівок SiOx може досягати 2100 К. На основе литературных данных рассмотрены последние достижения в области создания технологий получения кремниевых нанокристаллов и нанокомпозитных пленок, содержащих нанокристаллы кремния в диэлектрической матрице. Особое внимание уделено двум наиболее перспективным методам - температурном и лазерном отжигe нестехиометрических пленок SiOx. Проведено теоретическое исследование теплофизических свойств нестехиометрических пленок SiOx. Рассчитано распределение температуры на поверхности пленок SiOx, облученных лазерным лучом с различной интенсивностью. Показано, что при лазерном отжиге с интенсивностью лазерного луча 59 МВт/м² температура на поверхности пленок SiOx может достигать 2100 К. The last achievements in the field of creation of technologies of receiving silicon nanocrystals and the nanocomposite films containing nanocrystals of silicon in a dielectric matrix are described. The special attention is paid to two methods - temperature and laser annealing of nonstoichiometric films of SiOx. Theoretical study of thermal properties of nonstoichiometric films SiOx. Temperature distribution on the surface of SiOx films by irradiation of laser beams with varying intensity is calculated. It is shown that laser annealing with the intensity of the laser beam 59 MW/m², the temperature on the surface of the SiOx films can reach 2100K. 2013 Article Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. 2617-5975 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147868 536.331:536.42 uk Поверхность Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні |
| spellingShingle |
Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні Гаврилюк, О.О. Семчук, О.Ю. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx Поверхность |
| description |
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпалу нестехіометричних плівок SiOx.
Проведено теоретичне дослідження теплофізичних властивостей нестехіометричних плівок SiOx. Розрахований розподіл температури на поверхні плівок SiOx, опроміненних лазерним променем з різною інтенсивністю. Показано, що при лазерному відпалі з інтенсивністю лазерного променя 59 МВт/м² температура на поверхні плівок SiOx може досягати 2100 К. |
| format |
Article |
| author |
Гаврилюк, О.О. Семчук, О.Ю. |
| author_facet |
Гаврилюк, О.О. Семчук, О.Ю. |
| author_sort |
Гаврилюк, О.О. |
| title |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx |
| title_short |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx |
| title_full |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx |
| title_fullStr |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx |
| title_full_unstemmed |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx |
| title_sort |
температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок siox |
| publisher |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| publishDate |
2013 |
| topic_facet |
Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147868 |
| citation_txt |
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
| series |
Поверхность |
| work_keys_str_mv |
AT gavrilûkoo temperaturnijtalazernijvídpalnestehíometričnihplívoksiox AT semčukoû temperaturnijtalazernijvídpalnestehíometričnihplívoksiox |
| first_indexed |
2025-07-11T02:59:50Z |
| last_indexed |
2025-07-11T02:59:50Z |
| _version_ |
1837317793810219008 |