Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature ar...
Gespeichert in:
| Datum: | 2018 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149059 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-149059 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
irk-123456789-1490592019-02-20T01:24:40Z Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented. Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного моделювання розряду методом часток у комірці. Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке. 2018 Article Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149059 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in
atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are
presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for
low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the
preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented. |
| format |
Article |
| author |
Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. |
| author_facet |
Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. |
| author_sort |
Bazhenov, V.Yu. |
| title |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_short |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_full |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_fullStr |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_full_unstemmed |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_sort |
photometric diagnostics of plasma of planar capacitive rf discharge in argon at 1 atm pressure |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149059 |
| citation_txt |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bazhenovvyu photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT gubarevsm photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT tsiolkovv photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT levkods photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure |
| first_indexed |
2025-07-12T21:00:01Z |
| last_indexed |
2025-07-12T21:00:01Z |
| _version_ |
1837476350102863872 |