Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
Приведены результаты исследований по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, величины тока разряда и температуры подложки. Показано, что для каждого интервала токов разряда существует своя зависимость скоро...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/14991 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления / А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, А.С. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 104-107. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |