Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolut...
Gespeichert in:
Datum: | 2018 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2018
|
Schriftenreihe: | Functional Materials |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-154462 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1544622019-06-16T01:29:21Z Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition Levchenko, I.V. Tomashyk, V.M. Stratiychuk, I.B. Malanych, G.P. Stanetska, A.S. Korchovyi, A.A. Technology The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolution process, regions of the polishing and unpolishing solutions have been established. The polishing etchant compositions and conditions for chemical-dynamic polishing of the InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals have been proposed and optimized. 2018 Article Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1027-5495 DOI:https://doi.org/10.15407/fm25.01.165 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
topic |
Technology Technology |
spellingShingle |
Technology Technology Levchenko, I.V. Tomashyk, V.M. Stratiychuk, I.B. Malanych, G.P. Stanetska, A.S. Korchovyi, A.A. Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition Functional Materials |
description |
The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolution process, regions of the polishing and unpolishing solutions have been established. The polishing etchant compositions and conditions for chemical-dynamic polishing of the InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals have been proposed and optimized. |
format |
Article |
author |
Levchenko, I.V. Tomashyk, V.M. Stratiychuk, I.B. Malanych, G.P. Stanetska, A.S. Korchovyi, A.A. |
author_facet |
Levchenko, I.V. Tomashyk, V.M. Stratiychuk, I.B. Malanych, G.P. Stanetska, A.S. Korchovyi, A.A. |
author_sort |
Levchenko, I.V. |
title |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition |
title_short |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition |
title_full |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition |
title_fullStr |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition |
title_full_unstemmed |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition |
title_sort |
chemical-dynamic polishing of inas, insb, gaas and gasb crystals with (nh₄)₂cr₂o₇-hbr-citric acid etching composition |
publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
publishDate |
2018 |
topic_facet |
Technology |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462 |
citation_txt |
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
series |
Functional Materials |
work_keys_str_mv |
AT levchenkoiv chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition AT tomashykvm chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition AT stratiychukib chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition AT malanychgp chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition AT stanetskaas chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition AT korchovyiaa chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition |
first_indexed |
2025-07-14T06:09:29Z |
last_indexed |
2025-07-14T06:09:29Z |
_version_ |
1837601515985960960 |
fulltext |
��������
������
���������
��
�����
�����
����
��
����
��������
����
�
�
�
�
�
�
�
�
���� ������
���
�������
�����������
����������
��
�����������
�
��������������
�
�������� ����
������� ���
��
�������������
��������� �
��
��������� �� ������������
�������� �������� �������
�� �������� �� �
����� � ��� � �
��� !"!#$ %��
� �
����
�������� �
��
��
���
��� �������
����
���� �� ����� ����� ���� ��
���� ������ � ��
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
������� ��
����� ��� ���� �����������
� ���
����
���� ���� �� ��� �������
���� �������
� � ��� ���� ����
��
�� � �
������ �� ������� ������������ �������� ���� ��
��������
���
��� ������� ������ ��
����
���� �������� ������� �� ��� �� ������ ��
��� ������
��
����� ���� ���� ����� ����
� ��� �� ������ ������� ������������ ��
���
������ ���
������� �
������ �� ������ �� ��� ����� ����� ���� ��
���� ������ � ���� ���� �������
��
��������
�
��������� �� �
� ������
�� ��
�
� ������
�� �� �
� �������
�� ��
�
� ��������
��
������� �
������ �� �������
������ !"# $% ���� &'('���) � %"�*! %�#'+ )%'�*"�� ! ����� ����� ���� ' ���� !
*%"!'��#,& %"�*! %"&
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
� -�*"# !��#, ."!'�'( �*' �) % �*'
%"�*! %�#'+ $ �/$% ! �#') !,& ("*�%'"� ! * � �*"!"� �) % �*' $�%�(��'!"#'+ '
*�($�%"*/%, *%"!'*��+� 0$%�����#" �'('*'%/�1"+ �*"�'+ $% ����" %"�*! %�#'+� "
*")2� � �*"!, $ �'%/�1'& ' #�$ �'%/�1'& %"�*! % !� 3%��� 2�#, ' $*'('.'% !"�
#, � �*"!, $ �'%/�1'& *%"!'*���4 ' /�� !'+ &'(') ��'#"('���) � $ �'% !"#'+
)%'�*"�� ! ����� ����� ���� ' �����
�
�
������
��� �
�
������� �������
� ����� ����� ���� �� ���� � ����������
�
������
�
�
�
�
�
�
�
�
����
�������� ����
��� �����������
����
������
��������������
�����������
�������������
����� �� ����
5 ����2�# $% ��� &�(��# � % .�'#�##+ )%'�*"��! ����� ����� ���� *" ���� ! *%"�
!'��#'& % .�'#"&
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
� 6�*"# !��#� ."��2# �*� �!'�) �*� % .�'#�##+
#"$�!$% !��#') !'& ("*�%�"��! !�� �)�"�/� �!'�) �*� $�%�(��/!"##+ *" *�($�%"*/%' *%"!�
#')"� 6'.#"��# ��(�*/��/ �*"��� $% ���/ % .�'#�##+� 7 *") 2 �)�"�' $ ��%/��'& *" #�
$ ��%/��'& % .�'#�!� 8"$% $ # !"#� *" $*'(�. !"#� �)�"�' $ ��%/��'& *%"!#')�! *"
/( !' &�(�) ��'#"(��# � $ ��%/!"##+ )%'�*"��! ����� ����� ���� *" �����
�� �����
�����
��� ������ �
� �� �
�����
�� ������� ��
���
��������� �����
� � ����
�
�
�
�� ����
���� ��������� ��� ����
������ ������
�
��
� ��� � ��
� �� �
� ��� ���
��������� ���
�
��� �������
��� ��� ����
�� ������
� �� �
��
�
�����
� ��� ��� �� ��� ���� ������
�
�� ���
�� ����
��
��
������� �������
�� ��� ������� ������ � ������� ��������
���
��� ����
�
������
�
��� �
�� �� ����
�
����� ��� �����
� � ����
�
�
! ������� ����
����
�� ��� ����
�
�� �� ������ ��� �������
��� ����
�
��� �� ��� ���
��������� �������
����
�� ���
�
���
���
��� ���
�� �������
�� �� ��� """#$ ���
�
���������� ��%� ���� ����
�
�
��� ���
�
9::; <=>?�@AB@� C
������� D������ �� >@� ;��< E>=<FG� �� <H@�<?<�
���������II
������I<=�<@A=?I��>@�=<�<H@ J >=<F K :�L M9�����
�� ��� :��� � L����� �M
� !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+), )-.
���
���
� ��� ����� ������
��! ������
�� ���
������
��! ����
�� �� � ��� ��%
�
��
�����
��� �������� �����! ������
����! ��������&
��
�����! ���
�� �
����� ��� �� �� �� ��
��� ����
�
�
����� ����� ��
������������� �
�� � �� ��� ���
� ��
������� ���������� '(')) ����
�� ���
��
������ � �
���� ������� *'+� ��� ������� *,+
�������� ���
�� ����� �� ����
�
�� ��
���
����� �� ���
��� ��� �����
����
������
�� ���� ������ ������� ��� ������ ���� ���
%
���
�� �� �
��� ��
��
�
�����
����
������ �
�����
� �� ���
���
��� �� ��� %
���
�� �� ������ �� ��� ������
���
� � ����
�
� ���
��� �� ��
���� "� *-+
��� ��
�
�� ����������� ����
�
�� ��
���
�������� �� �� ���
�� ����
�
��� ������
��
�� ������ ������� �
�� ��� ���� ������ ����
�
��� ��� ����
�
����
� ����� ',±, ��⋅����
��� ����
�� ����
�
����
�
������
�
�
��� ��� ���� ������
��� ��� �����
�� ����
����� .��� �� ��
��� ��� ���� ���� �
�
�
��!
� ������
��� �
�� ����
�� �����
��
�
�� ��
��� ������� ��� ����������
�� ��
��� ���
�� ��������� / ����
��! ��
��
�
������ �� ���
�������
�� ��
�
�
� �
����
���
����! ����
�� � �� �� 0 �� ��� ����
�
���! ��
�� ��� ������ �� �
���
�� �� ���
������ � ������� �����! ������� ��� �����
�
�
�� �� �
��� ��
�� �������
��� �
����
�� ���
��� ���
��������
�� �� ��� ��
��
� ������
���� �� �� �� ��
� ��� ��� ����
�
���� ���
������� ��� ��
��
�
�������
�� �� ��������
��� ������ �� ��� ����
��
�������
�� ��
��� """#$ ���
��������� �
�� ������� �� ��
�
��� �����������
��
� ��������� ���
���� �����
���
� *1! 2+� ��� ��
�
��
������ �� ���� �
�
�
��� �������� ���
������
�� �� ��� ���� �
�� �� ���
�� �
��
����
%� �������� ���
��������
�� �� ���
������ ��
�
��� ��� ����
�
������
�
��
�������� �� ������
�� �� ��� 3 ���� ��� 3
�������� "� ���� ����
�
���! ��� ���� ���
���� ������ � �
��� ��
��
�
�
��� �� �
����
�
�� ���
� ���
� ��� ���� ��
�� ���
��
�
�
�
��� �� ��� �
�� %
���
���
��� ����������
��
� ��
� ����
�
������
�
�
��� ��� ���������
&�� �� �� ����
�
�����
�,#') µ�4�
�� �� ���
��!
��! ���� ���
���� ������ *5+� ��� ������� �� ��� ����!
���� ���
�� ������ � �
��� ��
��
�
��
��� �� ��� �
����
�� ���
�! ���
� ���� ��
�� ������
� ��� �
�� ������
���
0�� ��
� ��
�������� ���� ������ ���
�������� ����
�������
�
�������� �����
�� ������������ �� ���� ��� ���������
&�� ��
�� ����
�
����� ��� �
� ��
��
�
��
��
*6+� 7�� �� ����� �� ��������
� ����������
�� ��
�
���� �� ��
��� ��� ��� ����
��
����
�
�� ����! ����!
��!
�� ������ �
��� �����
�
�� ��������� ���� ����� �� ���
���
���������4�������
���������
��� ��
� �
� �� ��
� ���%
� �� �����
��� ����
��
�
�� �� ��� ����! ����!
�� ���
�� ���
��������� ������ ����
�� ����
���
� ��
��
�
�
�� ��� ����������������
������ ����
�
�� ��
���! �� ����� ���
������ � ����
�
���� ���������
�� �� ���
����
�
�� ��
��� ��� �� ��������� ���
3������� ������
�
��/����
�
����3 �
��
����! �� ���
�� ��� ������
�
��� �� ��
���
�
�� ��
��� ��� �� ����� ��� %
���
�� ��
�
��� ��
�� ������� ��� ��� ������ �� ��� �
��
�
� ��
�
��������
�� �� ��� ����
�� �����
�
���������� ��� � �� �� ���
�
&� ���
����
�� �����
� ��
��
�
����
�
����
� ������������
��� ������ ����! ����!
�� ���
��
������ � ���� ���� ����������
� ��
� ������
��� �
�
��������
��
�
��� ���� ��� ��
�
��� ���
�
����
�
� 8�� ��� � ���
�����
��
����
��
��� ��� ������ �
�� 2×2×, �� �
&�
����
��� �� ��� �����& ���������� ��
�
����
�� �����
����� �
��
�� ��� ��
����
�
��������� ��
�
��
��
� �� ���� ���� ����
��
��� �� ������ ���
���� ��
��� ����������
��� ������
��
�
��
�
��� ��� �
���
����������� ���� �� ��� � ���
����� ���
������� ��� ��
�
�� ������� �������
��� ��
�����
�� ������� �0.9 ')46! 0.9 24- ���
0.9 '4)�
� ����� ��
��
� �����
�� �
������
�������
�
���� ') �� ' µ� ������� ��� ���
���� �� ��� ����
�� ���� �
��
� '2) µ�
*:+� ��� ������ �� ������
��
����
�
��
����
���� �� �������
���! ����! ����� ��� ����
�
�� ��� ������
�
�� ��� �� ��
�
������(
����������� �� ��
��→ ���(�
��) →
→ ���(����) → �
�
�(�
��)!
���
�
�� � ���� ���� ��
��
� � ������ ��
��� �
��
9�����
��
�
��
�
��������� ��� ��
�%�
���� �� ��� ���
��������� ����
�� ���� ���
������ �������
� ����
��� ��������� �
��
������� ����� ���� ������
��� ��� ����
�� �
������
�� ��
��
�
��9�� ������� ���������
��� ������ � ��������
�� �� ��� �
�
���
�� ��� ��� �9� ������
�� ��� ��������� ��
� ����
� ����
�
��
����! ��
�
�� � ��
���
�
�� ��
�� ���� ����
� ��� ��������� ��
�
����� ����
�������
�
��������
��� �� ��� ������ � ��������� ��� �������
��������
�� �� �
�
��� �� �� ��� ���� ��
�����
&�� ��
�� ����
�
�
� ��� ����
�
����
���
�
��� ����� �� ��������������� ����
��� ��
��
�
�������
�� ��� ���� ��� �����
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
)-- � !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+),
�����
&�� �� �� ����
�
����� ��
�)�,⋅')�1 µ�4�
��� "� ����� �� �������� ���
����� ������ ����
�
���� ��� �
��� ��
��
�� ��� �������� ��
�� ���� ������ ����� ���
�������
�� �� ����
�
�
����� �
�� ���
����
�������! ��� ��
��
� ��
� ���
���������
���
��� ����
�
�� ��
��� ��� �
��
� ��
�
� �
���
���� �
�
�
��� ���� �������� �� �������
��
�� ��� �������� ���� ���� ������ ����� ���
�������
�� �� ��� ���������� ������� �����
�
�� ����
�
�� ��
��� ��� �
��� �
����
��
���
�
�� �� ��� ����
�
�
�����
��� ��� �� ����! ����!
��!
�� ����
������� ��� ��������� ��
�
������������
���������� ����
�
�� ��
���� ��� ����
�
�
����� ���� �������� ��
�
,5 ����;
����������� ����
���
�����! 1, ����; ���
�� �������
����� ��� ,) ����; ������
��
��
� ��
�� �����
�� � �����
� � �����
�
����� ��� ���� ���� ���� ��� ��� , � ��
���� ��� ��� �����
���
��� �����
�� ������� �
�
&
�
��� ���
���
�
�
����
� �������� � ���� ���� ��� �
���� ��� ����������
�� �� �����������
�
��� ����
�
�
����
� ����� -) �� �;� ���
� �������� ����
��
� �� ����� �� ��� ���� �
�� ��� ���������
�������
��! ���
� �����
�
����� �� ����
�� ����
�
�� ��
���(
��
�
�
�
�− +5��− +'1�+ = ����+ +���
�
+6�
�
�� �'�
������
�
�� ��� *�����������+4*���+ ���
�
� ��� ����
�
�
����! ��� ���
�� ����������
��� �� ��� ��� ��� �����
��
���� ��� �
��
� ��
�
� ��� �������� ������
�
�� �
��� ��� ���
�����
���
�� �������� ����
�
�� ��� ������ � ����
����! ��� �� ���� � ���� ��
� ���� ��� �������
�� ���� ����
�� ������
�� ����
� �������� ��
��� ���� � �� ��� �
����
�������
�� �
�� ���
�����
�
�
���
� ���
�
�
� �� ��
���
��� �������� �� ��� �� ����! ����!
�� ���
�� � ���� ��� ���������
�
��� ��������
� � ����������
� ����
�
���
�� � < ,=,#,=1 > ��� �
�� ����� �����
��
�� γ < 6: ��� ��� 2#') �
�� 0� ��� ����
�
�� ��� ����������� �� ������ � �
��� ��
��
���� �� ���
�
�
� ���������� ����������
��
� ��� ������� ������
�
��! ��
��
�
�����
��� �� ��
�� ����������� ���� ����
���
��� %
���
�� �� ������ � ������� �����
�
��� ��
�� ������� ��� ����
�� �� ��� ���
�
�� ��� ��� ��� ��
�
��� ������ �� �
�%
�����
�
� ��
� ������ � ��� �� ���
�� ���
%
���
� ��
� ��
�
�� �� ��� ���
����������
�
��� ��
��!
�� ��
�
���
�
�
�
���
� ��
��� ����� ����
�
������� ��� �� �� �� � �
� ��� ���
�� ����� �� ���� �
�� ������� ��
����
���
�� ��� ���� ��
� �� ��� ������ ��
�
��� ��
���
��� ���� �� �����
�
��� ����
�� ���� ���
���
��� ��
�
��� � ������
�
��
����� �?.0
�"@"�A 1)) �
�� �� �������� �� )�), µ�� ���
����������� �� ��
�%���� ��� ����
�� ��� ���
���� ��� ����� ��� �� ������ ��
��� �� 1 ����
� �� ������ ������� �
�� ������� ��
@������
� ���������� �� ���
���������
��
���� �������� ���� ��������� �� �����
�
����� �
�������� B���.���� """ � �
����
��
-))) �9 ��
�� "����������! C.0� ��
�
����
� ����� �
�������� 089
� ���
��
� ����
���� ���� �����
�
����� �� �
��
��� ������� ������ �
� ����� ����
�
���
�����
����
� ��� ��
��
�� �� ����
� �
����
� ��� ��
� ��
�
��� 9"9�6 �
����
����� �
�� ��D?> ��9:)) �
�� ������
�
�� ��
������� ���� ,2× �� '5))×�
@������
� ���������� �� ��
���� ����
����� ���� ����
�� �� �����
�
����� �
����
����� B���.���� """ � �
����
�� -))) �9
��
�� "����������! C.0� ��
�
����
�
����� �
�������� �089�
� ���
��
� �������
���� �����
�
����� �� �
��
"��������� ����
�
�� �� �� � ��� ���
������� ������ ���� ��� �������� �� �����
�
�� ��
�� ��� �������� ���� ������ ��
���
�������
�� �� ��� ������� ����������
�
�� ��� ������ �� ���
�
��� ����������
�
��� ����� ���� ��
�
�� �
����� �� ��
��
��� �
��
�� �����
�
�����
�
��� ���������
��� ��� ���� ��� ������ � ���
�
����� �����
�
�������! ������� ��� ��
�� �
�
�
������ �� ��� �������� ����
� ��� �� ���
����
�
������� ��
�� ���� ��� ���
�
���
���
� �� ����
�
� ��� '2 ; �
�� �� ��
�
�� ��
�� �������� ��
�� �
��� ��
��� ���
������
�� ��� ����
�� ��� ���
�
' �
�
�
��� ���� �� ��
��
����
��� � ����� ����
�
�� ������
� ��
��
�
�
C��� <� ��� ������������� ������� N��� ���
����� �� ������ ���������� E�� �� �OG�
E>P>>G
�
�
�
�
�
�
�
�
�E<=PBFG����E=PF=G
�
�
�
�
�
�
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
� !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+), )-;
�� ���
��� �� ���
�����
"� �����
�
�� ��� ������� �� ����! ����!
�� ���
�� ���
����������
�
��������������� ����
�
�� ��
��! ��� �� �
��
�
�� ��
��� ������
�
��� ���� ������
����
� ���
������ �
� �� �;�( �,#,,�
�����������
� 1, ����; ��� �
�� ����
�
����� )�=#:�1 µ�4�
�� ��������� ����
��
����� ��� ���%
�
��� ��� �� ���
�� �� ���
��
��
� ��������� / �
��
� ��
�� 8�� � �
���
����� ���������� ��� ����������
��
��
����� �
�� ��� ���
� ��
�
�
� ����������
����������
��� �
� �� � ;�( �,#,,�
�����������(�')#=:����( �)#:)� ������ ���
������ �8
� '��
��� ����������
��
������ �� �� ��
���
��� �� ����� ��%
�
��� ������� ��� ������
�
�� �� ���
� ��� ����
���
�� ����� ��� ����
����� �� ��
���� ��� � ���
����� ���
�������� ���
� ��� ������
��� ��
�
������ �� ��������
�� �
�� ��
�� �� ���
� ���
���� �� ��� �
�� � *=+�
C�
�
��� ���� �� �� ��� � ���
�����
������������! ��� ����������
�� �������
����� �� ��� ����! ����!
��!
�� ����
������� �
��� ��
�� ���� ���� ��
�! ���
��
�� �� ��� ��
��
�
���
�� "� ��� ����
���
�
�� ��
��� ���
�� ""� ���� �����
����
�8
� ,�� ��� ������ � �
��� ��
�� ����
������� � ��
��� �� �� ���� 0� �
�� ��
��� ��
��
�� ��� ����
�
���� �� ���� ���
�� ����������
�������� ���� )�= µ�4�
�
�� 2�5 ��� 6�2 µ�4�
� �������
�� �
� ���
����������
��
������ �
�� �,#,,� �� �;
�����������
� ��� ����
�
�
����� ����
���
�� ������ � ����
�
����
��������
���� '�2 �� :�1 �µ4�
� �� ���
������
�
��� �
���� ����������
��
� ��� �� ��
���
C��� >� ��� �������������
����
����� �� ������� ���� Eµ�I���G �� ���� K E)G� ���� K E*G� ���� K
E<G� ���� K E=G �� ���
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
�Q
��
� �� ������ 9 K �� ������ ������� 99 K
��� ������ ������ E
R >B>P>BA S� γ R ?F ���G�
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
)-, � !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+),
��� �������
�� �� ����
�
�� ��
�� �� ���
��
� ��������� ��� � �
������� ������ ��
��� ������ � ����
�
���������� .�! ��� ���
���� ���
�� ������ ����
�
���� ����� �
��������� �� )�)2#)�' µ�4�
� �� ��� �������
�
�� �� �
��
� ��
� ��� ��� ���� ���
��
������ � ����
�
���� ��������� �� )�'#
)�- µ�4�
��
.�����
&
�
��� ����
��� � ���
�����
���� ��!
�
� ����
� � �� ��
�� ���� ����� ���
��� ��� �
� ������� ���
���
��� ���
�����
��� �����
��� ���
�� ��� ���� �����
�� � �
��� ��
�� ����� ���
������
�
��
��
��� �� ��� �� 2�5#6�2 µ�4�
�
� ���
� ��
��
�� ����� �
�� ,, �� � ;
�����������
� ��� ����
�
�� ��
��� ���
�
�
��� �� ��� �� )�)2 µ�4�
�
� ��� �
������� 8�� ��� ���� ���
�� ������ �!
��
��� ����
�
����
� �
�� ����!
� ����
���
��� �
�� �����
��� ���
� ���
����
�
��� ��
�� �
�� '6 ; �� � �
����
� ���
�� ��
��� ���
������
�
�� �
��
� ��
� ����
�������
��
� ��� ������� ��������� ��� �
��
�� ��
�� ���� �� ���� ���
�� ��������� ��
� ����� � ����!
� ������
��� �
�� ���� ���
�� ������ ��
8�� ���� ���
�� ������ � ��� ��
��
�
�� ��
��� ���
�� "� ��� ������
� ��� ����
���� �� ���
�����
���� ����������
��
�����
�� ��� ����
��
�
�� ��
��� ���
�� ""�
��%� ��� ���� ') ; �� ��� ����
��
������ �
0� ��� ����������
�� �� ����� ,, �� � ;
�����������
� ��� ��� ��
�� �
�
� ������
�� ��� ���� ���
�� ���� �� �������� "� ���
���� ��
�� ��� ���� ������ �! � ����������
����
�
������
�
��� ��� ��
��
�
� ��� �� �
��
�
�� ��
��� ��
��� �� ����!
�� �����
�� �
�
�
��� �� ���
������ �
� �� � ;�(
�,#'=������������(�')#=:����(�)#:)��������
��� ���� ���
�� ��
��
�
�� ��
���
���
�
��� �� ���
������ �
� �� � ;�( �,#
,,������������(�')#=:����(�)#:)��������
��� ��
��� �� ����
��
�
�� ��
��� ��� ���
���� ���
�� ������ � ���
�
��� �� ����
���
�
��� �
� �� � ;�( �'=#,,������������(
�5=#:'����(�)#''�������� 0�� �&
�
���
@
��� �
�
����!
� ��� �� ��
��� ����� ���
�
�
��
�� �� ���� ���
��! ���� ���
��
������ � �
��� ��
�� ������
����
��� ���������� �� ����! ����!
�� ���
�� ������ � �
��� ��
�� ���� �� ��� �� ��
�
�� �
�
����� ��� ����
��
� ��� �����
�
������
�
�� �
� �� � ;�( =�����������#
6'���#,)������� E
�� ���
������
�
��
�
�% �����
�� ����� ���� -, �� ''5 ���! ���
�� $� ���� ������ � ����
�
����
�
����
�
������ ����
� ��� ���� �� �,"�.� ���
�� ������ �� 8��� ��� ���� �
�
�������
���
�� �'#1�! �����������
� ��� �����
�����
�� υ��#γ����!
�
� ����
� � �� � ����� ���
��� ��� �����
����F� ��
� �8
� -���
"�
��
����� �� ��� �
����
���
�
��� ���
���� �� ���
�����
���� ���
���������� �
��
�� ��
��
� ��� �������
��� �� ��
���
��� ����������� ���������� �� ��� �����
�
���� ���
�����
���� �� ����
�� ���
����
���
� ��� ����
��� � ���
���� ����
����� ��� ������ �� ���
�
�
�
���������
�� ����
�� ������ � �
��� ��
��
�
���������������������� �� ��
��� ��� � �
���
���� ��� ����
�� ��� �� � < ,:2#-)2 >
��� ����� �� ��� �
�% �����
�� γ < 6: ����
��� ����
��� ���������
�� ���� �����������
� ��� �����
����� �� �� # ')�4� ��� ���
��������� �� 8
� -�� "� ���� � �� ����� ����
�
�� �����������
������
�
��� ������ �
�
��� ��
�� ����
� � ��
������
�
� .��� ���
�������� ��� ���� ������ � ���� ��
��
���
���������� ���
�� ������
�
! ���
� ���
���� �� ���� ���
�� ������ � ���� ��� ���
C��� T� ���
����
���� ��
����
���� ���� ����
� E�G ��
���� �������� ���� E
R >BT SG ��
E�G
��������
�� Eγ R ?F ���G �� ��� ��
���� N��� ����������� E�� �� �OG� B
�
�
�
�
�
�
�
�
�������
��
�
�
�
�
�
��� ���� K E)G� ���� K E*G� ���� K E<G� ���� K E=G�
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
� !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+), )->
��� �
�� ���������� 8��� ��� �����������
���������
�� �� ��� ����
�
���� ��� �� ���
�� �������� ���
���
�� ����
� ��
�
� ���� �� �
�� ���� ��� � ������ � ��
�
��� 0�����
��
�����
�� �� < �
�
���
�
4��� ���� ���
��� �� �� �� �
�
� ������ �
��
� =�-#
'-�, %G4�� ���
�
� ��� ���� -2 %G4�� !
��
��
� ����
����� � ���
�� ��� ��� �
����
�
��
�
��� �
��� ��
�� ������� *')+� ���
����
��� ���� �� ����
�� ��� ����
��� ����
� ��
�� ����� �
����
��
�
���
�� �� ���
����! ����!
�� ���
�� ������ � �
��� ��
�
��
� ���������������������� �� ��
����
��� ���� �
����
� ��� ��
� �� ��� ���
�
��������� ������ � ������� ����� ����
�
!
�
��
�
��� ����
�� ������
� ��
��
�
��� ���������
� 8
� 1�
��� ������� �� � ����
�� ����� ������ �
� ������ �
�� � �
���� ��
�� ����� ����
�
�� ���������
� ���� �������� 8
� 2 �����
��� ��� ���
��������� ������� ����� ����
��� �� �� �� ��� ���� ���
����� �������
���
� �
�
< -�5 ��� 0�����
�
�� ��� ���� ��
*''+! ��� ���
��������� ���������� ���� ���
������������ ��
���� ���������
.�����
&
�
��� ���� �
����� ���� ��
�� ��� ����! ����!
�� ���
�� ������ �
������ �
�!
� ����
� � �� ������ ����� ���
����
�
�
�� �� ��
�
����
�
�� ��
���
���������������������� ��� ����
�
�
���
���
�� ��
���� ������� �� ���������� ���
�
���������� ��
�
����
�� ������
� ��
���
�
� "�
� ��������� �� ���� � �� ���� ������
��
�� �� ����
�� ����
�
����
�
�� ��
���
%� �� ����
�
����! ������ �� ��
��
�
��
���������� ��� �� ��
��� �������
���
�� �����
�����
"� ��� ��������
� � ����������
� ����
�
�
��� ��� ����
��
�
�� �� ����! ����!
��
���
�� ������ �
��� ��
��
�
���������������������� ����
�
�� ��
��
����
�����
����� C�
�
� ���
����� ����
C��� @� ��� ���� �
����� ���
��
�� ����� LUV
�� ���
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
��
�����
C��� A� ��� �
����� ������ ��� �� ���� �����
<G K �
������ >G K ����
���� TG LUV �� ���
�
�
�
�
�
�
�
�
�����
�
�
�
�
�
��
�����
��� �� W������� ���������� ������ E?
�
G ��
�������� �� ��� �����X�������� �
��� ���
E �5
�
G �� ����� ����� ���� ��
���� �����
�� �
����
���� �� ��� ��
���� E�� �� � OG�
B
�
�
�
�
�
�
�
�
���������
�
�
�
�
�
�
:������
���� ?
�
� YZI�� �5
�
���� B�B A�H<
���� <<�F @�?T
���� B�T A�TF
���� <T�> H�>T
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
);+ � !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+),
�� ����
�
���� ���������
�� �� ��� �������
������
�
�� ��� @
��� �
�
���� ���� ����
�������� ��� ��� �������
�� �� ��
��
�
���
��
��� ���
�� "� ���� � ������! ��
�� ����
��
� �
� �� �;�( �,#,,� �����������! �')#=:�
��� ��� �)#:)� �
����� ��
� ��� ���� ���
�� ������ �! ���
� ��� ���� ���� ���
�� ������ � �
� �� � ;�( �,#'=�
�����������! �')#=:� ��� ��� �)#:)�
������� ��� ����
��
�
�� ��
��� �������
�
�� ���
�� ""� ���� � ������ � ��� ��� %
�
���
�� �� ��� �
��� ��
�� ������� ���
�����
�
���� ���
� ��� ������
��� ���� ��� �����
�
��� �
����
�� ���������� "� ���
�����
���� ���� ��� ���
�
�� �� �
��
� ��
�
�� ��� ����
�
�
���� ��������� ��� �����
�� � �
��� ��
�� ���� ��� �������� ��� �� �
��
�
�������
�� �� ��� ����
�
�� ��
����
��� ����
�
��� �� ����! ����!
�� ���
�� ���
���������� ����
�� ������
� �� �
��
�
�� ����
�
�� ��
��� ������������
���������� ��� ������ �� ������ �� ��
�
����� �����
� ��
�� ����
��� ��� ����
��
�
�
�����
�� ��
���� ������� ���� ���
�
�
&���
����������
<� [�V�����V� �Y�N�Y�� ?$&"#'�!
&"2!�$�:8 @
�!#� A�� "#$"%� < E>==@I>==HG�
>� U�W
���
� \�L������ 9�]����
�� � �� �99$�
B 'C� B"��� #&� <F> E>=<TG�
T� Z�D�S��� V�:�U
���� [�^��N� �� � �� A� /�"�
B"��
&"2!�$� D� "'� =T<>=A_< E>=<TG�
A� `�D��������Y� a�C��������Y� ;�`�S
���Y�
E28(� 52&%� B�$�7 B#�#&� � HT< E>==<G�
@� ;�`�S
���Y� a�C��������Y� `�;��������Y�
�!�':���#&'�� ()� <=<@ E>==AG�
H� 9�b�:�� �
Y� a�C��������Y� `�D�������� ��
� �� �(( &( �C 52&%� �!7 52&%�
&"2!�$�� '�
<<= E>=<<G�
?� V�:�L�
Y����Y�� c
�^�S�� ��Y�� `�]�9������
�dY� �� � �� 52&%� E28(�
&"2!�$� B 'C�� "� <?F
E>=<>G�
F� `�W�V����������Y��� /8(�3�"2�(#8& /&(26
"2&(#1�� � @ E<BB@G�
B� C�:�;���Y� :��� �X :��
����� �� ��� [X�����
���� �� ��� D���
����� :������ 9���������
����� D���
������ D����N E<BF@G e��
\
�����f�
<=� S�:���N� � [������ �� L����� �� ������� [X�
��������� ��
W�� �������� ;���� g� ��
E<BF?G�
<<� :�:�V��� 9�:�:����
�� V������ [ ����������
h���� c�������� E>==<G e�� iY�������f�
��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ���
� !"#��!�$ %�#&'��$(
!
)
*+), );)
|