Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition

The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolut...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2018
Hauptverfasser: Levchenko, I.V., Tomashyk, V.M., Stratiychuk, I.B., Malanych, G.P., Stanetska, A.S., Korchovyi, A.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2018
Schriftenreihe:Functional Materials
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-154462
record_format dspace
spelling irk-123456789-1544622019-06-16T01:29:21Z Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition Levchenko, I.V. Tomashyk, V.M. Stratiychuk, I.B. Malanych, G.P. Stanetska, A.S. Korchovyi, A.A. Technology The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolution process, regions of the polishing and unpolishing solutions have been established. The polishing etchant compositions and conditions for chemical-dynamic polishing of the InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals have been proposed and optimized. 2018 Article Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1027-5495 DOI:https://doi.org/10.15407/fm25.01.165 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Technology
Technology
spellingShingle Technology
Technology
Levchenko, I.V.
Tomashyk, V.M.
Stratiychuk, I.B.
Malanych, G.P.
Stanetska, A.S.
Korchovyi, A.A.
Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
Functional Materials
description The chemical dissolution of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals in (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-C₆H₈O₇ etching solutions has been investigated. The dissolution rate of the semiconductor materials has been measured as a function of etchant composition, stirring rate and temperature. The limiting stages of dissolution process, regions of the polishing and unpolishing solutions have been established. The polishing etchant compositions and conditions for chemical-dynamic polishing of the InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals have been proposed and optimized.
format Article
author Levchenko, I.V.
Tomashyk, V.M.
Stratiychuk, I.B.
Malanych, G.P.
Stanetska, A.S.
Korchovyi, A.A.
author_facet Levchenko, I.V.
Tomashyk, V.M.
Stratiychuk, I.B.
Malanych, G.P.
Stanetska, A.S.
Korchovyi, A.A.
author_sort Levchenko, I.V.
title Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
title_short Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
title_full Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
title_fullStr Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
title_full_unstemmed Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
title_sort chemical-dynamic polishing of inas, insb, gaas and gasb crystals with (nh₄)₂cr₂o₇-hbr-citric acid etching composition
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
publishDate 2018
topic_facet Technology
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/154462
citation_txt Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition / I.V. Levchenko, V.M. Tomashyk, I.B. Stratiychuk, G.P. Malanych, A.S. Stanetska, A.A. Korchovyi // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 1. — С. 165-171. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.
series Functional Materials
work_keys_str_mv AT levchenkoiv chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
AT tomashykvm chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
AT stratiychukib chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
AT malanychgp chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
AT stanetskaas chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
AT korchovyiaa chemicaldynamicpolishingofinasinsbgaasandgasbcrystalswithnh42cr2o7hbrcitricacidetchingcomposition
first_indexed 2025-07-14T06:09:29Z
last_indexed 2025-07-14T06:09:29Z
_version_ 1837601515985960960
fulltext �������� ������ ��������� �� ����� ����� ���� �� ���� �������� ���� � � � � � � � � ���� ������ ��� ������� ����������� ���������� �� ����������� � �������������� � �������� ���� ������� ��� �� ������������� ��������� � �� ��������� �� ������������ �������� �������� ������� �� �������� �� � ����� � ��� � � ��� !"!#$ %�� � � ���� �������� � �� �� ��� ��� ������� ���� ���� �� ����� ����� ���� �� ���� ������ � �� � � � � � � � � ����� � � � � � ������� �� ����� ��� ���� ����������� � ��� ���� ���� ���� �� ��� ������� ���� ������� � � ��� ���� ���� �� �� � � ������ �� ������� ������������ �������� ���� �� �������� ��� ��� ������� ������ �� ���� ���� �������� ������� �� ��� �� ������ �� ��� ������ �� ����� ���� ���� ����� ���� � ��� �� ������ ������� ������������ �� ��� ������ ��� ������� � ������ �� ������ �� ��� ����� ����� ���� �� ���� ������ � ���� ���� ������� �� �������� � ��������� �� � � ������ �� �� � � ������ �� �� � � ������� �� �� � � �������� �� ������� � ������ �� ������� ������ !"# $% ���� &'('���) � %"�*! %�#'+ )%'�*"�� ! ����� ����� ���� ' ���� ! *%"!'��#,& %"�*! %"& � � � � � � � � ����� � � � � � � -�*"# !��#, ."!'�'( �*' �) % �*' %"�*! %�#'+ $ �/$% ! �#') !,& ("*�%'"� ! * � �*"!"� �) % �*' $�%�(��'!"#'+ ' *�($�%"*/%, *%"!'*��+� 0$%�����#" �'('*'%/�1"+ �*"�'+ $% ����" %"�*! %�#'+� " *")2� � �*"!, $ �'%/�1'& ' #�$ �'%/�1'& %"�*! % !� 3%��� 2�#, ' $*'('.'% !"� #, � �*"!, $ �'%/�1'& *%"!'*���4 ' /�� !'+ &'(') ��'#"('���) � $ �'% !"#'+ )%'�*"�� ! ����� ����� ���� ' ����� � � ������ ��� � � ������� ������� � ����� ����� ���� �� ���� � ���������� � ������ � � � � � � � � ���� �������� ���� ��� ����������� ���� ������ �������������� ����������� ������������� ����� �� ���� 5 ����2�# $% ��� &�(��# � % .�'#�##+ )%'�*"��! ����� ����� ���� *" ���� ! *%"� !'��#'& % .�'#"& � � � � � � � � ����� � � � � � � 6�*"# !��#� ."��2# �*� �!'�) �*� % .�'#�##+ #"$�!$% !��#') !'& ("*�%�"��! !�� �)�"�/� �!'�) �*� $�%�(��/!"##+ *" *�($�%"*/%' *%"!� #')"� 6'.#"��# ��(�*/��/ �*"��� $% ���/ % .�'#�##+� 7 *") 2 �)�"�' $ ��%/��'& *" #� $ ��%/��'& % .�'#�!� 8"$% $ # !"#� *" $*'(�. !"#� �)�"�' $ ��%/��'& *%"!#')�! *" /( !' &�(�) ��'#"(��# � $ ��%/!"##+ )%'�*"��! ����� ����� ���� *" ����� �� ����� ����� ��� ������ � � �� � ����� �� ������� �� ��� ��������� ����� � � ���� � � � �� ���� ���� ��������� ��� ���� ������ ������ � �� � ��� � �� � �� � � ��� ��� ��������� ��� � ��� ������� ��� ��� ���� �� ������ � �� � �� � ����� � ��� ��� �� ��� ���� ������ � �� ��� �� ���� �� �� ������� ������� �� ��� ������� ������ � ������� �������� ��� ��� ���� � ������ � ��� � �� �� ���� � ����� ��� ����� � � ���� � � ! ������� ���� ���� �� ��� ���� � �� �� ������ ��� ������� ��� ���� � ��� �� ��� ��� ��������� ������� ���� �� ��� � ��� ��� ��� ��� �� ������� �� �� ��� """#$ ��� � ���������� ��%� ���� ���� � � ��� ��� � 9::; <=>?�@AB@� C ������� D������ �� >@� ;��< E>=<FG� �� <H@�<?<� ���������II ������I<=�<@A=?I��>@�=<�<H@ J >=<F K :�L M9����� �� ��� :��� � L����� �M � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), )-. ��� ��� � ��� ����� ������ ��! ������ �� ��� ������ ��! ���� �� �� � ��� ��% � �� ����� ��� �������� �����! ������ ����! ��������& �� �����! ��� �� � ����� ��� �� �� �� �� ��� ���� � � ����� ����� �� ������������� � �� � �� ��� ��� � �� ������� ���������� '(')) ���� �� ��� �� ������ � � ���� ������� *'+� ��� ������� *,+ �������� ��� �� ����� �� ���� � �� �� ��� ����� �� ��� ��� ��� ����� ���� ������ �� ���� ������ ������� ��� ������ ���� ��� % ��� �� �� � ��� �� �� � ����� ���� ������ � ����� � �� ��� ��� ��� �� ��� % ��� �� �� ������ �� ��� ������ ��� � � ���� � � ��� ��� �� �� ���� "� *-+ ��� �� � �� ����������� ���� � �� �� ��� �������� �� �� ��� �� ���� � ��� ������ �� �� ������ ������� � �� ��� ���� ������ ���� � ��� ��� ���� � ���� � ����� ',±, ��⋅���� ��� ���� �� ���� � ���� � ������ � � ��� ��� ���� ������ ��� ��� ����� �� ���� ����� .��� �� �� ��� ��� ���� ���� � � � ��! � ������ ��� � �� ���� �� ����� �� � �� �� ��� ������� ��� ���������� �� �� ��� ��� �� ��������� / ���� ��! �� �� � ������ �� ��� ������� �� �� � � � � ���� ��� ����! ���� �� � �� �� 0 �� ��� ���� � ���! �� �� ��� ������ �� � ��� �� �� ��� ������ � ������� �����! ������� ��� ����� � � �� �� � ��� �� �� ������� ��� � ���� �� ��� ��� ��� �������� �� �� ��� �� �� � ������ ���� �� �� �� �� � ��� ��� ���� � ���� ��� ������� ��� �� �� � ������� �� �� �������� ��� ������ �� ��� ���� �� ������� �� �� ��� """#$ ��� ��������� � �� ������� �� �� � ��� ����������� �� � ��������� ��� ���� ����� ��� � *1! 2+� ��� �� � �� ������ �� ���� � � � ��� �������� ��� ������ �� �� ��� ���� � �� �� ��� �� � �� ���� %� �������� ��� �������� �� �� ��� ������ �� � ��� ��� ���� � ������ � �� �������� �� ������ �� �� ��� 3 ���� ��� 3 �������� "� ���� ���� � ���! ��� ���� ��� ���� ������ � � ��� �� �� � � ��� �� � ���� � �� ��� � ��� � ��� ���� �� �� ��� �� � � � ��� �� ��� � �� % ��� ��� ��� ���������� �� � �� � ���� � ������ � � ��� ��� ��������� &�� �� �� ���� � ����� �,#') µ�4� �� �� ��� ��! ��! ���� ��� ���� ������ *5+� ��� ������� �� ��� ����! ���� ��� �� ������ � � ��� �� �� � �� ��� �� ��� � ���� �� ��� �! ��� � ���� �� �� ������ � ��� � �� ������ ��� 0�� �� � �� �������� ���� ������ ��� �������� ���� ������� � �������� ����� �� ������������ �� ���� ��� ��������� &�� �� �� ���� � ����� ��� � � �� �� � �� �� *6+� 7�� �� ����� �� �������� � ���������� �� �� � ���� �� �� ��� ��� ��� ���� �� ���� � �� ����! ����! ��! �� ������ � ��� ����� � �� ��������� ���� ����� �� ��� ��� ���������4������� ��������� ��� �� � � � �� �� � ���% � �� ����� ��� ���� �� � �� �� ��� ����! ����! �� ��� �� ��� ��������� ������ ���� �� ���� ��� � �� �� � � �� ��� ���������������� ������ ���� � �� �� ���! �� ����� ��� ������ � ���� � ���� ��������� �� �� ��� ���� � �� �� ��� ��� �� ��������� ��� 3������� ������ � ��/���� � ����3 � �� ����! �� ��� �� ��� ������ � ��� �� �� ��� � �� �� ��� ��� �� ����� ��� % ��� �� �� � ��� �� �� ������� ��� ��� ������ �� ��� � �� � � �� � �������� �� �� ��� ���� �� ����� � ���������� ��� � �� �� ��� � &� ��� ���� �� ����� � �� �� � ���� � ���� � ������������ ��� ������ ����! ����! �� ��� �� ������ � ���� ���� ���������� � �� � ������ ��� � � �������� �� � ��� ���� ��� �� � ��� ��� � ���� � � 8�� ��� � ��� ����� �� ���� �� ��� ��� ������ � �� 2×2×, �� � &� ���� ��� �� ��� �����& ���������� �� � ���� �� ����� ����� � �� �� ��� �� ���� � ��������� �� � �� �� � �� ���� ���� ���� �� ��� �� ������ ��� ���� �� ��� ���������� ��� ������ �� � �� � ��� ��� � ��� ����������� ���� �� ��� � ��� ����� ��� ������� ��� �� � �� ������� ������� ��� �� ����� �� ������� �0.9 ')46! 0.9 24- ��� 0.9 '4)� � ����� �� �� � ����� �� � ������ ������� � ���� ') �� ' µ� ������� ��� ��� ���� �� ��� ���� �� ���� � �� � '2) µ� *:+� ��� ������ �� ������ �� ���� � �� ���� ���� �� ������� ���! ����! ����� ��� ���� � �� ��� ������ � �� ��� �� �� � ������( ����������� �� �� ��→ ���(� ��) → → ���(����) → � � �(� ��)! ��� � �� � ���� ���� �� �� � � ������ �� ��� � �� 9����� �� � �� � ��������� ��� �� �%� ���� �� ��� ��� ��������� ���� �� ���� ��� ������ ������� � ���� ��� ��������� � �� ������� ����� ���� ������ ��� ��� ���� �� � ������ �� �� �� � ��9�� ������� ��������� ��� ������ � �������� �� �� ��� � � ��� �� ��� ��� �9� ������ �� ��� ��������� �� � ���� � ���� � �� ����! �� � �� � �� ��� � �� �� �� ���� ���� � ��� ��������� �� � ����� ���� ������� � �������� ��� �� ��� ������ � ��������� ��� ������� �������� �� �� � � ��� �� �� ��� ���� �� ����� &�� �� �� ���� � � � ��� ���� � ���� ��� � ��� ����� �� ��������������� ���� ��� �� �� � ������� �� ��� ���� ��� ����� ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� )-- � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), ����� &�� �� �� ���� � ����� �� �)�,⋅')�1 µ�4� ��� "� ����� �� �������� ��� ����� ������ ���� � ���� ��� � ��� �� �� �� ��� �������� �� �� ���� ������ ����� ��� ������� �� �� ���� � � ����� � �� ��� ���� �������! ��� �� �� � �� � ��� ��������� ��� ��� ���� � �� �� ��� ��� � �� � �� � � � ��� ���� � � � ��� ���� �������� �� ������� �� �� ��� �������� ���� ���� ������ ����� ��� ������� �� �� ��� ���������� ������� ����� � �� ���� � �� �� ��� ��� � ��� � ���� �� ��� � �� �� ��� ���� � � ����� ��� ��� �� ����! ����! ��! �� ���� ������� ��� ��������� �� � ������������ ���������� ���� � �� �� ���� ��� ���� � � ����� ���� �������� �� � ,5 ����; ����������� ���� ��� �����! 1, ����; ��� �� ������� ����� ��� ,) ����; ������ �� �� � �� �� ����� �� � ����� � � ����� � ����� ��� ���� ���� ���� ��� ��� , � �� ���� ��� ��� ����� ��� ��� ����� �� ������� � � & � ��� ��� ��� � � ���� � �������� � ���� ���� ��� � ���� ��� ���������� �� �� ����������� � ��� ���� � � ���� � ����� -) �� �;� ��� � �������� ���� �� � �� ����� �� ��� ���� � �� ��� ��������� ������� ��! ��� � ����� � ����� �� ���� �� ���� � �� �� ���( �� � � � �− +5��− +'1�+ = ����+ +��� � +6� � �� �'� ������ � �� ��� *�����������+4*���+ ��� � � ��� ���� � � ����! ��� ��� �� ���������� ��� �� ��� ��� ��� ����� �� ���� ��� � �� � �� � � ��� �������� ������ � �� � ��� ��� ��� ����� ��� �� �������� ���� � �� ��� ������ � ���� ����! ��� �� ���� � ���� �� � ���� ��� ������� �� ���� ���� �� ������ �� ���� � �������� �� ��� ���� � �� ��� � ���� ������� �� � �� ��� ����� � � ��� � ��� � � � �� �� ��� ��� �������� �� ��� �� ����! ����! �� ��� �� � ���� ��� ��������� � ��� �������� � � ���������� � ���� � ��� �� � < ,=,#,=1 > ��� � �� ����� ����� �� �� γ < 6: ��� ��� 2#') � �� 0� ��� ���� � �� ��� ����������� �� ������ � � ��� �� �� ���� �� ��� � � � ���������� ���������� �� � ��� ������� ������ � ��! �� �� � ����� ��� �� �� �� ����������� ���� ���� ��� ��� % ��� �� �� ������ � ������� ����� � ��� �� �� ������� ��� ���� �� �� ��� ��� � �� ��� ��� ��� �� � ��� ������ �� � �% ����� � � �� � ������ � ��� �� ��� �� ��� % ��� � �� � �� � �� �� ��� ��� ���������� � ��� �� ��! �� �� � ��� � � � ��� � �� ��� ����� ���� � ������� ��� �� �� �� � � � ��� ��� �� ����� �� ���� � �� ������� �� ���� ��� �� ��� ���� �� � �� ��� ������ �� � ��� �� ��� ��� ���� �� ����� � ��� ���� �� ���� ��� ��� ��� �� � ��� � ������ � �� ����� �?.0 �"@"�A 1)) � �� �� �������� �� )�), µ�� ��� ����������� �� �� �%���� ��� ���� �� ��� ��� ���� ��� ����� ��� �� ������ �� ��� �� 1 ���� � �� ������ ������� � �� ������� �� @������ � ���������� �� ��� ��������� �� ���� �������� ���� ��������� �� ����� � ����� � �������� B���.���� """ � � ���� �� -))) �9 �� �� "����������! C.0� �� � ���� � ����� � �������� 089 � ��� �� � ���� ���� ���� ����� � ����� �� � �� ��� ������� ������ � � ����� ���� � ��� ����� ���� � ��� �� �� �� �� ���� � � ���� � ��� �� � �� � ��� 9"9�6 � ���� ����� � �� ��D?> ��9:)) � �� ������ � �� �� ������� ���� ,2× �� '5))×� @������ � ���������� �� �� ���� ���� ����� ���� ���� �� �� ����� � ����� � ���� ����� B���.���� """ � � ���� �� -))) �9 �� �� "����������! C.0� �� � ���� � ����� � �������� �089� � ��� �� � ������� ���� ����� � ����� �� � �� "��������� ���� � �� �� �� � ��� ��� ������� ������ ���� ��� �������� �� ����� � �� �� �� ��� �������� ���� ������ �� ��� ������� �� �� ��� ������� ���������� � �� ��� ������ �� ��� � ��� ���������� � ��� ����� ���� �� � �� � ����� �� �� �� ��� � �� �� ����� � ����� � ��� ��������� ��� ��� ���� ��� ������ � ��� � ����� ����� � �������! ������� ��� �� �� � � � ������ �� ��� �������� ���� � ��� �� ��� ���� � ������� �� �� ���� ��� ��� � ��� ��� � �� ���� � � ��� '2 ; � �� �� �� � �� �� �� �������� �� �� � ��� �� ��� ��� ������ �� ��� ���� �� ��� ��� � ' � � � ��� ���� �� �� �� ���� ��� � ����� ���� � �� ������ � �� �� � � C��� <� ��� ������������� ������� N��� ��� ����� �� ������ ���������� E�� �� �OG� E>P>>G � � � � � � � � �E<=PBFG����E=PF=G � � � � � � ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), )-; �� ��� ��� �� ��� ����� "� ����� � �� ��� ������� �� ����! ����! �� ��� �� ��� ���������� � ��������������� ���� � �� �� ��! ��� �� � �� � �� �� ��� ������ � ��� ���� ������ ���� � ��� ������ � � �� �;�( �,#,,� ����������� � 1, ����; ��� � �� ���� � ����� )�=#:�1 µ�4� �� ��������� ���� �� ����� ��� ���% � ��� ��� �� ��� �� �� ��� �� �� � ��������� / � �� � �� �� 8�� � � ��� ����� ���������� ��� ���������� �� �� ����� � �� ��� ��� � �� � � � ���������� ���������� ��� � � �� � ;�( �,#,,� �����������(�')#=:����( �)#:)� ������ ��� ������ �8 � '�� ��� ���������� �� ������ �� �� �� ��� ��� �� ����� ��% � ��� ������� ��� ������ � �� �� ��� � ��� ���� ��� �� ����� ��� ���� ����� �� �� ���� ��� � ��� ����� ��� �������� ��� � ��� ������ ��� �� � ������ �� �������� �� � �� �� �� �� ��� � ��� ���� �� ��� � �� � *=+� C� � ��� ���� �� �� ��� � ��� ����� ������������! ��� ���������� �� ������� ����� �� ��� ����! ����! ��! �� ���� ������� � ��� �� �� ���� ���� �� �! ��� �� �� �� ��� �� �� � ��� �� "� ��� ���� ��� � �� �� ��� ��� �� ""� ���� ����� ���� �8 � ,�� ��� ������ � � ��� �� �� ���� ������� � �� ��� �� �� ���� 0� � �� �� ��� �� �� �� ��� ���� � ���� �� ���� ��� �� ���������� �������� ���� )�= µ�4� � �� 2�5 ��� 6�2 µ�4� � ������� �� � � ��� ���������� �� ������ � �� �,#,,� �� �; ����������� � ��� ���� � � ����� ���� ��� �� ������ � ���� � ���� �������� ���� '�2 �� :�1 �µ4� � �� ��� ������ � ��� � ���� ���������� �� � ��� �� �� ��� C��� >� ��� ������������� ���� ����� �� ������� ���� Eµ�I���G �� ���� K E)G� ���� K E*G� ���� K E<G� ���� K E=G �� ��� � � � � � � � � ����� � � � � � �Q �� � �� ������ 9 K �� ������ ������� 99 K ��� ������ ������ E R >B>P>BA S� γ R ?F ���G� ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� )-, � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), ��� ������� �� �� ���� � �� �� �� �� ��� �� � ��������� ��� � � ������� ������ �� ��� ������ � ���� � ���������� .�! ��� ��� ���� ��� �� ������ ���� � ���� ����� � ��������� �� )�)2#)�' µ�4� � �� ��� ������� � �� �� � �� � �� � ��� ��� ���� ��� �� ������ � ���� � ���� ��������� �� )�'# )�- µ�4� �� .����� & � ��� ���� ��� � ��� ����� ���� ��! � � ���� � � �� �� �� ���� ����� ��� ��� ��� � � ������� ��� ��� ��� ��� ����� ��� ����� ��� ��� �� ��� ���� ����� �� � � ��� �� �� ����� ��� ������ � �� �� ��� �� ��� �� 2�5#6�2 µ�4� � � ��� � �� �� �� ����� � �� ,, �� � ; ����������� � ��� ���� � �� �� ��� ��� � � ��� �� ��� �� )�)2 µ�4� � � ��� � ������� 8�� ��� ���� ��� �� ������ �! �� ��� ���� � ���� � � �� ����! � ���� ��� ��� � �� ����� ��� ��� � ��� ���� � ��� �� �� � �� '6 ; �� � � ���� � ��� �� �� ��� ��� ������ � �� � �� � �� � ���� ������� �� � ��� ������� ��������� ��� � �� �� �� �� ���� �� ���� ��� �� ��������� �� � ����� � ����! � ������ ��� � �� ���� ��� �� ������ �� 8�� ���� ��� �� ������ � ��� �� �� � �� �� ��� ��� �� "� ��� ������ � ��� ���� ���� �� ��� ����� ���� ���������� �� ����� �� ��� ���� �� � �� �� ��� ��� �� ""� ��%� ��� ���� ') ; �� ��� ���� �� ������ � 0� ��� ���������� �� �� ����� ,, �� � ; ����������� � ��� ��� �� �� � � � ������ �� ��� ���� ��� �� ���� �� �������� "� ��� ���� �� �� ��� ���� ������ �! � ���������� ���� � ������ � ��� ��� �� �� � � ��� �� � �� � �� �� ��� �� ��� �� ����! �� ����� �� � � � ��� �� ��� ������ � � �� � ;�( �,#'=������������(�')#=:����(�)#:)�������� ��� ���� ��� �� �� �� � �� �� ��� ��� � ��� �� ��� ������ � � �� � ;�( �,# ,,������������(�')#=:����(�)#:)�������� ��� �� ��� �� ���� �� � �� �� ��� ��� ��� ���� ��� �� ������ � ��� � ��� �� ���� ��� � ��� � � �� � ;�( �'=#,,������������( �5=#:'����(�)#''�������� 0�� �& � ��� @ ��� � � ����! � ��� �� �� ��� ����� ��� � � �� �� �� ���� ��� ��! ���� ��� �� ������ � � ��� �� �� ������ ���� ��� ���������� �� ����! ����! �� ��� �� ������ � � ��� �� �� ���� �� ��� �� �� � �� � � ����� ��� ���� �� � ��� ����� � ������ � �� � � �� � ;�( =�����������# 6'���#,)������� E �� ��� ������ � �� � �% ����� �� ����� ���� -, �� ''5 ���! ��� �� $� ���� ������ � ���� � ���� � ���� � ������ ���� � ��� ���� �� �,"�.� ��� �� ������ �� 8��� ��� ���� � � ������� ��� �� �'#1�! ����������� � ��� ����� ����� �� υ��#γ����! � � ���� � � �� � ����� ��� ��� ��� ����� ����F� �� � �8 � -��� "� �� ����� �� ��� � ���� ��� � ��� ��� ���� �� ��� ����� ���� ��� ���������� � �� �� �� �� � ��� ������� ��� �� �� ��� ��� ����������� ���������� �� ��� ����� � ���� ��� ����� ���� �� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ���� ��� � ��� ���� ���� ����� ��� ������ �� ��� � � � ��������� �� ���� �� ������ � � ��� �� �� � ���������������������� �� �� ��� ��� � � ��� ���� ��� ���� �� ��� �� � < ,:2#-)2 > ��� ����� �� ��� � �% ����� �� γ < 6: ���� ��� ���� ��� ��������� �� ���� ����������� � ��� ����� ����� �� �� # ')�4� ��� ��� ��������� �� 8 � -�� "� ���� � �� ����� ���� � �� ����������� ������ � ��� ������ � � ��� �� �� ���� � � �� ������ � � .��� ��� �������� ��� ���� ������ � ���� �� �� ��� ���������� ��� �� ������ � ! ��� � ��� ���� �� ���� ��� �� ������ � ���� ��� ��� C��� T� ��� ���� ���� �� ���� ���� ���� ���� � E�G �� ���� �������� ���� E R >BT SG �� E�G �������� �� Eγ R ?F ���G �� ��� �� ���� N��� ����������� E�� �� �OG� B � � � � � � � � ������� �� � � � � � ��� ���� K E)G� ���� K E*G� ���� K E<G� ���� K E=G� ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), )-> ��� � �� ���������� 8��� ��� ����������� ��������� �� �� ��� ���� � ���� ��� �� ��� �� �������� ��� ��� �� ���� � �� � � ���� �� � �� ���� ��� � ������ � �� � ��� 0����� �� ����� �� �� < � � ��� � 4��� ���� ��� ��� �� �� �� � � � ������ � �� � =�-# '-�, %G4�� ��� � � ��� ���� -2 %G4�� ! �� �� � ���� ����� � ��� �� ��� ��� � ���� � �� � ��� � ��� �� �� ������� *')+� ��� ���� ��� ���� �� ���� �� ��� ���� ��� ���� � �� �� ����� � ���� �� � ��� �� �� ��� ����! ����! �� ��� �� ������ � � ��� �� � �� � ���������������������� �� �� ���� ��� ���� � ���� � ��� �� � �� ��� ��� � ��������� ������ � ������� ����� ���� � ! � �� � ��� ���� �� ������ � �� �� � ��� ��������� � 8 � 1� ��� ������� �� � ���� �� ����� ������ � � ������ � �� � � ���� �� �� ����� ���� � �� ��������� � ���� �������� 8 � 2 ����� ��� ��� ��� ��������� ������� ����� ���� ��� �� �� �� ��� ���� ��� ����� ������� ��� � � � < -�5 ��� 0����� � �� ��� ���� �� *''+! ��� ��� ��������� ���������� ���� ��� ������������ �� ���� ��������� .����� & � ��� ���� � ����� ���� �� �� ��� ����! ����! �� ��� �� ������ � ������ � �! � ���� � � �� ������ ����� ��� ���� � � �� �� �� � ���� � �� �� ��� ���������������������� ��� ���� � � ��� ��� �� �� ���� ������� �� ���������� ��� � ���������� �� � ���� �� ������ � �� ��� � � "� � ��������� �� ���� � �� ���� ������ �� �� �� ���� �� ���� � ���� � �� �� ��� %� �� ���� � ����! ������ �� �� �� � �� ���������� ��� �� �� ��� ������� ��� �� ����� ����� "� ��� �������� � � ���������� � ���� � � ��� ��� ���� �� � �� �� ����! ����! �� ��� �� ������ � ��� �� �� � ���������������������� ���� � �� �� �� ���� ����� ����� C� � � ��� ����� ���� C��� @� ��� ���� � ����� ��� �� �� ����� LUV �� ��� � � � � � � � � ����� � � � � � �� ����� C��� A� ��� � ����� ������ ��� �� ���� ����� <G K � ������ >G K ���� ���� TG LUV �� ��� � � � � � � � � ����� � � � � � �� ����� ��� �� W������� ���������� ������ E? � G �� �������� �� ��� �����X�������� � ��� ��� E �5 � G �� ����� ����� ���� �� ���� ����� �� � ���� ���� �� ��� �� ���� E�� �� � OG� B � � � � � � � � ��������� � � � � � � :������ ���� ? � � YZI�� �5 � ���� B�B A�H< ���� <<�F @�?T ���� B�T A�TF ���� <T�> H�>T ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� );+ � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), �� ���� � ���� ��������� �� �� ��� ������� ������ � �� ��� @ ��� � � ���� ���� ���� �������� ��� ��� ������� �� �� �� �� � ��� �� ��� ��� �� "� ���� � ������! �� �� ���� �� � � � �� �;�( �,#,,� �����������! �')#=:� ��� ��� �)#:)� � ����� �� � ��� ���� ��� �� ������ �! ��� � ��� ���� ���� ��� �� ������ � � � �� � ;�( �,#'=� �����������! �')#=:� ��� ��� �)#:)� ������� ��� ���� �� � �� �� ��� ������� � �� ��� �� ""� ���� � ������ � ��� ��� % � ��� �� �� ��� � ��� �� �� ������� ��� ����� � ���� ��� � ��� ������ ��� ���� ��� ����� � ��� � ���� �� ���������� "� ��� ����� ���� ���� ��� ��� � �� �� � �� � �� � �� ��� ���� � � ���� ��������� ��� ����� �� � � ��� �� �� ���� ��� �������� ��� �� � �� � ������� �� �� ��� ���� � �� �� ���� ��� ���� � ��� �� ����! ����! �� ��� �� ��� ���������� ���� �� ������ � �� � �� � �� ���� � �� �� ��� ������������ ���������� ��� ������ �� ������ �� �� � ����� ����� � �� �� ���� ��� ��� ���� �� � � ����� �� �� ���� ������� ���� ��� � � &��� ���������� <� [�V�����V� �Y�N�Y�� ?$&"#'�! &"2!�$�:8 @ �!#� A�� "#$"%� < E>==@I>==HG� >� U�W ��� � \�L������ 9�]���� �� � �� �99$� B 'C� B"��� #&� <F> E>=<TG� T� Z�D�S��� V�:�U ���� [�^��N� �� � �� A� /�"� B"�� &"2!�$� D� "'� =T<>=A_< E>=<TG� A� `�D��������Y� a�C��������Y� ;�`�S ���Y� E28(� 52&%� B�$�7 B#�#&� � HT< E>==<G� @� ;�`�S ���Y� a�C��������Y� `�;��������Y� �!�':���#&'�� ()� <=<@ E>==AG� H� 9�b�:�� � Y� a�C��������Y� `�D�������� �� � �� �(( &( �C 52&%� �!7 52&%� &"2!�$�� '� <<= E>=<<G� ?� V�:�L� Y����Y�� c �^�S�� ��Y�� `�]�9������ �dY� �� � �� 52&%� E28(� &"2!�$� B 'C�� "� <?F E>=<>G� F� `�W�V����������Y��� /8(�3�"2�(#8& /&(26 "2&(#1�� � @ E<BB@G� B� C�:�;���Y� :��� �X :�� ����� �� ��� [X����� ���� �� ��� D��� ����� :������ 9��������� ����� D��� ������ D����N E<BF@G e�� \ �����f� <=� S�:���N� � [������ �� L����� �� ������� [X� ��������� �� W�� �������� ;���� g� �� E<BF?G� <<� :�:�V��� 9�:�:���� �� V������ [ ���������� h���� c�������� E>==<G e�� iY�������f� ��/�0&1"2&!3� &# �$� 4 52&%�"�$678!�%�" 9�$�(2�!: ��� � !"#��!�$ %�#&'��$( ! ) *+), );)