Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...
Saved in:
| Date: | 2017 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Series: | Сверхтвердые материалы |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-160147 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1601472019-10-25T01:26:27Z Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Исследование процессов обработки Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні. The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface. 2017 Article Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 621.923 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки |
| spellingShingle |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Сверхтвердые материалы |
| description |
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. |
| format |
Article |
| author |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_sort |
Филатов, Ю.Д. |
| title |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_short |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_fullStr |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full_unstemmed |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_sort |
мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 |
| citation_txt |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT sidorkovi monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT kovalevsv monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT filatovaû monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT montejg monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki |
| first_indexed |
2025-07-14T12:46:23Z |
| last_indexed |
2025-07-14T12:46:23Z |
| _version_ |
1837626486866051072 |
| fulltext |
www.ism.kiev.ua/stm 80
УДК 621.923
Ю. Д. Филатов1, *, В. И. Сидорко1, С. В. Ковалев1,
А. Ю. Филатов1, Г. Монтей2
1Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля
НАН Украины, г. Киев, Украина
2Высшая национальная школа механики и микротехники,
г. Безансон, Франция
*filatov@ism.kiev.ua
Мониторинг точности формы плоских
поверхностей в процессе полирования
деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверх-
ностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с исполь-
зованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено,
что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от
прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.
Ключевые слова: полирование, точность формообразования,
отклонение формы.
ВВЕДЕНИЕ
Повышение точности формообразования прецизионных по-
верхностей деталей оптических систем и элементов электронной техники при
механическом (МП) и химико-механическом (ХМП) полировании может
быть достигнуто за счет управления кинематическими и режимными пара-
метрами процесса обработки, выбора конструкции инструмента и характери-
стик полировальной суспензии или коллоидной системы наночастиц. До не-
давнего времени существующие модели процессов механической обработки,
а также методики расчета интенсивности съема материала с обрабатываемой
поверхности, износа инструмента и эволюции их формы при механической
обработке неметаллических материалов базировались на уравнении износа
Престона (Preston) [1–3] и применялись при допущениях и ограничениях,
которые можно использовать лишь в определенных условиях. В настоящее
время для моделирования процесса формообразования прецизионных по-
верхностей оптических деталей и элементов оптоэлектронной техники из
керамики, оптических и полупроводниковых кристаллов используется обоб-
щенная модель съема обрабатываемого материала [4–6], основанная на кла-
стерной модели полирования [7–9] и физико-статистической модели образо-
вания частиц шлама и их удаления с обрабатываемой поверхности [10]. Для
мониторинга качества обработки непосредственно в процессе полирования
разработаны in situ методы лазерной эллипсометрии [11] и рефлектометрии
[12, 13], которые позволяют контролировать изменения параметров шерохо-
ватости и коэффициента отражения, являющиеся следствием образования
налета продуктов износа на обрабатываемой поверхности [14–16]. До по-
© Ю. Д. ФИЛАТОВ, В. И. СИДОРКО, С. В. КОВАЛЕВ, А. Ю. ФИЛАТОВ, Г. МОНТЕЙ, 2017
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 4 81
следнего времени традиционный метод контроля точности формообразова-
ния обработанных поверхностей осуществлялся путем измерений в статиче-
ских условиях после завершения процесса обработки, поэтому его примене-
ние для in-process мониторинга значения отклонения формы поверхности от
заданной не было возможным.
Целью работы была разработка метода мониторинга точности геометри-
ческой формы плоских прецизионных поверхностей деталей оптики и микро-
электроники в процессе полирования и устройства для его осуществления.
IN-PROCESS КОНТРОЛЬ ФОРМЫ ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ
ПРИ ПОЛИРОВАНИИ
Для in-process контроля формы обрабатываемой поверхности нами пред-
ложено непосредственно в процессе полирования фиксировать взаимное рас-
положение ее отдельных участков с помощью датчика, который использует
технологию конфокальной хроматической визуализации (STIL S.A., France,
OP 300 VM) [17]. При полировании образцов диаметром 60 мм датчик мод.
OP300VM фиксирует относительную высоту элементарного участка обраба-
тываемой поверхности, который расположен в заданной круговой зоне ра-
диуса Rc. Эта высота изменяется за время каждого оборота детали и ее зави-
симость от времени обработки описывается периодической функцией. Ин-
тервал изменения этой величины составляет ∼ 100 мкм и зависит от торцево-
го биения держателя образца и клиновидности детали (отклонения высоты
образца на диаметре 2Rc). Из этого следует, что при вращении детали без
эксцентриситета использование стационарно установленного датчика позво-
ляет определять значение отклонения высоты образца в заданной круговой
зоне и на всем диаметре, т. е. контролировать клиновидность обрабатывае-
мой детали. При этом невозможно получение какой-либо информации о
форме обрабатываемой поверхности и ее отклонении от плоскостности. Для
устранения этого недостатка необходимо либо осуществлять сканирование
поверхности при перемещении датчика по радиусу обрабатываемой поверх-
ности, либо устанавливать обрабатываемые детали эксцентрично по отноше-
нии к оси их вращения.
В процессе полирования плоских оптических поверхностей по классиче-
ской технологии (методом притира) детали, расположенные на блоке в раз-
личных круговых зонах, вращаются вокруг оси, совпадающей с центром бло-
ка, а притир вращается и совершает возвратно-поступательное перемещение
по поверхности обрабатываемых деталей с обязательным “выходом за край”.
При этом образуется, в общем случае, сферическая поверхность большого
радиуса, отклонение от плоскостности которой характеризуется предельно
допустимым отклонением стрелки кривизны блока деталей h и отдельной
детали h1 = (D1/D0)
2h от идеальной плоскости (D1 и D0 – диаметры детали и
блока соответственно). Такая же ситуация возникает при полировании оди-
ночной детали по методу жестких осей, при котором ее горизонтальное пе-
ремещение осуществляется за счет эксцентричного расположения относи-
тельно оси вращения.
На рис. 1 представлена схема, показывающая перемещение обрабатывае-
мой детали (нижнее звено), которая эксцентрично вращается вокруг оси O′,
относительно датчика, установленного на расстоянии Rc от этой оси. Рас-
стояние между осью вращения детали (блока деталей) и геометрическим цен-
тром обрабатываемой поверхности в общем случае определяется межцентро-
вым расстоянием (РМЦ) О′О′′ – e0 = [e1
2 + e2
2]1/2 (e1, e2 – проекции РМЦ на
www.ism.kiev.ua/stm 82
оси x и y соответственно). При вращении детали стационарно установленный
датчик фиксирует относительное положение точек обрабатываемой поверх-
ности, координаты которых описываются пространственной кривой z(x, y),
являющейся линией пересечения цилиндрической поверхности, на образую-
щей которой находится датчик, и сферической обрабатываемой поверхности
(рис. 2).
y
x
A(x
1
, y
1
)
B(x
2
, y
2
)
R
1
R
c
e
1
e
2
O′
O″ϕ
Рис. 1. Схема перемещения обрабатываемой детали относительно датчика.
y
xA
B
R
1R
c
e
0
O′ O″
z
y′
x′
z′
O
Рис. 2. Пространственная кривая z(x, y) на выпуклой сферической поверхности.
В системе координат XYZ с началом координат в точке O, расположенной
на оси вращения детали (блока деталей) на расстоянии, приблизительно рав-
ном радиусу кривизны выпуклой (вогнутой) сферической поверхности обра-
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 4 83
батываемой детали, уравнения цилиндрической и сферической поверхностей
в общем виде представляются следующим образом (см. рис. 2):
=±+−+−
=+
,)()]([)()(
;
222
2
2
1
222
hRhRzeyex
Ryx c (1)
где
28
)( 1 h
h
D
hR −= – радиус кривизны поверхности детали.
Решая систему уравнений (1) для случая выпуклой сферической поверх-
ности, можно получить уравнение z(x, y) в виде
yexeeRhRhRyxz c 21
2
0
22 22)()(),( ++−−+−= (2)
и выразить его в полярной системе координат формулой
ϕ+ϕ+−−+−=ϕ sin2cos2)()(),( 21
2
0
22 eReReRhRhRhz ccc . (3)
Функции z(x, y) и z(h, φ), выражаемые в соответствии с формулами (2) и
(3), описывают участок пространственной кривой – дугу АВ (см. рис. 2), про-
екция которой на горизонтальную плоскость является дугой окружности ра-
диуса Rc, ограниченной точками А(x1, y1) и В(x2, y2) (см. рис. 1). Решая систе-
му уравнений
=−+−
=+
,)()(
;
2
1
2
2
2
1
222
Reyex
Ryx c
и вводя обозначение 2
0
2
1
2 eRRa c +−= , можно определить координаты точек
А(x1,y1) и В(x2,y2):
−
+±
= 1
4
11
2 2
22
1
2
2
0
2
0
2
2,1
a
Re
e
e
e
ae
y c , 2
2,1
2
2,1 yRx c −= и
значения полярных углов
=ϕ
cR
y 2,1
2,1 arcsin .
Рассмотрим процесс полирования одиночной детали диаметром 40 мм, ус-
тановленной со смещением относительно оси вращения (см. рис. 1), которое
характеризуется параметрами e1 = 10 мм, e2 = 5 мм и e0 = 11,2 мм. При вра-
щении детали датчик, установленный на расстоянии Rc = 25 мм от оси вра-
щения, фиксирует относительное положение пространственной кривой
z(x, y), область определения которой ограничивается координатами точек
А(x1, y1) и В(x2, y2): x1 = 5,3 мм; y1 = 24,4 мм; x2 = 22,7 мм; y2 = –10,4 мм, и
углами φ1 = 77,8○ (1,358 рад), φ2 = –24,7○ (–0,431 рад). Кривая z(x, y), являю-
щаяся линией пересечения цилиндра диаметром 2Rc и сферы с радиусом кри-
визны R(h), в системе координат XYZ представляется в общем виде уравнением
ϕ
ϕ
ϕ
=ϕ
),(
sin
cos
)(
hz
R
R
F c
c
.
Эта кривая является частным случаем сечения сферической поверхности
цилиндрической, аналогичной известным кривой Вивиани и гиппопеде Ев-
докса.
www.ism.kiev.ua/stm 84
При повороте детали на угол (φ1–φ2) = 102,5○ длина проекции дуги АВ на
плоскость XY составляет 44,7 мм и определяет длительность сигнала, кото-
рый формируется датчиком на каждом обороте детали. Форма сигнала опре-
деляется в соответствии с формулой (рис. 3)
ϕ>ϕ
ϕ≤ϕ≤ϕϕ
ϕ<ϕ
=ϕ
,,
;),,(
;,
),(
10
12
20
h
hz
h
hZ (4)
где h0 – относительное положение обрабатываемой поверхности по высоте.
Отклонение формы сигнала от прямоугольной определяется как δ =
±[z(h,φm)–z(h,φ1)] (φm = (φ1 + φ2)/2 – среднее значение угла, а знаки (±) соот-
ветствуют выпуклой и вогнутой поверхности детали) и зависит от неплоско-
стности поверхности детали (стрелки кривизны h). При анализе формы по-
верхности детали, которая характеризуется значениями стрелки кривизны h,
лежащими в пределах [0,5 мкм; 5,0 мкм], и радиусами кривизны, соответст-
вующими диапазону [40 м; 400 м], показано, что зависимость отклонения
формы сигнала от неплоскостности детали является линейной (рис. 4), что
позволяет по значению отклонения сигнала от прямоугольной формы δ опре-
делить значение неплоскостности h поверхности детали. Для рассматривае-
мого варианта процесса полирования при значении отклонения формы сигна-
ла δ = 0,25, 1,0, 2,5 мкм, неплоскостность выпуклой поверхности детали со-
ставляет h = 0,5, 2,0, 5,0 мкм, что соответствует расчетной формуле h = kδ (k
≈ 2,0 – коэффициент пропорциональности).
–1 0 1 ϕ, рад
–8
–6
–4
z(h, ϕ), мкм
0 1 2 3 h, мкм
1
2
δ, мкм
Рис. 3. График функции z(h, φ), которая определяет
форму сигнала датчика.
Рис. 4. Зависимость отклонения
формы сигнала от неплоскостности
детали.
Рассматривая процесс полирования детали из кварца диаметром 36 мм,
установленной со смещением e1 = e0 = 10 мм, на экспериментальной установ-
ке с датчиком мод. OP300VM (Rc = 25 мм), можно определить область опре-
деления кривой z(x, y): x1 = x2 = 20,1 мм, y1 = 14,9 мм, y2 = –14,9 мм, φ1 = 36,7○,
φ2 = –36,7○. На рис. 5 приведена зависимость относительной высоты элемен-
тарного участка поверхности детали от угла поворота для трех оборотов де-
тали на холостом ходу. Амплитуда изменения этой величины равна значению
отклонения формы сигнала от прямоугольной δ = +3,0 мкм, по которой мож-
но определить неплоскостность поверхности детали h = k1δ ≈ 10 мкм (k1 ≈ 3,3
– коэффициент пропорциональности). Полученное значение неплоскостности
детали из кварца согласуется с экспериментальными данными, полученными
при помощи оптической измерительной системы ALICONA в статических
условиях [9].
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 4 85
0 5 10 15
–8
–7
–9
z(h, ϕ), мкм
ϕ, рад
Рис. 5. Зависимость относительной высоты элементарного участка поверхности от угла
поворота обрабатываемой детали.
Рассмотрим процесс полирования деталей диаметром 60 мм, закреплен-
ных на блоке диаметром 300 мм (16 штук). Детали, установленные в крайней
круговой зоне, смещены относительно оси вращения на расстояния e0 =
120 мм, а датчик установлен на расстоянии Rc = 130 мм. При вращении блока
деталей датчик фиксирует относительное положение точек обрабатываемой
поверхности на деталях, установленных на краю блока, область определения
кривой z(x, y) ограничивается координатами x1 = x2 = 137,9 мм, y1 = 24,1 мм,
y2 = –24,1 мм и углами φ1 = 9,9○ (0,173 рад), φ2 = –9,9○ (–0,173 рад). При по-
лировании оптических деталей в данном случае процесс формообразования
происходит, преимущественно, с образованием вогнутой поверхности, когда
съем обрабатываемого материала в центральных зонах больше, чем в край-
них зонах блока деталей. Уравнение пространственной кривой z(h, φ) опреде-
ляется формулой (3) при замене знака на противоположный. При повороте
блока деталей на угол (φ1–φ2) = 19,8○ длина проекции дуги, по которой пере-
мещается датчик относительно детали, составляет 48,4 мм и определяет дли-
тельность сигнала, который формируется датчиком на каждом обороте дета-
ли. Форма сигнала описывается формулой (4) и приведена на рис. 6.
При анализе формы поверхности блока деталей, которая характеризуется
значениями стрелки кривизны h, лежащими в пределах [1 мкм; 25 мкм], и
радиусами кривизны [18 м; 450 м], пользуясь линейной зависимостью, при-
веденной на рис. 7, можно по значению отклонения сигнала от прямоуголь-
ной формы δ определить значение неплоскостности h поверхности детали.
–0,2 0 0,2
2
4
0
ϕ, рад
z(h, ϕ), мкм
0 10 20
–10
–5
h, мкм
δ, мкм
Рис. 6. График функции z(h, φ), определяющий
форму сигнала датчика для вогнутой поверхно-
сти.
Рис. 7. Зависимость отклонения фор-
мы сигнала от неплоскостности вогну-
той поверхности детали.
Анализ влияния неплоскостности h поверхности блока деталей на значе-
ние отклонения сигнала от прямоугольной формы δ показал, что зависимость
h = k2δ является линейной (k2 ≈ 1,8 – расчетное значение коэффициента про-
www.ism.kiev.ua/stm 86
порциональности). Экспериментально определенные значения отклонения
формы сигналов δ = –3, –6, –9, –12 и –14 мкм позволили рассчитать значения
отклонения от плоскостности блока деталей – h = 5, 11, 16, 22 и 25 мкм, и
отдельной детали – h1 = (60/300)2h = 0,2, 0,4, 0,6, 0,9 и 1,0 мкм. Именно такой
точностью формы исполнительных поверхностей характеризуются оптиче-
ские детали типа светофильтров и пластин при полировании по традицион-
ной технологии методом притира.
ВЫВОДЫ
В результате анализа соответствия между геометрическими параметрами
сферической поверхности шарового сегмента (обрабатываемой детали) и
пересекающей его цилиндрической поверхности, на образующей которой
находится датчик, установлена связь между высотой детали (значением
стрелки кривизны h) и максимальной высотой кругового сечения (отклонения
сигнала от прямоугольной формы δ).
Установлено, что зависимость h от δ является линейной функцией, что по-
зволяет по значению отклонения сигнала от прямоугольной формы для вы-
пуклой (“бугор”) и вогнутой (“яма”) поверхностей обрабатываемых деталей
судить об отклонении от плоскостности блока деталей и отдельной детали.
Показано, что при полировании плоских поверхностей оптических дета-
лей по традиционной технологии при зарегистрированном отклонении фор-
мы сигнала датчика от прямоугольной в пределах 3–15 мкм, точность формы
обработанных поверхностей характеризуются значениями отклонения от
плоскостности блока деталей от 5 до 25 мкм, что соответствует неплоскост-
ности поверхностей оптических деталей 0,2–1,0 мкм (1–4 интерференцион-
ных кольца).
Анализ результатов экспериментальной проверки соответствия между
расчетными данными и реальными значениями отклонения от плоскостности
обработанных поверхностей показал возможность и целесообразность осу-
ществления in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей
непосредственно в процессе полирования при помощи датчика, использую-
щего технологию конфокальной хроматической визуализации.
Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптич-
них деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокаль-
ної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням
форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні.
Ключові слова: полірування, точність формоутворення, відхилення форми.
The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components
directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found
that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular
waveform and change of shape the machined surface.
Keywords: polished, precision forming, deviation form.
1. Fahnle O. W., Wons T., Koch E. et al. ITIRM as a tool for qualifying polishing processes //
Appl. Optics. – 2002. – 41, N 19/1. – P. 4036–4038.
2. Ouma D. O., Boning D. S., Chung J. E. et al. Characterization and modeling of oxide chemi-
cal-mechanical polishing using planarization length and pattern density concepts // IEEE
Transactions on Semiconductor Manufacturing. – 2002. – 15, N 2. – P. 232–243.
3. Vukkadala P., Turner K. T., Sinha J. K. Impact of wafer geometry on CMP for advanced
nodes // J. Electrochem. Soc. – 2011. – 158, N 10. – P. 1002–1009.
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 4 87
4. Филатов А. Ю., Сидорко В. И., Ковалев С. В. и др. Производительность полирования
анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники // Сверхтв. мате-
риалы. – 2016. – № 2. – С. 65–76.
5. Филатов А. Ю., Ветров А. Г., Сидорко В. И. и др. Закономерности финишной алмазно-
абразивной обработки монокристаллического карбида кремния // Там же. – 2013. – № 5.
– С. 63–71.
6. Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И. и др. Полирование элементов оптико-
электронной техники из монокристаллического карбида кремния // Там же. – 2015. –
№ 1. – С. 63–74.
7. Филатов Ю. Д., Рогов В. В. Кластерная модель механизма усталостного износа SiO2-
содержащих материалов при их полировании инструментом со связанным
полировальным порошком на основе диоксида церия. Часть 1 // Там же. – 1994. – № 3. –
С. 40–43.
8. Филатов Ю. Д. Механизм образования микрорельефа поверхности при обработке стек-
ла // Там же. – 1991. – № 5. – С. 61–65.
9. Filatov Yu. D., Filatov O. Yu., Monteil G. et al. Bound-abrasive grinding and polishing of
surfaces of optical materials // Proc. of SPIE. – 2010. – 7786, art. 778613.
10. Филатов Ю. Д., Сидорко В. И. Статистический подход к износу поверхностей деталей
из неметаллических материалов при полировании // Сверхтв. материалы. – 2005. – № 1.
– С. 58–66.
11. Filatov O. Yu., Poperenko L. V. In situ ellipsometry of surface layer of nonmetallic transpar-
ent materials during its finish processing // Appl. Surf. Sci. – 2006. – 253, N 1. – P. 163–166.
12. Филатов Ю. Д., Ящук В. П., Филатов А. Ю. и др. Оценка шероховатости и отража-
тельной способности поверхностей изделий из неметаллических материалов при фи-
нишной алмазно-абразивной обработке // Сверхтв. материалы. – 2009. – № 5. – С. 70–
81.
13. Filatov Yu. D., Filatov O. Y., Heisel U. et al. In situ control of roughness of processed sur-
faces by reflectometric method // Proc. of SPIE. – 2010. – 7718, art. 77181J.
14. Филатов А. Ю., Сидорко В. И. Локализация фрагментов налета на обрабатываемой
поверхности при полировании неметаллических материалов // Сверхтв. материалы. –
2011. – № 5. – С. 73–87.
15. Filatov Yu. D., Monteil G., Sidorko V. I., Filatov O. Yu. Formation of a deposit on workpiece
surface in polishing nonmetallic materials // Proc. of SPIE. – 2013. – 8763, art. 8763361.
16. Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Филатов А. Ю. и др. Шероховатость поверхностей при
финишной алмазно-абразивной обработке // Сверхтв. материалы. – 2009. – № 3. –
С. 68–74.
17. Rakhmatullina E., Bossen A., Höschele C. et al. Application of the specular and diffuse re-
flection analysis for in vitro diagnostics of dental erosion: correlation with enamel softening,
roughness, and calcium release // J. Biomed. Opt. – 2011. – 16, N 10, art. 107002.
Поступила 13.07.16
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Warning
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Off
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.1000
/ColorConversionStrategy /LeaveColorUnchanged
/DoThumbnails true
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams true
/MaxSubsetPct 100
/Optimize false
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments false
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Remove
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages false
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth 8
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /FlateEncode
/AutoFilterColorImages false
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages false
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth 8
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /FlateEncode
/AutoFilterGrayImages false
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages false
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile (None)
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000500044004600206587686353ef901a8fc7684c976262535370673a548c002000700072006f006f00660065007200208fdb884c9ad88d2891cf62535370300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef653ef5728684c9762537088686a5f548c002000700072006f006f00660065007200204e0a73725f979ad854c18cea7684521753706548679c300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/FRA <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>
/ITA <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>
/JPN <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>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b370c2a4d06cd0d10020d504b9b0d1300020bc0f0020ad50c815ae30c5d0c11c0020ace0d488c9c8b85c0020c778c1c4d560002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken voor kwaliteitsafdrukken op desktopprinters en proofers. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/PTB <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>
/SUO <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>
/SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006600f600720020006b00760061006c00690074006500740073007500740073006b0072006900660074006500720020007000e5002000760061006e006c00690067006100200073006b0072006900760061007200650020006f006300680020006600f600720020006b006f007200720065006b007400750072002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents for quality printing on desktop printers and proofers. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
/RUS ()
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /NoConversion
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /NA
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure true
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles true
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /NA
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /LeaveUntagged
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|