Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов - Филатов, Ю.Д. (Сверхтвердые материалы, 2018)
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка.