Элементарная плазмооптическая ячейка в режиме прямого магнетрона - Гончаров, А.А.; Добровольский, А.Н.; Евсюков, А.Н.; Проценко, И.М. (Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010)
Предложено новое плазмооптическое устройство, представляющее собой элементарную плазмооптическую цилиндрическую ячейку с газовым разрядом магнетронного типа в режиме прямого магнетрона. Устройство может работать в высоковольтном слаботочном режиме и в сильноточном с генерацией плазменного факела. Получена скорость травления (100…150 нм/мин) в слаботочном режиме и на порядок больше в сильноточном. Плотность тока в факеле составляет до 3% от плотности тока разряда и плавающий потенциал − до 0,8 анодного потенциала.