Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения - Аксёнов, И.И.; Белоус, В.А.; Голтвяница, С.К.; Голтвяница, В.С.; Заднепровский, Ю.А.; Куприн, А.С.; Ломино, Н.С.; Соболь, О.В. (Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010)
На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости.