Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2009
Main Authors: Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2009
Series:Наука та інновації
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine