Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики - Руденко, Е.М.; Короташ, І.В.; Семенюк, В.Ф.; Шамрай, К.П. (Наука та інновації, 2010)
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну.