Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Series: | Наука та інновації |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28110 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |