Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
Theoretical consideration and computer modeling of information pit recording and etching processes in chalcogenide vitreous semiconductors are proposed, namely we demonstrate how to record and develop information pits with the necessary shape and sizes in the inorganic resist using focused Gaussian...
Gespeichert in:
| Datum: | 2005 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2005
|
| Schriftenreihe: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50773 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists / A.N. Morozovska, S.A. Kostyukevych // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2005. — Т. 7, № 3. — С. 3-16. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |