Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках - Косско, И.А.; Крючин, А.А.; Панкратова, А.В.; Коржинский, Ф.И.; Середа, Л.Д.; Середа, И.В. (Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006)
Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.