Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов
Разработанная система имеет высокий уровень помехоустойчивости, поэтому ее включение в состав программно-аппаратного комплекса для технической диагностики фотошаблонов позволит уменьшить требования к его аппаратному исполнению, т. е. снизить стоимость комплекса, а в результате — сделать рентабельным...
Gespeichert in:
| Datum: | 2012 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51641 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов / Ю.Ю. Козина, А.А. Козин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 7-9. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51641 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-516412013-12-06T03:08:22Z Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов Козина, Ю.Ю. Козин, А.А. Электронные средства: исследования, разработки Разработанная система имеет высокий уровень помехоустойчивости, поэтому ее включение в состав программно-аппаратного комплекса для технической диагностики фотошаблонов позволит уменьшить требования к его аппаратному исполнению, т. е. снизить стоимость комплекса, а в результате — сделать рентабельным мелкосерийное производство изделий. Розроблена система штучного інтелекту має високий рівень завадостійкості, тому її включення до складу програмно-апаратного комплексу для технічної діагностики фотошаблонів дозволить зменшити вимоги до його апаратного виконання, тобто знизити вартість комплексу, а в результаті — зробити рентабельним дрібносерійне виробництво виробів. The developed artificial intelligence system has a high level of noise immunity, so its inclusion in the hardware and software for technical diagnostics of photomasks will reduce the hardware requirements for its execution, and thereby reduce the cost of the complex. As a result it will allow to make a small-scale production profitable. 2012 Article Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов / Ю.Ю. Козина, А.А. Козин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 7-9. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51641 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки |
| spellingShingle |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки Козина, Ю.Ю. Козин, А.А. Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Разработанная система имеет высокий уровень помехоустойчивости, поэтому ее включение в состав программно-аппаратного комплекса для технической диагностики фотошаблонов позволит уменьшить требования к его аппаратному исполнению, т. е. снизить стоимость комплекса, а в результате — сделать рентабельным мелкосерийное производство изделий. |
| format |
Article |
| author |
Козина, Ю.Ю. Козин, А.А. |
| author_facet |
Козина, Ю.Ю. Козин, А.А. |
| author_sort |
Козина, Ю.Ю. |
| title |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| title_short |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| title_full |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| title_fullStr |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| title_full_unstemmed |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| title_sort |
система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Электронные средства: исследования, разработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51641 |
| citation_txt |
Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов / Ю.Ю. Козина, А.А. Козин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 7-9. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT kozinaûû sistemaiskusstvennogointellektadlâtehničeskojdiagnostikifotošablonov AT kozinaa sistemaiskusstvennogointellektadlâtehničeskojdiagnostikifotošablonov |
| first_indexed |
2025-07-04T13:45:20Z |
| last_indexed |
2025-07-04T13:45:20Z |
| _version_ |
1836724226787115008 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1 7
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
ÓÄÊ 621.382
Ê. ò. í. Þ. Þ. ÊÎÇÈÍÀ, À. À. ÊÎÇÈÍ
Óêðàèíà, Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé ïîëèòåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: yuliyakc@mail.ru
ÑÈÑÒÅÌÀ ÈÑÊÓÑÑÒÂÅÍÍÎÃÎ ÈÍÒÅËËÅÊÒÀ ÄËß
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÎÉ ÄÈÀÃÍÎÑÒÈÊÈ ÔÎÒÎØÀÁËÎÍÎÂ
Ïðè ïðîèçâîäñòâå èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíè-
êè îäíîé èç âàæíåéøèõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðà-
öèé ÿâëÿåòñÿ âûïîëíåíèå òåõíè÷åñêîé äèàãíîñ-
òèêè ôîòîøàáëîíîâ — íîñèòåëåé èíôîðìàöèè î
ðàçìåðàõ è êîíôèãóðàöèè èçäåëèé. Ñóòü òåõ-
íè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ (ÔØ) çà-
êëþ÷àåòñÿ â âûÿâëåíèè èõ ïðèãîäíîñòè ê äàëü-
íåéøåìó èñïîëüçîâàíèþ ïðè ïðîèçâîäñòâå èç-
äåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, à â ñëó÷àå èõ íåèñ-
ïðàâíîñòè — â âûäåëåíèè èõ äåôåêòîâ. Ýòà çà-
äà÷à ðåøàåòñÿ ñ ïîìîùüþ ïðîãðàììíî-àïïàðàò-
íûõ êîìïëåêñîâ (ÏÀÊ), âêëþ÷àþùèõ ïîäñèñ-
òåìû ôîðìèðîâàíèÿ, ðåãèñòðàöèè è ðàñïîçíàâà-
íèÿ èçîáðàæåíèé. Ïðè ýòîì èñïîëüçóåòñÿ ñëîæ-
íàÿ ïðåöèçèîííàÿ ìåõàíèêà è äîðîãîñòîÿùàÿ
îñâåòèòåëüíî-ôîêóñèðóþùàÿ àïïàðàòóðà, êîòî-
ðûå îáåñïå÷èâàþò âûñîêóþ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü
è äîñòîâåðíîñòü ðåçóëüòàòîâ äèàãíîñòèêè. Ïðè-
ìåíåíèå òàêèõ êîìïëåêñîâ îáîñíîâàííî â ñëó÷àå
êðóïíîñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà. Îäíàêî â ïî-
ñëåäíèå ãîäû âñå ÷àùå âîçíèêàåò ïîòðåáíîñòü â
ïðîèçâîäñòâå ìåëêèõ è ñðåäíèõ ïàðòèé èçäåëèé,
ïðåäíàçíà÷åííûõ äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ â àïïàðà-
òóðå ñïåöèàëüíîãî íàçíà÷åíèÿ è â íàó÷íûõ ýê-
ñïåðèìåíòàõ.  ýòîì ñëó÷àå ïðèìåíåíèå ñóùå-
ñòâóþùèõ ÏÀÊ ïðèâîäèò ê íåîïðàâäàííîìó
ðîñòó ñòîèìîñòè òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòî-
øàáëîíîâ. Ýòà ïðîáëåìà ìîæåò áûòü ðàçðåøåíà
ñíèæåíèåì òðåáîâàíèé ê èñïîëüçóåìîé â ÏÀÊ
àïïàðàòóðå, íî ýòî ïðèâîäèò ê ïîÿâëåíèþ íåæå-
ëàòåëüíûõ ìóëüòèïëèêàòèâíûõ è àääèòèâíûõ
ïîìåõ íà èçîáðàæåíèÿõ ÔØ, ÷òî íåãàòèâíî îò-
ðàæàåòñÿ íà äîñòîâåðíîñòè ðåçóëüòàòîâ èõ òåõ-
íè÷åñêîé äèàãíîñòèêè.
Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû áûëà ðàçðàáîòêà
ñèñòåìû èñêóññòâåííîãî èíòåëëåêòà (ÑÈÈ) äëÿ
òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ â óñëî-
âèÿõ ïîìåõ.
Ðàçðàáîòàííàÿ ñèñòåìà èìååò âûñîêèé óðîâåíü ïîìåõîóñòîé÷èâîñòè, ïîýòîìó åå âêëþ÷åíèå â
ñîñòàâ ïðîãðàììíî-àïïàðàòíîãî êîìïëåêñà äëÿ òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ ïîçâî-
ëèò óìåíüøèòü òðåáîâàíèÿ ê åãî àïïàðàòíîìó èñïîëíåíèþ, ò. å. ñíèçèòü ñòîèìîñòü êîìïëåêñà,
à â ðåçóëüòàòå — ñäåëàòü ðåíòàáåëüíûì ìåëêîñåðèéíîå ïðîèçâîäñòâî èçäåëèé.
Êëþ÷åâûå ñëîâà: ôîòîøàáëîí, ñèñòåìà èñêóññòâåííîãî èíòåëëåêòà, òåõíè÷åñêàÿ äèàãíîñòèêà,
ðåïåðíûå çíàêè.
Àíàëèç ïðîöåññîâ, êîòîðûå ðåàëèçóþòñÿ â
ÏÀÊ òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ
ïîêàçàë, ÷òî ïðè ðàñïîçíàâàíèè èçîáðàæåíèé
îäíèìè èç îñíîâíûõ ïðîöåäóð, îïðåäåëÿþùèõ
äîñòîâåðíîñòü ðåçóëüòàòîâ äèàãíîñòèêè ôîòîøàá-
ëîíîâ â óñëîâèÿõ ïîìåõ, ÿâëÿþòñÿ ëîêàëèçàöèÿ
è êëàññèôèêàöèÿ ðåïåðíûõ çíàêîâ (ÐÇ) [1].
Ýòè ïðîöåäóðû ÿâëÿþòñÿ îñíîâîé ìåòîäà, êîòî-
ðûé áàçèðóåòñÿ íà ïîçèöèîíèðîâàíèè èçîáðà-
æåíèÿ äèàãíîñòèðóåìîãî ôîòîøàáëîíà îòíîñè-
òåëüíî ýòàëîíà ïî ÐÇ. Îäíàêî ñóùåñòâóþùèå
ìåòîäû ëîêàëèçàöèè è êëàññèôèêàöèè èçîáðà-
æåíèé íå ïîçâîëÿþò îáåñïå÷èòü äîñòàòî÷íóþ äî-
ñòîâåðíîñòü ðåçóëüòàòîâ òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòè-
êè ôîòîøàáëîíîâ â óñëîâèÿõ ïîìåõ. Ýòà ïðîáëå-
ìà ìîæåò áûòü ðåøåíà ïðè èñïîëüçîâàíèè âåéâ-
ëåò-ïðåîáðàçîâàíèÿ, êîòîðîå ïîçâîëÿåò ïðè ðàñ-
ïîçíàâàíèè îáúåêòîâ íà èçîáðàæåíèè ó÷èòûâàòü
íå òîëüêî èíôîðìàöèþ ïðî âåëè÷èíó èíòåíñèâíî-
ñòè ïèêñåëîâ, íî è ïðî ãåîìåòðè÷åñêèå ðàçìåðû.
Ïðîöåäóðà ëîêàëèçàöèè ÐÇ (îïðåäåëåíèå èõ
êîîðäèíàò íà èçîáðàæåíèè ôîòîøàáëîíà) ðåà-
ëèçóåòñÿ â ïðîñòðàíñòâå ãèïåðáîëè÷åñêîãî âåéâ-
ëåò-ïðåîáðàçîâàíèÿ (ÃÂÏ) [2], ÷òî ïîçâîëÿåò
îáåñïå÷èòü ðàáîòîñïîñîáíîñòü ìåòîäà ëîêàëèçà-
öèè â óñëîâèÿõ àääèòèâíîé ïîìåõè ïðè îòíîøå-
íèè ñèãíàë/øóì íå ìåíåå 9 (ïî ìîùíîñòè) è íå
ìåíåå 8 â óñëîâèÿõ ìóëüòèïëèêàòèâíîé ïîìåõè.
Ïðèìåíåíèå ìåòîäà äëÿ ëîêàëèçàöèè ÐÇ ïîçâî-
ëèëî îáúåäèíèòü äâå ïðîöåäóðû: ïîèñêà ÐÇ è
âûäåëåíèÿ èõ êîíòóðîâ. Ïðè ðàçðàáîòêå ïðîöå-
äóðû èäåíòèôèêàöèè (ôîðìèðîâàíèå îáðàçîâ)
ÐÇ èñïîëüçîâàí ñòðóêòóðíî-ñòàòèñòè÷åñêèé ïîä-
õîä, êîòîðûé áàçèðóåòñÿ íà âûäåëåíèè ãåîìåò-
ðè÷åñêèõ ìîìåíòîâ-ïðèçíàêîâ (ÃÌÏ) ñ èñïîëü-
çîâàíèåì èíôîðìàöèè î õàðàêòåðíûõ òî÷êàõ
êîíòóðîâ ÐÇ [3]. Ïðîöåäóðà êëàññèôèêàöèè (ïî-
ñòðîåíèå ðàçäåëÿþùåé ïîâåðõíîñòè â ïðîñòðàí-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 18
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
ñòâå ïðèçíàêîâ) ðåàëèçîâàíà íà îñíîâå ñóáãðà-
äèåíòíîãî èòåðàòèâíîãî ïîèñêà ýêñòðåìóìîâ â
ïðîñòðàíñòâå ÃÂÏ, ÷òî ïîçâîëèëî ïîâûñèòü äîñ-
òîâåðíîñòü êëàññèôèêàöèè îáðàçîâ ÐÇ â óñëî-
âèÿõ ïîìåõ [4]. Äëÿ ðåàëèàçöèè ïðîöåäóðû âû-
äåëåíèÿ äåôåêòîâ ôîòîøàáëîíà ðàçðàáîòàíà ìå-
òîäèêà áèíàðèçàöèè, îñíîâàííàÿ íà àâòîìàòèçà-
öèè âûáîðà ïîðîãà â ïðîñòðàíñòâå ÃÂÏ [5].
Íà ðèñ. 1 ïðåäñòàâëåíà ñòðóêòóðà ðàçðàáî-
òàííîé ÑÈÈ.
Ðåàëèçàöèÿ ïðîöåäóðû ëîêàëèçàöèè ÐÇ ïî-
çâîëÿåò ïîëó÷èòü êîîðäèíàòû èõ ìåñòîïîëîæå-
íèÿ íà èçîáðàæåíèè ôîòîøàáëîíà. Ïðè ýòîì
ñîêðàùàåòñÿ îáúåì îáðàáàòûâàåìîé èíôîðìàöèè,
ïîñòóïàþùåé íà âõîä ñëåäóþùåé ïðîöåäóðû —
èäåíòèôèêàöèè. Ñôîðìèðîâàííûé â ðåçóëüòàòå
èäåíòèôèêàöèè íàáîð ïðèçíàêîâ èñïîëüçóåòñÿ
äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ îáó÷àþùåé âûáîðêè. Äàëåå
ïðîèñõîäèò îáó÷åíèå ñèñòåìû íà îñíîâå íåéðî-
ñåòåâîãî ïîäõîäà, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ñòðîèòñÿ ðàç-
äåëÿþùàÿ ïîâåðõíîñòü. Ïîñëå ýòîãî ïåðåõîäÿò ê
ýòàïó êëàññèôèêàöèè ÐÇ, íà êîòîðîì ïîëó÷àþò
èíôîðìàöèþ î ïðèíàäëåæíîñòè ÐÇ ê îïðåäå-
ëåííîìó êëàññó. Ðåçóëüòàòîì ðàñïîçíàâàíèÿ ÿâ-
ëÿåòñÿ êëàññèôèêàöèîííîå ðåøåíèå. Äàëåå âû-
ïîëíÿåòñÿ ïîçèöèîíèðîâàíèå èçîáðàæåíèé äè-
àãíîñòèðóåìîãî ôîòîøàáëîíà îòíîñèòåëüíî ýòà-
ëîíà, ïîñòóïàþùåãî èç ñïåöèàëüíîé áàçû. Ïîñ-
ëå ýòîãî âûïîëíÿåòñÿ èõ áèíàðèçàöèÿ. Â ðåçóëü-
òàòå ðàáîòû ñèñòåìû âûäåëÿþòñÿ äåôåêòû, ò. å.
îïðåäåëÿåòñÿ èõ ìåñòîïîëîæåíèå íà èçîáðàæå-
íèè ÔØ.
Äëÿ ðåàëèçàöèè ïðîöåäóðû, âûïîëíÿåìîé
áëîêîì ëîêàëèçàöèè ÐÇ, èñïîëüçîâàëñÿ ìåòîä
ëîêàëèçàöèè ìàëîðàçìåðíûõ îáúåêòîâ íà èçîá-
ðàæåíèè [2]. Ñîçäàííàÿ íà åãî áàçå ìåòîäèêà
ëîêàëèçàöèè ÐÇ íà èçîáðàæåíèè ÔØ ïîçâîëè-
ëà çà ñ÷åò ïðèìåíåíèÿ ÃÂÏ ïîëó÷èòü èõ êîíòóð
â óñëîâèÿõ ïîìåõ. Ïðîöåäóðà, âûïîëíÿåìàÿ áëî-
êîì ôîðìèðîâàíèÿ îáðàçîâ ÐÇ, ðåàëèçîâàíà íà
îñíîâå ìåòîäèêè èäåíòèôèêàöèè [2].
Ñ öåëüþ óìåíüøåíèÿ óðîâíÿ øóìîâ â ñèñòå-
ìå ïðåäóñìîòðåíà ïðåäâàðèòåëüíàÿ îáðàáîòêà
ïîäàâàåìîãî íà åå âõîä èçîáðàæåíèÿ ôîòîøàá-
ëîíà. Îáðàáîòêà ïðîèçâîäèòñÿ ñ ïîìîùüþ ìå-
äèàííîãî ôèëüòðà äëÿ óñòðàíåíèÿ àääèòèâíîé
ïîìåõè è ñ ïîìîùüþ ãîìîìîðôíîé ôèëüòðàöèè
äëÿ óñòðàíåíèÿ ìóëüòèïëèêàòèâíîé ïîìåõè.
Ðàçðàáîòàííàÿ ñèñòåìà èñêóññòâåííîãî èíòåë-
ëåêòà êðîìå àâòîìàòè÷åñêîãî ðåæèìà ìîæåò òàê-
æå ðàáîòàòü è â ðó÷íîì, ïîçâîëÿþùåì íàáëþ-
äàòü çà âñåìè ýòàïàìè îáðàáîòêè èçîáðàæåíèÿ è
çà ïîëó÷åíèåì ðåçóëüòàòà.
Íà ðèñ. 2 ïðèâåäåí ðåçóëüòàò ïðîâåäåíèÿ
äèàãíîñòèêè îäíîãî èç ôîòîøàáëîíîâ.
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî â ÑÈÈ ðåàëèçîâàíà
ôóíêöèÿ ýêñïåðòèçû, ñ ïîìîùüþ êîòîðîé ïîëó-
÷àåì èíôîðìàöèþ î êîëè÷åñòâå, ðàäèóñå è ïëî-
ùàäè âûäåëåííûõ äåôåêòîâ.
Òåñòèðîâàíèå ðàçðàáîòàííîé ñèñòåìû ïîêàçà-
ëî, ÷òî ïî ñðàâíåíèþ ñ ñóùåñòâóþùèìè êîì-
ïëåêñàìè îíà ïîçâîëÿåò äî 1,2 ðàçà ïîâûñèòü
äîñòîâåðíîñòü ðåçóëüòàòîâ äèàãíîñòèêè ïðè îò-
íîøåíèè ñèãíàë/øóì 10—20 (ïî ìîùíîñòè).
Ðèñ.1. Ñòðóêòóðíàÿ ñõåìà ñèñòåìû èñêóññòâåííîãî èíòåëëåêòà äëÿ òåõíè÷åñêîé äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ
( — ïåðåäà÷à äàííûõ äëÿ ïîçèöèîíèðîâàíèÿ èçîáðàæåíèé; — ïåðåäà÷à äàííûõ äëÿ âûäåëåíèÿ äåôåêòîâ;
— ïåðåäà÷à â ðàáî÷åì ðåæèìå)
Áëîê îáó÷åíèÿ
íåéðîííîé ñåòè
(ÍÑ)
Áëîê
ôîðìèðîâàíèÿ
îáðàçîâ ÐÇ
Áëîê
ëîêàëèçàöèè ÐÇ
Ïîèñê
è âûäåëåíèå
êîíòóðîâ ÐÇ
Ïðåäâàðèòåëü-
íàÿ îáðàáîòêà
èçîáðàæåíèÿ
ôîòîøàáëîíà
Èçîáðàæåíèå
ôîòîøàáëîíà
ÃÂÏ
èçîáðàæåíèÿ
ôîòîøàáëîíà
Ïðîñëåæèâàíèå
êîíòóðîâ ÐÇ
Êîîðäèíàòû
êîíòóðîâ ÐÇ
Áàçà
ñ èçîáðà-
æåíèÿìè
ýòàëîíîâ
Âûäåëåíèå
õàðàêòåðíûõ
òî÷åê
Îïðåäåëåíèå
ÃÌÏ ÐÇ
Èäåíòèôè-
êàöèîííûé
âåêòîð
ïðèçíàêîâ
ÐÇ
Áàçà
ñ îáó÷àþ-
ùåé
âûáîðêîé
Ïîñòðîåíèå
ðàçäåëÿþùåé
ïîâåðõíîñòè
Ïîäñòðî-
åííûå
êîýôôèöè-
åíòû ÍÑ
Êëàññèôèêàöèÿ
ÐÇ
Áàçà
ñ ïàðàìåò-
ðàìè
îáó÷åííîé
ÍÑ
Ïîçèöèîíèðî-
âàíèå
èçîáðàæåíèé
ïî ÐÇ
Áèíàðèçàöèÿ
èçîáðàæåíèé
Âûäåëåíèå
äåôåêòîâ
ôîòîøàáëîíà
Âûäåëåí-
íûå
äåôåêòû
Èçîáðàæåíèå
ýòàëîíà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1 9
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Ïðè âåëè÷èíå ýòîãî îòíîøåíèÿ 7—10 äîñòîâåð-
íîñòü ðåçóëüòàòà ñîñòàâëÿåò 0,95, â òî âðåìÿ êàê
ñóùåñòâóþùèå êîìïëåêñû â óñëîâèÿõ òàêîé çà-
øóìëåííîñòè âîîáùå íå ðàáîòîñïîñîáíû. Ýòî
îçíà÷àåò, ÷òî ðàçðàáîòàííàÿ ñèñòåìà èñêóññòâåí-
íîãî èíòåëëåêòà èìååò âûñîêèé óðîâåíü ïîìåõî-
óñòîé÷èâîñòè, ïîýòîìó åå âêëþ÷åíèå â ñîñòàâ ïðî-
ãðàììíî-àïïàðàòíîãî êîìïëåêñà äëÿ òåõíè÷åñêîé
äèàãíîñòèêè ôîòîøàáëîíîâ ïîçâîëèò óìåíüøèòü
òðåáîâàíèÿ ê åãî àïïàðàòíîìó èñïîëíåíèþ, ò. å.
ñíèçèòü ñòîèìîñòü êîìïëåêñà, à â ðåçóëüòàòå —
ñäåëàòü ðåíòàáåëüíûì ìåëêîñåðèéíîå ïðîèçâîä-
ñòâî èçäåëèé.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ãðà÷åâ À. À., Ìåëüíèê À. À., Ïàíîâ Ë. È. Ïîâåðõíî-
ñòíûé ìîíòàæ ïðè êîíñòðóèðîâàíèè è ïðîèçâîäñòâå ýëåêò-
ðîííîé àïïàðàòóðû.— Îäåññà: ÖÍÒÝÏÈ ÎÍÞÀ, 2003.
[Grachev A. A., Mel’nik A. A., Panov L. I. Poverkhnostnyi
montazh pri konstruirovanii i proizvodstve elektronnoi apparatury.
Odessa: TsNTEPI ONYuA, 2003. ]
2.. Êðûëîâ Â. Í., Ùåðáàêîâà Ã. Þ., Êîçèíà Þ. Þ. Ïî-
çèöèîíèðîâàíèå èçîáðàæåíèé ôîòîøàáëîíîâ â ñèñòåìàõ àâ-
òîìàòèçèðîâàííîãî îïòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ // Òåõíîëîãèÿ è
êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.— 2007 .— ¹ 3.—
Ñ. 61—64. [Krylov V. N., Shcherbakova G.Yu., Kozina Yu.Yu.
Pozitsionirovanie izobrazhenii fotoshablonov v sistemakh avtomatizi-
rovannogo opticheskogo kontrolya // Tekhnologiya i konstruiro-
vanie v elektronnoi apparature. 2007 . N 3. P. 61—64.]
3. Ùåðáàêîâà Ã. Þ., Êðûëîâ Â. Í., Êîçèíà Þ. Þ. Èäåí-
òèôèêàöèÿ èçîáðàæåíèé ðåïåðíûõ çíàêîâ â ñèñòåìàõ ÀÎÊ
ÈÝÒ // Òð. Ìåæäóíàð. íàó÷.-ïðàêòè÷. êîíô. «ÑÈÝÒ-
2006».— Óêðàèíà, ã. Îäåññà, 2006.— Ñ. 67. [Shcherbakova
G. Yu., Krylov V. N., Kozina Yu. Yu. Identifikatsiya
izobrazhenii repernykh znakov v sistemakh AOK IET // Tr.
Mezhdunar. nauch.-praktich. konf. «SIET-2006». Ukraine,
Odessa, 2006. P. 67.]
4. Êðûëîâ Â. Í., Ùåðáàêîâà Ã. Þ., Êîçèíà Þ. Þ.,
Âîëîøèí Â. Â. Ïîìåõîóñòîé÷èâàÿ êëàññèôèêàöèÿ ðåïåðíûõ
çíàêîâ â ïðîñòðàíñòâå ãèïåðáîëè÷åñêîãî âåéâëåò-ïðåîáðàçî-
âàíèÿ // Ñèñòåìí³ òåõíîëî㳿.— 2007 .— ¹ 6.— Ñ. 125—
130. [Krylov V.N., Shcherbakova G.Yu., Kozina Yu.Yu.,
Voloshin V.V. // Sistemni tekhnologiyi. 2007 . N 6. P. 125]
5. Êðûëîâ Â. Í., Ùåðáàêîâà Ã. Þ., Àíòîùóê Ñ. Ã.,
Êîçèíà Þ. Þ. Ïîìåõîóñòîé÷èâàÿ áèíàðèçàöèÿ èçîáðàæåíèé
ôîòîøàáëîíîâ â ïðîñòðàíñòâå ãèïåðáîëè÷åñêîãî âåéâëåò-ïðå-
îáðàçîâàíèÿ // Òðóäû Îäåñ. ïîëèòåõí. óí-òà.— 2007.—
Âûï. 2.— Ñ. 119—122. [Krylov V. N., Shcherbakova G. Yu.,
Antoshchuk S. G., Kozina Yu. Yu. // Trudy Odes. politekhn.
un-ta. 2007. Iss. 2. P. 119]
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ ðóêîïèñè
â ðåäàêöèþ 17.10 2011 ã.
___________________________
Kozina Yu. Yu., Kozin A. A. Artificial intelligence
system for technical diagnostics of photomasks
Keywords: photomask, artificial intelligence system,
technical diagnostics, fiducial marks.
The developed artificial intelligence system has a high
level of noise immunity, so its inclusion in the hardware
and software for technical diagnostics of photomasks
will reduce the hardware requirements for its execution,
and thereby reduce the cost of the complex. As a
result it will allow to make a small-scale production
profitable.
Ukraine, Odessa National Polytechnic University
____________________________
Êîçèíà Þ. Þ., Êîçèí À. Î. Ñèñòåìà øòó÷íîãî
³íòåëåêòó äëÿ òåõí³÷íî¿ ä³àãíîñòèêè ôîòîøàáëîí³â
Êëþ÷îâ³ ñëîâà: ôîòîøàáëîí, ñèñòåìà øòó÷íîãî
³íòåëåêòó, òåõí³÷íà ä³àãíîñòèêà, ðåïåðí³ çíàêè.
Ðîçðîáëåíà ñèñòåìà øòó÷íîãî ³íòåëåêòó ìຠâèñî-
êèé ð³âåíü çàâàäîñò³éêîñò³, òîìó ¿¿ âêëþ÷åííÿ äî
ñêëàäó ïðîãðàìíî-àïàðàòíîãî êîìïëåêñó äëÿ òåõí³-
÷íî¿ ä³àãíîñòèêè ôîòîøàáëîí³â äîçâîëèòü çìåíøè-
òè âèìîãè äî éîãî àïàðàòíîãî âèêîíàííÿ, òîáòî çíè-
çèòè âàðò³ñòü êîìïëåêñó, à â ðåçóëüòàò³ — çðîáèòè
ðåíòàáåëüíèì äð³áíîñåð³éíå âèðîáíèöòâî âèðîá³â.
Óêðà¿íà, Îäåñüêèé íàö³îíàëüíèé ïîë³òåõí³÷íèé óí³-
âåðñèòåò
Ðèñ. 2. Ôðàãìåíò èçîáðàæåíèÿ ôîòîøàáëîíà ñ âû-
äåëåííûìè äåôåêòàìè
|