Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения
Предложен метод определения мощности дозы излучения по ионизационному току в p—n-переходе и радиационной стойкости МДП интегральных схем с помощью низкоэнергетического (10—40 кэВ) рентгеновского излучения....
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51646 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 30-34. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51646 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-516462013-12-06T03:08:42Z Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения Перевертайло, В.Л. Функциональная микро- и наноэлектроника Предложен метод определения мощности дозы излучения по ионизационному току в p—n-переходе и радиационной стойкости МДП интегральных схем с помощью низкоэнергетического (10—40 кэВ) рентгеновского излучения. Запропоновано метод визначення потужності дози випромінення за іонізаційним струмом в p—n-пере-ході та радіаційної стійкості МДН інтегральних схем за допомогою низькоенергетичного (10—40 кеВ) рентгенівського випромінювання. A method is proposed for determination of radiation dose via the ionization current in the p—n-junction and of radiation resistance of MIS integrated circuits with the use of low-energy (10—40 keV) X-rays. 2012 Article Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 30-34. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51646 539.1.074.5; 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника |
| spellingShingle |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника Перевертайло, В.Л. Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложен метод определения мощности дозы излучения по ионизационному току в p—n-переходе и радиационной стойкости МДП интегральных схем с помощью низкоэнергетического (10—40 кэВ) рентгеновского излучения. |
| format |
Article |
| author |
Перевертайло, В.Л. |
| author_facet |
Перевертайло, В.Л. |
| author_sort |
Перевертайло, В.Л. |
| title |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения |
| title_short |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения |
| title_full |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения |
| title_fullStr |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения |
| title_full_unstemmed |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения |
| title_sort |
определение радиационной стойкости ис с помощью низкоэнергетического излучения |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51646 |
| citation_txt |
Определение радиационной стойкости ИС с помощью низкоэнергетического излучения / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 1. — С. 30-34. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT perevertajlovl opredelenieradiacionnojstojkostiisspomoŝʹûnizkoénergetičeskogoizlučeniâ |
| first_indexed |
2025-07-04T13:45:45Z |
| last_indexed |
2025-07-04T13:45:45Z |
| _version_ |
1836724252607250432 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1
30
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ÓÄÊ 539.1.074.5; 621.382
Ê. ô.-ì. í. Â. Ë. ÏÅÐÅÂÅÐÒÀÉËÎ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ ÍÒÊ «ÈÌÊ» ÍÀÍÓ
E-mail: detector@carr³er.k³ev.ua
ÎÏÐÅÄÅËÅÍÈÅ ÐÀÄÈÀÖÈÎÍÍÎÉ ÑÒÎÉÊÎÑÒÈ ÈÑ
Ñ ÏÎÌÎÙÜÞ ÍÈÇÊÎÝÍÅÐÃÅÒÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÈÇËÓ×ÅÍÈß
Ïðåäëîæåí ìåòîä îïðåäåëåíèÿ ìîùíîñòè äîçû èçëó÷åíèÿ ïî èîíèçàöèîííîìó òîêó â p—n-ïåðåõîäå è
ðàäèàöèîííîé ñòîéêîñòè ÌÄÏ èíòåãðàëüíûõ ñõåì ñ ïîìîùüþ íèçêîýíåðãåòè÷åñêîãî (10—40 êýÂ)
ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ.
Êëþ÷åâûå ñëîâà: ðàäèàöèîííûå èñïûòàíèÿ, íèçêîýíåðãåòè÷åñêîå ðåíòãåíîâñêîå èçëó÷åíèå, ÌÎÏ ñòðóê-
òóðà, ðàäèàöèîííàÿ ñòîéêîñòü ÈÑ.
Ïðè èññëåäîâàíèè ðàäèàöèîííîé ñòîéêîñòè
èíòåãðàëüíûõ ñõåì (ÈÑ) è ïðè ðàçðàáîòêå èõ
òåõíîëîãèè è êîíñòðóêöèè âîçíèêàåò íåîáõîäè-
ìîñòü â ìåòîäå, ïîçâîëÿþùåì îöåíèâàòü ðàäèà-
öèîííîå âîçäåéñòâèå íà ÈÑ íà ðàçëè÷íûõ ñòà-
äèÿõ èõ èçãîòîâëåíèÿ, à òàêæå ïîñëå èçãîòîâëå-
íèÿ íåïîñðåäñòâåííî íà ïëàñòèíàõ êðåìíèÿ, êîã-
äà îíè åùå íå ñîáðàíû â êîðïóñà, â óñëîâèÿõ
ïðîèçâîäñòâà êðèñòàëëîâ èëè â ëàáîðàòîðèè.
Ïðèìåíåíèå âûñîêîýíåðãåòè÷åñêèõ (ÂÝ) èñòî÷-
íèêîâ èîíèçèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ äëÿ îáëó÷åíèÿ
ÈÑ (îáû÷íî ýòî 60Co (1,2 ÌýÂ), 137Cs (662 êýÂ)
è äð.) òðåáóåò ñïåöèàëüíûõ ìåð ïî îðãàíèçàöèè
èñïûòàíèé è çàùèòå ïåðñîíàëà ïðè èõ ïðîâåäå-
íèè, ðàñïîëîæåíèÿ êîíòðîëüíî-èçìåðèòåëüíîé
àïïàðàòóðû íà çíà÷èòåëüíîì óäàëåíèè îò èñ-
ñëåäóåìûõ îáúåêòîâ, ñáîðêè ÈÑ â êîðïóñà è
êîíòàêòèðîâàíèå ê íèì ÷åðåç ðàçúåìû è äëèí-
íûå êàáåëè, íåîáõîäèì äîçèìåòðè÷åñêèé êîíò-
ðîëü è äðóãèå òåõíè÷åñêèå ìåðû. Âñå ýòî çíà÷è-
òåëüíî óñëîæíÿåò è óäëèíÿåò ñðîêè òàêèõ èñ-
ñëåäîâàíèé. Ïîýòîìó ÷ðåçâû÷àéíî ïðèâëåêàòåëü-
íûì ÿâëÿåòñÿ ïðèìåíåíèå èñòî÷íèêîâ íèçêîýíåð-
ãåòè÷åñêîãî (ÍÝ) èîíèçèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ (íà-
ïðèìåð, ðåíòãåíîâñêîãî), ïîçâîëÿþùèõ ñóùå-
ñòâåííî óïðîñòèòü çàùèòó ïåðñîíàëà îò èîíèçè-
ðóþùèõ èçëó÷åíèé è, ñîîòâåòñòâåííî, ðàñïîëî-
æèòü êîíòðîëüíî-èçìåðèòåëüíóþ àïïàðàòóðó
ðÿäîì ñ èñòî÷íèêîì è èññëåäóåìûì îáúåêòîì,
îñóùåñòâèòü êîíòàêòèðîâàíèå ê ÈÑ èëè ê òåñòî-
âûì ñòðóêòóðàì ñ ïîìîùüþ çîíäîâ ïðÿìî íà
ïëàñòèíå èëè êîðîòêèìè ïðîâîäíèêàìè ê âûâî-
äàì êîðïóñîâ. Îäíàêî äëÿ òîãî, ÷òîáû ðåçóëü-
òàòû, ïîëó÷åííûå ïðè èñïîëüçîâàíèè ÍÝ-èñòî÷-
íèêà, ìîæíî áûëî ïðèìåíèòü äëÿ îöåíêè ñòîé-
êîñòè èçäåëèé ê ÂÝ-èçëó÷åíèþ, íåîáõîäèìî
îïðåäåëèòü óñëîâèÿ ìîäåëèðîâàíèÿ åãî âîçäåé-
ñòâèÿ è êàëèáðîâî÷íûå êîýôôèöèåíòû.
Èçâåñòíî [1—4], ÷òî â ÌÄÏ ÈÑ íàèáîëåå
÷óâñòâèòåëüíîé ê ðàäèàöèè ÷àñòüþ ÿâëÿåòñÿ
ÌÎÏ-ñòðóêòóðà, à òî÷íåå — îêñèäíûé äèýëåêò-
ðèê. Îñíîâíîé ïðè÷èíîé «íåñòîéêîñòè» ÌÎÏ-
ñòðóêòóðû ÿâëÿåòñÿ âñòðàèâàíèå ïîëîæèòåëüíîãî
çàðÿäà â îêñèä âáëèçè ïîâåðõíîñòè ðàçäåëà Si—
SiO2, ïðèâîäÿùåå ê ñäâèãó ïîðîãîâîãî íàïðÿæå-
íèÿ VT ÌÎÏ-ñòðóêòóðû ïðè îáëó÷åíèè. Ïîâå-
äåíèå ÌÎÏ-ñòðóêòóð ïðè ÂÝ- è ÍÝ-îáëó÷å-
íèè èçó÷åíî â ðÿäå ðàáîò [5—10] è ïîçâîëÿåò
ñäåëàòü âûâîä î ñõîäñòâå ïîâåäåíèÿ õàðàêòåðè-
ñòèê ÌÎÏ-ñòðóêòóðû (ÌÎÏ-òðàíçèñòîðà) â îáî-
èõ ñëó÷àÿõ, íî ñ ðàçëè÷íîé ÷óâñòâèòåëüíîñòüþ
ê èçëó÷åíèþ è ñ íåêîòîðûìè îñîáåííîñòÿìè.
Ìåòîä èñïîëüçîâàëñÿ ïðè ïðîâåðêå êîíñòðóê-
òèâíûõ ðåøåíèé è äëÿ îïòèìèçàöèè òåõíîëîãè-
÷åñêîãî ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ ðàäèàöèîííî ñòîé-
êèõ (ÐÑ) ÌÄÏ ÈÑ è ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ, à
òàêæå äëÿ êîíòðîëÿ ïàðàìåòðîâ ãîòîâûõ êðèñ-
òàëëîâ íà ïëàñòèíàõ äî ñáîðêè èçäåëèé. Äðó-
ãèì ïðèìåíåíèåì ìåòîäà ÿâëÿåòñÿ èññëåäîâàíèå
ïàðàìåòðîâ ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ, ïðåäíàçíà÷åí-
íûõ äëÿ äîçèìåòðèè èîíèçèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ
[11]. Ïðè åãî èñïîëüçîâàíèè îáëåã÷àåòñÿ âûïîë-
íåíèå òðåáîâàíèé ñàíèòàðíûõ íîðì è òåõíèêè
áåçîïàñíîñòè äëÿ ðàáîòàþùåãî ïåðñîíàëà, óñêî-
ðÿåòñÿ è óäåøåâëÿåòñÿ âûïîëíåíèå èñïûòàíèé,
÷òî äàåò ñóùåñòâåííûå ïðåèìóùåñòâà ïåðåä èñ-
ïîëüçîâàíèåì ÂÝ γ-èçëó÷åíèÿ.
Ýêñïåðèìåíòàëüíàÿ óñòàíîâêà
Óñòàíîâêà äëÿ ðàäèàöèîííûõ èññëåäîâàíèé
ñõåìàòè÷åñêè ïîêàçàíà íà ðèñ. 1, êîíòðîëü ïà-
ðàìåòðîâ îáëó÷àåìûõ ñòðóêòóð îñóùåñòâëÿëñÿ
àïïàðàòóðîé, ðàñïîëîæåííîé ñíàðóæè çàùèòíîãî
ýêðàíà. Èçìåðÿëèñü âîëüò-àìïåðíûå õàðàêòåðè-
ñòèêè (ÂÀÕ) ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ è âîëüò-ôà-
ðàäíûå õàðàêòåðèñòèêè (ÂÔÕ) ÌÎÏ-âàðàêòî-
ðîâ. Ðåíòãåíîâñêàÿ òðóáêà èçëó÷àòåëÿ «ÐÅÈÑ-È»
èìååò ìåäíûé àíîä, ÷òî îïðåäåëÿåò ýíåðãèþ
õàðàêòåðèñòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ îêîëî 8 êýÂ.
Ðåçóëüòàòû èçìåðåíèÿ ñïåêòðîâ íåñêîëüêèõ
òðóáîê, ïîëó÷åííûå ñ ïîìîùüþ áëîêà äåòåêòèðî-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1
31
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
âàíèÿ ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ ÁÄÐÊ íà îñíî-
âå ïîëóïðîâîäíèêîâîãî äåòåêòîðà ÁÄÐÊ-1/4-50,
ïîêàçàëè, ÷òî äîëÿ òîðìîçíîãî èçëó÷åíèÿ â èí-
òåíñèâíîñòè îáùåãî èçëó÷åíèÿ çàâèñèò îò óñêî-
ðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ íà àíîäå. Íàïðèìåð, ïðè
íàïðÿæåíèè íà àíîäå 10 ê òîðìîçíîå èçëó÷å-
íèå ìîæåò äîñòèãàòü 35%, à ïðè íàïðÿæåíèè
20 ê — 7—10%. Êðîìå òîãî, ðàçëè÷íûå ýêçåì-
ïëÿðû òðóáîê ìîãóò èìåòü ñâîè èíäèâèäóàëü-
íûå îñîáåííîñòè â ñïåêòðå (íàïðèìåð, â îäíîé èç
òðóáîê íàáëþäàëàñü ëèíèÿ æåëåçà îêîëî 6,4 êýÂ),
ò. å. ñïåêòð èñïîëüçóåìûõ ðåíòãåíîâñêèõ èñòî÷-
íèêîâ íåîáõîäèìî êîíòðîëèðîâàòü, ÷òîáû ó÷è-
òûâàòü ïîëó÷åííûå ðàíåå êàëèáðîâî÷íûå êîýô-
ôèöèåíòû.
Îïðåäåëåíèå ìîùíîñòè ðåíòãåíîâñêîãî
èçëó÷åíèÿ ïî òîêó p—n-ïåðåõîäà
Îäíîé èç îñíîâíûõ òðóäíîñòåé ïðåäëàãàåìî-
ãî ìåòîäà ÿâëÿåòñÿ îïðåäåëåíèå äîçû èçëó÷åíèÿ,
ïîãëîùåííîé ïîäçàòâîðíûì äèýëåêòðèêîì. Äëÿ
ýòîãî íåîáõîäèìî çíàòü ñïåêòðàëüíîå ðàñïðåäå-
ëåíèå èçëó÷åíèÿ ðåíòãåíîâñêîãî èñòî÷íèêà,
ñòðóêòóðó è ïàðàìåòðû ñëîåâ ÌÄÏ-ïðèáîðà.
Ñèòóàöèÿ óñëîæíÿåòñÿ òàêæå òåì, ÷òî äëÿ äàí-
íîãî äèàïàçîíà ýíåðãèè êâàíòîâ è ìîùíîñòè èç-
ëó÷åíèÿ íåò äîñòàòî÷íî ïðîñòîãî äîçèìåòðà. Ïî-
ýòîìó íàìè áûë èñïîëüçîâàí ìåòîä êîíòðîëÿ
ìîùíîñòè è äîçû îáëó÷åíèÿ îáðàçöà ïî èîíèçà-
öèîííîìó òîêó â p—n-ïåðåõîäå Ipn (p—n-ïåðå-
õîä ìîæåò ðàñïîëàãàòüñÿ íà îáëó÷àåìîé ïëàñòè-
íå â êà÷åñòâå òåñòîâîãî ýëåìåíòà).
 èîíèçàöèîííîì òîêå ïðèñóòñòâóþò äâå êîìïî-
íåíòû: äðåéôîâàÿ Iäð, ãåíåðèðóåìàÿ â îáëàñòè ïðî-
ñòðàíñòâåííîãî çàðÿäà (ÎÏÇ) p—n-ïåðåõîäà, è
äèôôóçèîííàÿ Iäèô, ãåíåðèðóåìàÿ â ïðèëåãàþùåì
ê ÎÏÇ îáúåìå êðåìíèÿ. Íà ðèñ. 2 ïðèâåäåíû ýêñ-
ïåðèìåíòàëüíûå çàâèñèìîñòè, èç êîòîðûõ âèäíî,
÷òî Ipn ïðàêòè÷åñêè ëèíåéíî çàâèñèò îò (U+Uêðï)
0,5
(U — ïðèëîæåííîå ê p—n-ïåðåõîäó îáðàòíîå íà-
ïðÿæåíèå, Uêðï — «âñòðîåííîå» íàïðÿæåíèå, ðàâ-
íîå êîíòàêòíîé ðàçíèöå ïîòåíöèàëîâ ìåæäó n-
è p-îáëàñòÿìè). Òî÷êè ïåðåñå÷åíèÿ ãðàôèêîâ ñ
îñüþ îðäèíàò ñîîòâåòñòâóþò çíà÷åíèÿì äèôôó-
çèîííîé ñîñòàâëÿþùåé èîíèçàöèîííîãî òîêà Iäèô,
êîòîðàÿ íå çàâèñèò îò íàïðÿæåíèÿ. Èç ðèñóíêà
âèäíî, ÷òî çíà÷åíèÿ Iäèô ðàçëè÷íû äëÿ ðàçíûõ
îáðàçöîâ, ò. å. ýòà ñîñòàâëÿþùàÿ íå ìîæåò áûòü
èñïîëüçîâàíà äëÿ îïðåäåëåíèÿ ìîùíîñòè ðåíò-
ãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ. Äðåéôîâàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ
Iäð ïðîïîðöèîíàëüíà îáúåìó ÎÏÇ, êîòîðûé ëè-
íåéíî çàâèñèò îò U0,5, à èäåíòè÷íîñòü õîäà ïðè-
âåäåííûõ íà ðèñóíêå êðèâûõ ãîâîðèò î òîì, ÷òî
çàâèñèìîñòè Iäð(U) îäèíàêîâû äëÿ âñåõ îáðàç-
öîâ. Òàêèì îáðàçîì, äðåéôîâàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ
ïîçâîëÿåò îäíîçíà÷íî îïðåäåëèòü ìîùíîñòü èç-
ëó÷åíèÿ.
Íàéòè ìîùíîñòü ïàäàþùåãî íà îáðàçåö èç-
ëó÷åíèÿ dD/dt ìîæíî áåç ðàäèîìåòðà, âîñïîëü-
çîâàâøèñü âûðàæåíèåì, àíàëîãè÷íûì (1.23) èëè
(3.11) â [12, ñ. 27, 71]:
äð îïç
d
d ,
D
I Sd eg
t
= , (1)
Îäíàêî äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ ýòîé ôîðìóëû
íåîáõîäèìî ñíà÷àëà îïðåäåëèòü ñêîðîñòü ãåíå-
ðàöèè g, ïðîâåäÿ èçìåðåíèå èîíèçàöèîííîãî
òîêà Ipn è ìîùíîñòè ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ
(ëþáûì ðåíòãåíîâñêèì ðàäèîìåòðîì ñ íèæíèì
ïðåäåëîì äèàïàçîíà ÷óâñòâèòåëüíîñòè äî 5 êýÂ).
Ïîñëå ýòîãî íóæíî âû÷èñëèòü çíà÷åíèå äðåé-
ôîâîãî òîêà (âû÷èòàÿ èç Ipn çíà÷åíèå Iäèô äëÿ
äàííîãî îáðàçöà), à çàòåì ïîäñòàâèòü ïîëó÷åí-
íîå çíà÷åíèå Iäð è èçìåðåííóþ ìîùíîñòü èçëó-
÷åíèÿ â âûðàæåíèå (1). Ïîëó÷èâ òàêèì îáðà-
çîì ñêîðîñòü ãåíåðàöèè g, äàëåå óæå ìîæíî ïî
Ðèñ. 1. Óñòàíîâêà äëÿ îáëó÷åíèÿ ïîëóïðîâîäíèêî-
âûõ ñòðóêòóð:
1 — ýêðàí; 2 — ìèêðîçîíäîâàÿ óñòàíîâêà; 3 — ðåíòãåíîâ-
ñêèé èçëó÷àòåëü «PEÈÑ-È», 4 — óïîð, 5 — îáðàçåö (ïëàñ-
òèíà); 6 — ñòîëèê, 7 — çîíäû
4
5
3
Ó
1
6
7
2
ïëîùàäü ïåðåõîäà;
ãëóáèíà ÎÏÇ;
çàðÿä ýëåêòðîíà;
ñêîðîñòü ãåíåðàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà;
äîçà è âðåìÿ îáëó÷åíèÿ.
ãäå S —
dîïç —
e —
g —
D, t —
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü èîíèçàöèîííîãî òîêà p-n-ïåðå-
õîäà îò íàïðÿæåíèÿ äëÿ òðåõ îáðàçöîâ, îáëó÷åííûõ
ðåíòãåíîâñêîé òðóáêîé ÁÑ-1 (Cu) ïðè óñêîðÿþùåì
íàïðÿæåíèè íà àíîäå 20 êÂ, òîêå òðóáêè 60 ìêÀ,
ðàññòîÿíèè îò àíîäà äî îáðàçöà 10 ìì
1 2 3 + 0,50,75, BU
Ipn,
îòí. åä
20
15
10
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1
32
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ôîðìóëå (1) âû÷èñëÿòü ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ,
èçìåðÿÿ òîëüêî âåëè÷èíó òîêà.
Ñðàâíåíèå ðåçóëüòàòîâ èçìåðåíèÿ ïàðàìåòðîâ
ÌÎÏ-ýëåìåíòîâ ïðè ÂÝ- è ÍÝ-îáëó÷åíèè
Èññëåäîâàíèå âëèÿíèÿ ïîñòîÿííîé è èìïóëü-
ñíîé äîçû èîíèçèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ íà ïîâåäå-
íèå ïàðàìåòðîâ ÌÄÏ ÈÑ (ïîðîãîâûå íàïðÿæå-
íèÿ, ÂÔÕ è äð.) è îïðåäåëåíèå êîýôôèöèåí-
òîâ äëÿ «ñøèâêè» ðåçóëüòàòîâ ÂÝ- è ÍÝ-èñïû-
òàíèé ïðîâîäèëîñü ñ èñïîëüçîâàíèåì èñïûòàòåëü-
íîé áàçû â ã. Ëûòêàðèíî (Ðîññèÿ) è â Èíñòèòó-
òå ôèçèêè ÍÀÍ Óêðàèíû (ëèíåéíûé óñêîðè-
òåëü ýëåêòðîíîâ è óñòàíîâêà ÌÐÕ-1000 íà èçî-
òîïå 60Co).
Çíà÷åíèå óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ íà àíî-
äå ðåíòãåíîâñêîé òðóáêè ñîñòàâëÿëî 20 êÂ, òîê
òðóáêè 60 ìêÀ, ìîùíîñòü ýêâèâàëåíòíîé äîçû
ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ 100—1000 ðàä/ñ. Ïî-
ñêîëüêó äîçà â 1 Ìðàä ïîãëîùàåòñÿ â òå÷åíèå
íåñêîëüêèõ ìèíóò, ìåòîä ÿâëÿåòñÿ ýêñïðåññíûì
ïî ñðàâíåíèþ ñ ìåòîäèêîé ñòàíäàðòíûõ èñïûòà-
íèé, âêëþ÷àþùèõ ñáîðêó ÌÄÏ ÈÑ â êîðïóñà,
ïîäêëþ÷åíèå êîíòðîëüíî-èçìåðèòåëüíîé àïïà-
ðàòóðû, îáëó÷åíèå ÂÝ γ-èçëó÷åíèåì îò èñòî÷íè-
êà íà 60Co (137Cs), òåðìîëþìèíèñöåíòíóþ äîçè-
ìåòðèþ.
Êîýôôèöèåíòû, íåîáõîäèìûå äëÿ ðàñ÷åòà
ñòîéêîñòè, îïðåäåëåíû èç ñîïîñòàâëåíèÿ ðåçóëü-
òàòîâ, ïîëó÷åííûõ ïðè èñïîëüçîâàíèè ÂÝ γ-èñ-
òî÷íèêà (60Ñî) è ÍÝ ðåíòãåíîâñêîãî èñòî÷íèêà.
Ïîãðåøíîñòü ìåòîäà ïðè îöåíêå ñòîéêîñòè íàõî-
äèòñÿ â ïðåäåëàõ 20%.
Ðåçóëüòàòû âëèÿíèÿ ÍÝ ðåíòãåíîâñêîãî îáëó-
÷åíèÿ íà âàðàêòîðû, èçãîòîâëåííûå ïî ñòàíäàðò-
íîé ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèè, ïðèâåäåíû íà ðèñ. 3, 4.
Âàðàêòîðû èçãîòîâëåíû íà ïëàñòèíàõ ð-òèïà,
òîëùèíà ïîäçàòâîðíîãî îêñèäà 400 , ìàòåðèàë
çàòâîðà — ïîëèêðåìíèé òîëùèíîé 0,5 ìêì.
Íà ïîëèêðåìíèè âûðàùèâàëè îêñèä òîëùèíîé
0,2 ìêì, çàòåì íàíîñèëè ñëîé ôîñôîðîñèëèêàò-
íîãî ñòåêëà 0,65 ìêì è ñëîé àëþìèíèÿ 1,2 ìêì.
Íàñûùåíèå âåëè÷èíû ñäâèãà (ñì. ðèñ. 3) ìîæåò
îáúÿñíÿòüñÿ òåì, ÷òî íàêîïëåíèå çàðÿäà â îêñè-
äå ñ óâåëè÷åíèåì âðåìåíè îáëó÷åíèÿ èçìåíÿåò
ðàñïðåäåëåíèå ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â îêñèäå,
óìåíüøàÿ åãî äî íåêîòîðîé âåëè÷èíû, ïðè êî-
òîðîé ïðîöåññ íàêîïëåíèÿ çàðÿäà óðàâíîâåøè-
âàåòñÿ ïðîöåññîì åãî èñ÷åçíîâåíèÿ âñëåäñòâèå
«çàáðîñà» ýëåêòðîíîâ èç ìåòàëëà èëè ïîëóïðî-
âîäíèêà â îêñèä. Çàâèñèìîñòè íà ðèñ. 3 è 4
êà÷åñòâåííî ñîãëàñóþòñÿ ñ çàâèñèìîñòÿìè, ïî-
ëó÷åííûìè ïðè èñïîëüçîâàíèè ÂÝ-èñòî÷íèêà
60Ñî (1,2 ÌýÂ).
Òàêèì îáðàçîì, ðåçóëüòàòû îáëó÷åíèÿ ýëå-
ìåíòîâ ÌÄÏ ÈÑ ÍÝ ðåíòãåíîâñêèì èçëó÷åíèåì
(8 êýÂ) ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû äëÿ ìîäåëè-
ðîâàíèÿ âîçäåéñòâèÿ ÂÝ γ-èçëó÷åíèÿ îò 60Ñî,
ïîñêîëüêó â îáîèõ ñëó÷àÿõ íàáëþäàþòñÿ â îñ-
íîâíîì îäíè è òå æå ýôôåêòû, à èìåííî:
à) âñòðàèâàíèå ïîëîæèòåëüíîãî çàðÿäà â îê-
ñèä êðåìíèÿ;
á) çàâèñèìîñòü ñäâèãà ÂÔÕ îò ýëåêòðè÷åñêî-
ãî ïîëÿ â äèýëåêòðèêå;
â) êà÷åñòâåííîå ñõîäñòâî çàâèñèìîñòåé ñäâè-
ãà ÂÔÕ îò äîçû îáëó÷åíèÿ è îò ïàðàìåòðîâ ïîëÿ
èçëó÷åíèÿ.
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ïðè èññëåäîâàíèÿõ öå-
ëåñîîáðàçíî ðàáîòàòü ñ áîëåå âûñîêèìè ïîëÿìè,
ò. ê. â ýòîì ñëó÷àå ñãëàæèâàåòñÿ ðàçíèöà â ðå-
êîìáèíàöèè ãåíåðèðîâàííûõ ýëåêòðîííî-äûðî÷-
íûõ ïàð [5, 13], îáóñëîâëåííàÿ ðàçëè÷èåì â ýíåð-
ãèè 60Ñî-èçëó÷åíèÿ è íèçêîýíåðãåòè÷åñêîãî (10—
40 êýÂ) ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ.  ñëó÷àå íèç-
êèõ ïîëåé ýòà ðàçíèöà äîëæíà áûòü ìàêñèìàëü-
íîé, ÷òî óñëîæíÿåò ñðàâíåíèå ðåçóëüòàòîâ ýòèõ
äâóõ âèäîâ èñïûòàíèé.
 òàáëèöå ïðèâåäåíû äàííûå î ðåæèìàõ îá-
ëó÷åíèÿ ÂÝ γ-èçëó÷åíèåì îò 60Ñî è ðåíòãåíî-
âñêèì èçëó÷åíèåì ïðè èñïûòàíèè òðàíçèñòîðîâ,
èçãîòîâëåííûõ ïî ñïåöèàëüíîé («ñòîéêîé») òåõ-
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü ìàêñèìàëüíîãî (â íàñûùåíèè)
ñäâèãà ÂÔÕ ÌÎÏ-âàðàêòîðà îò íàïðÿæåíèÿ íà
çàòâîðå
–8 –6 –4 –2 0 2 4 6 8 Uç, Â
∆Vc,B
2,0
1,5
1,0
0,5
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ñäâèãà ÂÔÕ ÌÎÏ-âàðàêòîðà
îò âðåìåíè îáëó÷åíèÿ t ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ
íàïðÿæåíèÿ íà çàòâîðå Uç
0 10 20 30 40 50 t, ìèí
∆Vñ, B
2,0
1,5
1,0
0,5
Uç=+10 Â
+8 Â
+4 Â
+2 Â
0 Â –8 Â
–2 Â
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1
33
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
íîëîãèè. Ýòè äàííûå ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû
ïðè âûáîðå âðåìåíè îáëó÷åíèÿ ðåíòãåíîâñêèì
èñòî÷íèêîì, íåîáõîäèìîãî äëÿ íàêîïëåíèÿ çà-
äàííîé äîçû îáëó÷åíèÿ.
Êàê âèäíî èç òàáëèöû, â ïðåäëàãàåìîì ìåòî-
äå èçìåðÿåòñÿ âåëè÷èíà ñäâèãà ïîðîãîâîãî íà-
ïðÿæåíèÿ ÌÎÏ-ñòðóêòóðû ïðè îáëó÷åíèè èîíè-
çèðóþùèì èçëó÷åíèåì, êîòîðàÿ ÿâëÿåòñÿ îäíèì
èç îñíîâíûõ ïàðàìåòðîâ, õàðàêòåðèçóþùèõ ñòîé-
êîñòü ÌÎÏ ÈÑ è åå ýëåìåíòîâ. Ñëåäóåò îòìå-
òèòü, ÷òî ïðèâåäåííûå â òàáëèöå äàííûå ñâèäå-
òåëüñòâóþò î òîì, ÷òî èñïûòàííûå îáðàçöû èìå-
þò áîëåå âûñîêóþ ðàäèàöèîííóþ ñòîéêîñòü, ÷åì
èçãîòîâëåííûå ïî ñòàíäàðòíîé òåõíîëîãèè. Òàê,
äëÿ ñòàíäàðòíûõ ÌÎÏ ÈÑ óæå ïðè äîçàõ 104—
105 ðàä íàáëþäàþòñÿ ñäâèãè ∆VT îò äåñÿòûõ
äîëåé âîëüòà äî íåñêîëüêèõ âîëüò, òîãäà êàê
äëÿ èññëåäîâàííûõ îáðàçöîâ ïðè çíà÷èòåëüíî
áîëåå âûñîêîé äîçå â 106 ðàä ñäâèãè ∆VT ñîñòàâ-
ëÿþò âñåãî ëèøü äåñÿòûå äîëè âîëüòà.
Òàêèì îáðàçîì, ìåòîä äàåò âîçìîæíîñòü îöå-
íèòü ñòåïåíü ñòîéêîñòè ýëåìåíòîâ ÌÎÏ ÈÑ.
Îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ ìåòîäà
Èçâåñòíî, ÷òî ïðè äîçàõ îáëó÷åíèÿ ïîðÿäêà
108 ðàä è áîëåå ïðîÿâëÿþòñÿ ýôôåêòû, ñâÿçàííûå
ñ äåôåêòîîáðàçîâàíèåì â êðåìíèåâîé ïîäëîæêå,
÷òî ïðèâîäèò ê èçìåíåíèþ ýôôåêòèâíîé êîíöåí-
òðàöèè ëåãèðóþùåé ïðèìåñè â êàíàëå (è, ñîîòâåò-
ñòâåííî, ê èçìåíåíèþ êîíöåíòðàöèè ïîäâèæíûõ
íîñèòåëåé â êàíàëå), ê óìåíüøåíèþ âðåìåíè æèç-
íè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà, ê óìåíüøåíèþ
ïîäâèæíîñòè íîñèòåëåé çàðÿäà è ê äðóãèì ýô-
ôåêòàì (ñì., íàïðèìåð, [1—4, 12, 14]). Â íàñòîÿ-
ùåé ðàáîòå íå ðàññìàòðèâàåòñÿ ïðèìåíåíèå ìåòîäà
ïðè áîëüøèõ äîçàõ îáëó÷åíèÿ (≥108 ðàä).
Ïðèìåíåíèå ïðåäñòàâëåííîãî ìåòîäà îãðàíè-
÷åíî äèàïàçîíîì äîç, êîãäà äåôåêòû â ïîäëîæêå
åùå íåçíà÷èòåëüíî âëèÿþò íà õàðàêòåðèñòèêè
ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ. Ïðè ýòîì îñíîâíûì ýôôåê-
òîì ïðè îáëó÷åíèè ÌÎÏ-òðóêòóðû ñ÷èòàåòñÿ
ãåíåðàöèÿ ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïàð â îêñèäå
ñî âñòðàèâàíèåì ïîëîæèòåëüíîãî çàðÿäà äû-
ðîê â îêñèä (SiO2) âáëèçè ïîâåðõíîñòè ðàçäå-
ëà Si—SiO2. Èñõîäÿ èç ýòîãî ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî
ìåòîä ïðèìåíèì â ðàññìîòðåííîì äèàïàçîíå äîç,
êîãäà âëèÿíèå îáëó÷åíèÿ â îñíîâíîì ñâîäèòñÿ ê
ñäâèãó ïîðîãîâîãî íàïðÿæåíèÿ ∆VT ÌÎÏ-ñòðóê-
òóðû (ÌÎÏ-òðàíçèñòîðà), êîòîðîå è êîíòðîëè-
ðóåòñÿ ïðè èñïûòàíèÿõ.
Ñëåäóåò òàêæå îòìåòèòü, ÷òî êàëèáðîâêà ïðè
ÂÝ-îáëó÷åíèè ïðîâîäèòñÿ ñ ó÷åòîì âëèÿíèÿ êîð-
ïóñà (èëè ïîäëîæêè), êîòîðîå ñâîäèòñÿ ê óñèëå-
íèþ äîçû è ýêðàíèðîâêå èçëó÷åíèÿ, ðåçóëüòàòîì
÷åãî ÿâëÿåòñÿ íåêîòîðûé äîïîëíèòåëüíûé âêëàä
â ∆VT. Ïîýòîìó ïðè èçìåíåíèè êîðïóñà èçäåëèÿ
íåîáõîäèìî ïðîâîäèòü íîâóþ êàëèáðîâêó.
***
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàííûé ýêñïðåññíûé
ìåòîä ïîçâîëÿåò îïðåäåëÿòü ðàäèàöèîííóþ ñòîé-
êîñòü ÌÄÏ ÈÑ ñ ïîìîùüþ íèçêîýíåðãåòè÷åñêî-
ãî ðåíòãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ, à òàêæå ìîùíîñòü
ïîãëîùåííîé äîçû ïî èîíèçàöèîííîìó òîêó â
p—n-ïåðåõîäå ÌÎÏ-ñòðóêòóðû.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1.Ma T. P., Dressendorfer P. V. Ionizing radiation effects
in MOS devices and circuits.— New York: Wiley Interscience,
1989.
2.Oldham T. R. Ionizing radiation effects in MOS oxides in
«Advances in Solid State Electronics and Technology» (ASSET)
Series.— Singapore: World Scientific, 1999.
3.Hughes H. L., Benedetto J. M. Radiation effects and
hardening of MOS technology devices and circuits // IEEE
Trans. on Nuclear Science.— 2003.— Vol. 50, N 3.—
Ð. 500—521.
4.Oldham T. R., McLean F. B. Total ionizing dose effects
in MOS oxides and devices // IEEE Trans. on Nuclear Science.—
2003.— Vol. 50, N 3.— Ð. 483—499.
5.Hughes R. C. Charge-carried transport phenomena in
amorphous SiO2: direct measurements of the drift mobility and
lifetime // Phys. Rev. Lett.— 1973.— Vol. 30.— Ð. 1333—
1336.
6.Benedetto J. M., Boesch H. E. The relationship between
60Co and 10 keV X-ray damage in MOS devices // IEEE Trans.
on Nuclear Science.— 1986.— Vol. NS-33.— Ð. 1318—1323.
7.Dozier C. M., Brown D. B. Effect of photon energy on
the response of MOS devices // IEEE Trans. on Nuclear Science.
— 1981.— Vol. NS-28.— Ð. 4137—4141.
8.Dozier C. M., Brown D. B. The use of low energy X-
rays for device testing – a comparison with Co60 radiation //
IEEE Trans. on Nuclear Science.— 1983.— Vol. NS-30.—
Ð. 4382—4387.
9.Fleetwood D. M., Winokur P. S., Dozier C. M., Brown
D. B. Effect of bias on the response of metal-oxide-semiconductor
devices to low energy X-ray and Cobalt-60 irradiation // Appl.
Phys. Lett.— 1983. Vol. 52.— Ð. 1514—1516.
10. Paillet P., Schwank J. R., Shaneyfelt M. R. et al.
Comparison of charge yield in MOS devices for different radiation
sources // IEEE Trans. on Nuclear Science.— 2002.— Vol.
NS-49.— Ð. 2656—2661.
11. Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë. Äàò÷èêè èíòåãðàëüíîé ïîãëîùåí-
íîé äîçû èîíèçèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ íà îñíîâå ÌÎÏ-òðàíçè-
ñòîðîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àï-
ïàðàòóðå.— 2010.— ¹ 5—6.— C. 22—29. [Perevertailo V.
L. // Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature.
2010, N 5—6 P. 22]
12. Êîðøóíîâ Ô. Ï., Áîãàòûðåâ Þ. Â., Âàâèëîâ Â. À.
Âîçäåéñòâèå ðàäèàöèè íà èíòåãðàëüíûå ìèêðîñõåìû.— Ìèíñê:
Íàóêà è Òåõíèêà, 1986. [Korshunov F. P., Bogatyrev Yu. V.,
Vavilov V. A. Vozdeistvie radiatsii na integral’nye mikroskhemy.
Minsk: Nauka i Tekhnika. 1986]
Ñîîòâåòñòâèå ðåæèìîâ ÂÝ- è ÍÝ-îáëó÷åíèÿ
ÂÝ-îáëó÷åíèå ÍÝ-îáëó÷åíèå
Uç, Â
Äîçà îá-
ëó÷åíèÿ,
105 ðàä
∆VÒ, Â Âðåìÿ îá-
ëó÷åíèÿ,
ìèí
Uç, Â
+10 1 0,02 1,0 +10
+10 5 0,13 8,2 +10
+10 10 0,16 11,6 +10
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2012, ¹ 1
34
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
13. Hu G. J., Aitken J. M., Dennard R. H. A hardened
field insulator // IEEE Trans. on Nuclear Science.— 1981.—
Vol. NS-28, N 6.— Ð. 4102—4104.
14. Âîëîãäèí Ý. Í., Ëûñåíêî À. Ï. Ðàäèàöèîííûå ýô-
ôåêòû â íåêîòîðûõ êëàññàõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ.—
Ì.: ÌÈÝÌ, 2001. [Vologdin E. N., Lysenko A. P.
Radiatsionnye effekty v nekotorykh klassakh poluprovodnikovykh
priborov. Moscow. MIEM. 2001]
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ ðóêîïèñè
â ðåäàêöèþ 4.07 2011 ã.
___________________________
Perevertailo V. L. Determination of radiation
resistance of integrated circuits with the use of
low-energy X-radiation.
Keywords: radiation testing, low-energy X-rays, MOS
structure, radiation hardness of IC.
A method is proposed for determination of radiation
dose via the ionization current in the p—n-junction
and of radiation resistance of MIS integrated circuits
with the use of low-energy (10—40 keV) X-rays.
Ukraine, Kiev, Institute of Microdevices STC "IMC"
NASU.
___________________
Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë. Âèçíà÷åííÿ ðàä³àö³éíî¿ ñò³éêîñò³
²Ñ çà äîïîìîãîþ íèçüêîåíåðãåòè÷íîãî âèïðîì³íþ-
âàííÿ.
Êëþ÷îâ³ ñëîâà: ðàä³àö³éí³ âèïðîáóâàííÿ, íèçüêî-
åíåðãåòè÷íå ðåíòãåí³âñüêå âèïðîì³íþâàííÿ, ÌÎÍ-
ñòðóêòóðà, ðàä³àö³éíà ñò³éê³ñòü ²Ñ.
Çàïðîïîíîâàíî ìåòîä âèçíà÷åííÿ ïîòóæíîñò³ äîçè
âèïðîì³íåííÿ çà ³îí³çàö³éíèì ñòðóìîì â p—n-ïåðå-
õîä³ òà ðàä³àö³éíî¿ ñò³éêîñò³ ÌÄÍ ³íòåãðàëüíèõ ñõåì
çà äîïîìîãîþ íèçüêîåíåðãåòè÷íîãî (10—40 êåÂ)
ðåíòãåí³âñüêîãî âèïðîì³íþâàííÿ.
Óêðà¿íà, ì. Êè¿â, ÍIJ ì³êðîïðèëàä³â ÍÒÊ ²ÌÊ ÍÀÍÓ.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ãóáàðåâ Â.Ãóáàðåâ Â.Ãóáàðåâ Â.Ãóáàðåâ Â.Ãóáàðåâ Â. Â. Èíôîðìàòèêà: ïðîøëîå, íàñòîÿùåå, áóäóùååÂ. Èíôîðìàòèêà: ïðîøëîå, íàñòîÿùåå, áóäóùååÂ. Èíôîðìàòèêà: ïðîøëîå, íàñòîÿùåå, áóäóùååÂ. Èíôîðìàòèêà: ïðîøëîå, íàñòîÿùåå, áóäóùååÂ. Èíôîðìàòèêà: ïðîøëîå, íàñòîÿùåå, áóäóùåå.....— Ì— Ì— Ì— Ì— Ìîñêâàîñêâàîñêâàîñêâàîñêâà: Òåõ-: Òåõ-: Òåõ-: Òåõ-: Òåõ-
íîñôåðà, 2011.— íîñôåðà, 2011.— íîñôåðà, 2011.— íîñôåðà, 2011.— íîñôåðà, 2011.— 432432432432432 ñ. ñ. ñ. ñ. ñ.
 ïîñîáèè èçëàãàåòñÿ âçãëÿä àâòîðà íà òî, ÷òî òàêîå èíôîðìàòè-
êà, åå ñîñòàâ, îñíîâíûå ïîíÿòèÿ, êîíöåïöèÿ îïèñàíèÿ åå èñòîðèè
è ïîêîëåíèé ñðåäñòâ âû÷èñëèòåëüíîé òåõíèêè. Îñîáîå âíèìàíèå
óäåëÿåòñÿ õðîíîëîãèè ñîçäàíèÿ áàçîâûõ ñðåäñòâ è òåõíîëîãèé
èíôîðìàòèêè, ñâåäåíèÿì î ëèöàõ, âíåñøèõ âåñîìûé âêëàä â ðàç-
âèòèå ðàçíûõ ðàçäåëîâ èíôîðìàòèêè, à òàêæå áëèæàéøèì ïåðñ-
ïåêòèâàì èõ ðàçâèòèÿ. Ñîäåðæàòñÿ ìíîãî÷èñëåííûå ñïðàâî÷íûå,
â ÷àñòíîñòè ñòàòèñòè÷åñêèå, ñâåäåíèÿ è ïåðå÷åíü ìåæäèñöèïëè-
íàðíûõ ïðîáëåìíûõ âîïðîñîâ, êàñàþùèõñÿ ïîíÿòèÿ èíôîðìàöèè, èíôîðìàòèêè è
åå ðàçäåëîâ.  êíèãó âêëþ÷åíû ó÷åáíûå è ñïðàâî÷íûå ìàòåðèàëû, ïðåäíàçíà÷åí-
íûå äëÿ èçó÷åíèÿ â ðàìêàõ ó÷åáíîãî ïðîöåññà ïðè ïîäãîòîâêå áàêàëàâðîâ è ìàãè-
ñòðîâ ïî íàïðàâëåíèÿì «Èíôîðìàòèêà è âû÷èñëèòåëüíàÿ òåõíèêà», «Ïðèêëàäíàÿ
ìàòåìàòèêà è èíôîðìàòèêà», «Ïðîãðàììíàÿ èíæåíåðèÿ», «Ñèñòåìíûé àíàëèç è
óïðàâëåíèå», «Èíôîðìàöèîííûå ñèñòåìû è òåõíîëîãèè», «Ïðèêëàäíàÿ èíôîðìà-
òèêà» (ïî îòðàñëÿì), «Ìàòåìàòè÷åñêîå îáåñïå÷åíèå è àäìèíèñòðèðîâàíèå èíôîð-
ìàöèîííûõ ñèñòåì», «Óïðàâëåíèå â òåõíè÷åñêèõ ñèñòåìàõ», «Áèçíåñ-èíôîðìàòè-
êà», «Èíôîðìàöèîííàÿ áåçîïàñíîñòü» è ò. ï.
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ä. Ýðåíòðàóò, Ý. Ìåéññíåð, Ì. Áîêîâñêè. Òåõíîëîãèÿ âûðàùèâàíèÿ êðè-Ä. Ýðåíòðàóò, Ý. Ìåéññíåð, Ì. Áîêîâñêè. Òåõíîëîãèÿ âûðàùèâàíèÿ êðè-Ä. Ýðåíòðàóò, Ý. Ìåéññíåð, Ì. Áîêîâñêè. Òåõíîëîãèÿ âûðàùèâàíèÿ êðè-Ä. Ýðåíòðàóò, Ý. Ìåéññíåð, Ì. Áîêîâñêè. Òåõíîëîãèÿ âûðàùèâàíèÿ êðè-Ä. Ýðåíòðàóò, Ý. Ìåéññíåð, Ì. Áîêîâñêè. Òåõíîëîãèÿ âûðàùèâàíèÿ êðè-
ñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà, 2011.— 384 ñ.ñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà, 2011.— 384 ñ.ñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà, 2011.— 384 ñ.ñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà, 2011.— 384 ñ.ñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà, 2011.— 384 ñ.
Êíèãà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïåðâûé ïîäðîáíûé îáçîð ïåðåäîâîé òåõ-
íîëîãèè âûðàùèâàíèÿ êðèñòàëëîâ íèòðèäà ãàëëèÿ. Ïðîâåäåí àíà-
ëèç âîçìîæíîñòåé äîëãîñðî÷íîãî è êðàòêîñðî÷íîãî ïðèìåíåíèÿ
îáúåìíûõ ïîäëîæåê íà îñíîâå GaN, à òàêæå ìîòèâàöèÿ è çàäà÷è
ïî âíåäðåíèþ ñîîòâåòñòâóþùåé òåõíîëîãèè â êîíêðåòíûå ïðèáîðû.
Êíèãà íàïèñàíà êîìàíäîé èç 45 ñïåöèàëèñòîâ, ïðèçíàííûõ ëèäå-
ðîâ íàóêè è ïðîìûøëåííîñòè, è ïîäãîòîâëåíà îïûòíûìè ðåäàêòî-
ðàìè. Èçäàíèå îêàæåòñÿ íåçàìåíèìûì ðåñóðñîì äëÿ èíæåíåðîâ,
èññëåäîâàòåëåé è ñòóäåíòîâ, ðàáîòàþùèõ â îáëàñòè âûðàùèâàíèÿ êðèñòàëëîâ
GaN è çàíèìàþùèõñÿ îáðàáîòêîé è èçãîòîâëåíèåì ïðèáîðîâ íà èõ îñíîâå êàê â
ñóãóáî íàó÷íûõ, òàê è ïðîìûøëåííûõ öåëÿõ.
|