Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния - Дружинин, А.А.; Кутраков, А.П.; Марьямова, И.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.