Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники - Одиноков, В.В.; Павлов, Г.Я. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса.