Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях...
Saved in:
| Date: | 2011 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. |