APA (7th ed.) Citation

Дудин, С., Рафальский, Д., & Зыков, А. (2010). Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Дудин, С.В, Д.В Рафальский, and А.В Зыков. Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2010.

MLA (8th ed.) Citation

Дудин, С.В, et al. Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2010.