Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов....
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51911 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51911 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-519112013-12-16T03:11:16Z Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. Технологические процессы и оборудование Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов. 2010 Article Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51911 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов. |
| format |
Article |
| author |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| author_facet |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| author_sort |
Дудин, С.В. |
| title |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_short |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_full |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_fullStr |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_full_unstemmed |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_sort |
широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51911 |
| citation_txt |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT dudinsv širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej AT rafalʹskijdv širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej AT zykovav širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej |
| first_indexed |
2025-07-04T14:08:45Z |
| last_indexed |
2025-07-04T14:08:45Z |
| _version_ |
1836725699503718400 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
52
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
21.12 2009 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. À. À. ÄÐÓÆÈÍÈÍ
(ÍÓ «Ëüâîâñêàÿ ïîëèòåõíèêà», ã. Ëüâîâ)
Ê. ô.-ì. í. Ñ. Â. ÄÓÄÈÍ, Ä. Â. ÐÀÔÀËÜÑÊÈÉ,
ê. ô.-ì. í. À. Â. ÇÛÊÎÂ
Óêðàèíà, Õàðüêîâñêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò èì. Â. Í. Êàðàçèíà
E-mail: stanislav_dudin@rambler.ru
ØÈÐÎÊÎÀÏÅÐÒÓÐÍÛÉ ÂÛÑÎÊÎ×ÀÑÒÎÒÍÛÉ ÈÑÒÎ×ÍÈÊ
ÈÎÍÎÂ ÍÈÇÊÎÉ ÝÍÅÐÃÈÈ Ñ ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÊÎÌÏÅÍÑÀÖÈÅÉ
Ðàçðàáîòàííûé èñòî÷íèê èîíîâ ïîçâî-
ëÿåò óïðàâëÿòü ýíåðãèåé è ïëîòíîñòüþ
òîêà ïó÷êà. Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû
ìîæíî èñïîëüçîâàòü â òåõíîëîãèÿõ ïðî-
èçâîäñòâà ïðîèçâîäñòâà îïòî- è ìèêðî-
ýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ øèðîêîàïïåðòóðíûå èñòî÷íè-
êè èîíîâ (ÈÈ) íèçêîé ýíåðãèè øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ
â ðàçëè÷íûõ òåõíîëîãèÿõ, â ÷àñòíîñòè äëÿ òðàâëåíèÿ
ìèêðî- è íàíîñòðóêòóð ïðè ïðîèçâîäñòâå îïòîýëåêò-
ðîííûõ óñòðîéñòâ, ìàãíèòíûõ ãîëîâîê, èíòåãðàëüíûõ
ìèêðîñõåì è â äðóãèõ ìèêðî- è íàíîòåõíîëîãèÿõ [1,
2].  ïîñëåäíèå ãîäû âûñîêî÷àñòîòíûå èñòî÷íèêè
èîíîâ áûñòðî âûòåñíèëè èñòî÷íèêè ñ íàêàëåííûì
êàòîäîì (èñòî÷íèêè Êàóôìàíà) è èñòî÷íèêè ñ ïîëûì
êàòîäîì, ïîñêîëüêó îíè ïðàêòè÷åñêè íå òðåáóþò îá-
ñëóæèâàíèÿ è çíà÷èòåëüíî ëó÷øå ñîâìåñòèìû ñ õè-
ìè÷åñêè àêòèâíûìè ãàçàìè [3, 4]. Íà ñåãîäíÿøíèé
äåíü äëÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèìåíåíèé ðàçðàáîòàíû
è ñåðèéíî âûïóñêàþòñÿ Â× ÈÈ ñ äèàìåòðîì ïó÷êà äî
500 ìì [3�5], êîòîðûå, êàê ïðàâèëî, ðàáîòàþò â äè-
àïàçîíå ýíåðãèé 50�1000 ýÂ. Â îòäåëüíûé êëàññ
ìîæíî âûäåëèòü Â× ÈÈ äëÿ íàêà÷êè ýíåðãèè â òåðìî-
ÿäåðíûå óñòàíîâêè, êîòîðûå õàðàêòåðèçóþòñÿ ãîðàç-
äî áîëüøèì ýíåðãîâêëàäîì â ïó÷îê (äîñòèãíóòû çíà-
÷åíèÿ òîêà ïó÷êà äî 90 À ïðè çíà÷åíèÿõ ýíåðãèè èîíîâ
äåñÿòêè êèëîýëåêòðîíâîëüò).
Âî âñåõ ïåðå÷èñëåííûõ ÈÈ â êà÷åñòâå ïëàçìîîá-
ðàçóþùåé ñòóïåíè ïðèìåíÿåòñÿ Â×-ðàçðÿä èíäóêöè-
îííîãî òèïà, à äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ ïó÷êà èñïîëüçóåò-
ñÿ ìíîãîñåòî÷íàÿ (êàê ïðàâèëî, òðåõñåòî÷íàÿ) èîí-
íî-îïòè÷åñêàÿ ñèñòåìà (ÈÎÑ). Òàêàÿ ñèñòåìà ñîñòî-
èò èç òîíêèõ ïåðôîðèðîâàííûõ ýëåêòðîäîâ (ñåòîê),
ðàñïîëîæåííûõ íà ðàññòîÿíèè íåñêîëüêèõ ìèëëèìåò-
ðîâ äðóã îò äðóãà, ê êîòîðûì ïðèëîæåíû çíà÷èòåëü-
íûå, äî äåñÿòêîâ êèëîâîëüò, ïîòåíöèàëû. Ïîñêîëüêó
ÈÎÑ èìåþò äîñòàòî÷íî áîëüøèå ïîïåðå÷íûå ðàçìå-
ðû è ïîäâåðãàþòñÿ ñóùåñòâåííûì òåðìè÷åñêèì íà-
ãðóçêàì, èçãîòîâëåíèå, þñòèðîâêà è ïîääåðæàíèå ãåî-
ìåòðèè ñåòîê â ïðîöåññå ðàáîòû � âåñüìà ñëîæíûå
çàäà÷è, à ñàìà èîííî-îïòè÷åñêàÿ ñèñòåìà ÿâëÿåòñÿ îä-
íèì èç íàèáîëåå äîðîãîñòîÿùèõ óçëîâ ÈÈ. Ê òîìó
æå, ïðèìåíåíèå òðåõñåòî÷íîé ÈÎÑ òðåáóåò ïðèìåíå-
íèÿ äîïîëíèòåëüíîãî âûñîêîâîëüòíîãî èñòî÷íèêà ïè-
òàíèÿ (äàæå ïðè íèçêîé ýíåðãèè èîíîâ) ñ íåîáõîäè-
ìîñòüþ òùàòåëüíîé ïîäñòðîéêè íàïðÿæåíèÿ, à òàêæå
ïîÿâëÿþòñÿ òàêèå ñïåöèôè÷åñêèå ïðîáëåìû êàê çà-
ïûëåíèå èçîëÿòîðîâ è ìåæñåòî÷íûå ïðîáîè.
Îò ýòèõ íåäîñòàòêîâ ñâîáîäíû îäíîñåòî÷íûå ÈÈ,
â êîòîðûõ óñêîðåíèå èîíîâ ïðîèñõîäèò â ñëîå îáúåì-
íîãî çàðÿäà ìåæäó ïëàçìîé è èçâëåêàþùåé ñåòêîé.
Ïðèìåíåíèå òàêèõ èñòî÷íèêîâ öåëåñîîáðàçíî â òåõ-
íîëîãèÿõ èîííî-õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ ñ íåâûñîêîé
ýíåðãèåé èîíîâ (äî 300 ýÂ). Âîçìîæíà ðàáîòà ñ áî-
ëåå âûñîêèìè çíà÷åíèÿìè ýíåðãèè (500 ý è âûøå),
îäíàêî ïðè ýòîì ïðîèñõîäèò èíòåíñèâíîå ðàñïûëå-
íèå ñåòêè, ÷òî ñíèæàåò åå ðåñóðñ è ïðèâîäèò ê çà-
ãðÿçíåíèþ ïó÷êà ìåòàëëè÷åñêèìè èîíàìè. Îäíîñåòî÷-
íûé ÈÈ, îïèñàíûé â [6], îñíîâàí íà ðàçðÿäå ñ íàêà-
ëåííûì êàòîäîì, ÷òî îãðàíè÷èâàåò ðåñóðñ ïðè ðàáî-
òå ñ õèìè÷åñêè àêòèâíûìè ãàçàìè. Êðîìå òîãî, äëÿ
èîííî-ëó÷åâîé îáðàáîêè ïîâåðõíîñòåé ïðè ïîìîùè
òàêîãî ÈÈ íåîáõîäèìà íåéòðàëèçàöèÿ êàê îáúåìíîãî
çàðÿäà ïó÷êà, òàê è òîêà èîíîâ, îñîáåííî â ñëó÷àå
îáðàáîòêè äèýëåêòðèêîâ. Îáû÷íî äëÿ ýòîé öåëè èñ-
ïîëüçóåòñÿ èíæåêöèÿ ýëåêòðîíîâ â ïðîñòðàíñòâî
òðàíñïîðòèðîâêè èîííîãî ïó÷êà ïðè ïîìîùè íåéòðà-
ëèçàòîðà, êîòîðûé ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îòäåëüíîå
óñòðîéñòâî, îñíîâàííîå ëèáî íà ýôôåêòå òåðìîýëåêò-
ðîííîé ýìèññèè, ëèáî íà ãàçîâîì ðàçðÿäå. Íåéòðà-
ëèçàòîð òðåáóåò èñïîëüçîâàíèÿ äîïîëíèòåëüíûõ èñ-
òî÷íèêîâ ïèòàíèÿ è çà÷àñòóþ èìååò îãðàíè÷åííûé ñðîê
ýêñïëóàòàöèè.
 òî æå âðåìÿ èçâåñòåí âûñîêî÷àñòîòíûé èñòî÷-
íèê èîíîâ [7], îáëàäàþùèé óíèêàëüíîé ñïîñîáíî-
ñòüþ îäíîâðåìåííî ãåíåðèðîâàòü ïîòîêè ïîëîæèòåëü-
íûõ èîíîâ è ýëåêòðîíîâ [8]. Ïðèìåíåíèå äëÿ ïèòàíèÿ
ÈÎÑ âûñîêî÷àñòîòíîãî íàïðÿæåíèÿ ïîçâîëÿåò íå òîëü-
êî èçáàâèòüñÿ îò íåîáõîäèìîñòè ïðèìåíåíèÿ äîïîë-
íèòåëüíîãî íåéòðàëèçàòîðà, íî è ïîâûñèòü ýôôåêòèâ-
íîñòü èçâëå÷åíèÿ èîíîâ, à òàêæå èçáåæàòü îáðàçîâà-
íèÿ ìèêðîäóã íà ñåòêå, îïàñíîñòü âîçíèêíîâåíèÿ êî-
òîðûõ âñåãäà ïðèñóòñòâóåò ïðè èñïîëüçîâàíèè äëÿ
óñêîðåíèÿ èîíîâ ïîñòîÿííîãî íàïðÿæåíèÿ âûøå 100 Â.
Ïëàçìîîáðàçóþùàÿ ñòóïåíü èñòî÷íèêà îñíîâàíà íà
Â×-ðàçðÿäå èíäóêöèîííîãî òèïà, ïðè÷åì, ïîñêîëüêó
èíäóêöèîííûé ðàçðÿä âçàèìîäåéñòâóåò ñ âûñîêî÷à-
ñòîòíûì íàïðÿæåíèåì, ïðèêëàäûâàåìûì ê ÈÎÑ äëÿ
óñêîðåíèÿ èîíîâ, ìîæíî ãîâîðèòü î ñàìîñòîÿòåëü-
íîì òèïå ãàçîâîãî ðàçðÿäà � êîìáèíèðîâàííîì èí-
äóêöèîííî-åìêîñòíîì Â×-ðàçðÿäå [9].
Äàííàÿ ðàáîòà áûëà âûïîëíåíà ïðè ïîääåðæêå Ìèíèñòåðñòâà ïðî-
ìûøëåííîé ïîëèòèêè Óêðàèíû (ÍÈÎÊÐ ¹ ã.ð. 0107U010814)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
53
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Ñèñòåìàòè÷åñêèå èññëåäîâàíèÿ êîìáèíèðîâàííî-
ãî èíäóêöèîííî-åìêîñòíîãî Â×-ðàçðÿäà è ôîðìèðî-
âàíèÿ èíòåíñèâíûõ íèçêîýíåðãåòè÷íûõ ïîòîêîâ èîíîâ
íà ïðîòÿæåíèè ìíîãèõ ëåò ïðîâîäÿòñÿ â Õàðüêîâ-
ñêîì íàöèîíàëüíîì óíèâåðñèòåòå [10�16]. Ðåçóëüòà-
òîì ýòèõ èññëåäîâàíèé ÿâèëàñü ðàçðàáîòêà öåëîãî
ðÿäà âûñîêî÷àñòîòíûõ èñòî÷íèêîâ èîíîâ ñ äèàìåò-
ðîì ïó÷êà îò 20 äî 250 ìì [12�16].  äàííîé ñòàòüå
îïèñàí îäèí èç íèõ, à èìåííî � âûñîêî÷àñòîòíûé
îäíîñåòî÷íûé èñòî÷íèê èîíîâ íèçêîé ýíåðãèè ñ äèà-
ìåòðîì ïó÷êà 250 ìì.
Ýêïåðèìåíòàëüíàÿ óñòàíîâêà
Óñòðîéñòâî èñòî÷íèêà èîíîâ èëëþñòðèðóåò ðèñ. 1.
 îñíîâíîì îáúåìå èñòî÷íèêà, öèëèíäðè÷åñêîé ãà-
çîðàçðÿäíîé êàìåðå ñ âíóòðåííèì äèàìåòðîì 250 ìì
è äëèíîé 80 ìì, ðàñïîëîæåí äâóõâèòêîâûé ýêðàíè-
ðîâàííûé èíäóêòîð, îáåñïå÷èâàþùèé ãåíåðàöèþ ïëàç-
ìû. Ê èíäóêòîðó ïîäâåäåíà Â×-ìîùíîñòü (13,56 ÌÃö)
â äèàïàçîíå äî 1000 Âò ÷åðåç ñîãëàñóþùåå óñòðîé-
ñòâî. Íà âûõîäå èñòî÷íèêà ðàñïîëîæåíà çàçåìëåí-
íàÿ ìåòàëëè÷åñêàÿ ñåòêà òîëùèíîé 0,12 ìì ñ îòâåð-
ñòèÿìè äèàìåòðîì 0,24 ìì. Ðàáî÷àÿ ïëîùàäü ñåòêè
� 490 ñì2, åå îïòè÷åñêàÿ ïðîçðà÷íîñòü � 0,4. Ïðè
âûïîëíåíèè ýêñïåðèìåíòîâ ïëîòíîñòü òîêà èîíîâ â
ðàçðÿäå îïðåäåëÿëàñü ñ ïîìîùüþ ïëîñêîãî çîíäà,
ðàñïîëîæåííîãî íà ñåòêå, íà êîòîðûé ïîäàâàëîñü ñìå-
ùåíèå �25 Â. Ïîñòîÿííîå ëèáî Â×-íàïðÿæåíèå (0�
100 Â) ïðèêëàäûâàåòñÿ ìåæäó çàçåìëåííîé ñåòêîé è
ýëåêòðîäîì, îãðàíè÷èâàþùèì ðàçðÿäíóþ êàìåðó. Â×-
ñìåùåíèå ïîäêëþ÷åíî ÷åðåç ðàçäåëèòåëüíûé êîíäåí-
ñàòîð, áëàãîäàðÿ ÷åìó íà ýëåêòðîäå, ïëîùàäü êîòî-
ðîãî çíà÷èòåëüíî áîëüøå ïëîùàäè ñåòêè, âîçíèêàåò
ïîëîæèòåëüíîå íàïðÿæåíèå àâòîñìåùåíèÿ. Â îáîèõ
ñëó÷àÿõ èçìåðÿåìîé âåëè÷èíîé ÿâëÿåòñÿ ïîñòîÿííûé
ïîòåíöèàë ýëåêòðîäà, êîòîðûé áóäåò èñïîëüçîâàòüñÿ
äàëåå êàê ãëàâíûé ïàðàìåòð, îïðåäåëÿþùèé ýíåðãèþ
èîíîâ è ýìèññèîííûå õàðàêòåðèñòèêè èñòî÷íèêà.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå âñå ïîòåíöèàëû áûëè èçìåðå-
íû îòíîñèòåëüíî çàçåìëåííîé êàìåðû òðàíñïîðòèðîâ-
êè ïó÷êà. Ìèøåíü äèàìåòðîì 300 ìì, ïðèíèìàþùàÿ
ïó÷îê èîíîâ, ðàñïîëàãàëàñü íà ðàññòîÿíèè 100 ìì îò
âûõîäà èñòî÷íèêà èîíîâ è áûëà îñíàùåíà îäíîñå-
òî÷íûì ýíåðãîàíàëèçàòîðîì (ÝÀ) ñ òîðìîçÿùèì ïî-
ëåì. Äèàìåòð îòâåðñòèé ñåòêè ÝÀ ñîñòàâëÿë 0,1ìì,
òîëùèíà ñåòêè � 0,12 ìì, åå ïðîçðà÷íîñòü � 0,2. Â
êà÷åñòâå ðàáî÷åãî ãàçà èñïîëüçîâàëñÿ àðãîí, åãî äàâ-
ëåíèå ñîñòàâëÿëî 7,5·10�4 Òîðð. Äëÿ îòêà÷êè ñèñòå-
ìû èñïîëüçîâàëñÿ òóðáîìîëåêóëÿðíûé íàñîñ 01ÀÁ-
1500 ñî ñêîðîñòüþ îòêà÷êè 700 ë/ñ è ôîðâàêóóìíûé
íàñîñ ÍÂÐ-16Ä. Â×-ìîùíîñòü, ïîäâîäèìàÿ ê èíäóê-
òîðó, ñîñòàâëÿëà 200 Âò.
Ïîëíîñòüþ ìåòàëëè÷åñêàÿ êîíñòðóêöèÿ ñ âîäÿíûì
îõëàæäåíèåì âñåõ îñíîâíûõ ýëåìåíòîâ ïîçâîëÿåò
ðàáîòàòü ñ äîñòàòî÷íî áîëüøèì ýíåðãîâêëàäîì â èñ-
òî÷íèê.  ðàáîòå áûëà ýêñïåðèìåíòàëüíî ïðîâåðåíà
âîçìîæíîñòü äëèòåëüíîé íåïðåðûâíîé ðàáîòû èñòî÷-
íèêà ñ ïîäâîäèìîé Â×-ìîùíîñòüþ äî 2 êÂò, îäíàêî
òåïëîâîé ðåæèì èñòî÷íèêà â ýòèõ ýêñïåðèìåíòàõ ïî-
çâîëÿåò ïðîãíîçèðîâàòü áåçîòêàçíóþ íåïðåðûâíóþ
ðàáîòó ÈÈ è ïðè áîëüøåì ýíåðãîâêëàäå ñ ñîîòâåò-
ñòâóþùèì óâåëè÷åíèåì òîêà ïó÷êà.
Ýêñïåðèìåíòàëüíûå ðåçóëüòàòû
Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè èñòî÷íèêà ïîêàçàíû íà
ðèñ. 2. Êàê âèäíî èç ðèñ. 2, à, ìàêñèìàëüíàÿ ïëîò-
íîñòü òîêà èîíîâ íà âõîäå ÈÎÑ, ò. å. íàèáîëüøàÿ ýôôåê-
òèâíîñòü èîíèçàöèè â Â× èíäóêöèîííîì ðàçðÿäå, äîñ-
òèãàåòñÿ ïðè äàâëåíèè (2�3)·10�3 Òîðð. Ñ òî÷êè æå
çðåíèÿ òðàíñïîðòèðîâêè ïó÷êà ê ìèøåíè òàêîå äàâ-
ëåíèå ÿâëÿåòñÿ ñëèøêîì âûñîêèì, ïîñêîëüêó äëèíà
ñâîáîäíîãî ïðîáåãà èîíîâ ñòàíîâèòñÿ ìåíüøå ðàñ-
ñòîÿíèÿ îò ÈÎÑ äî ìèøåíè. Ñ ðîñòîì äàâëåíèÿ ïàäà-
åò íå òîëüêî òîê ìèøåíè, íî è, êàê ïîêàçàë ýíåðãî-
àíàëèç, çíà÷èòåëüíî ñíèæàåòñÿ äîëÿ áûñòðûõ èîíîâ.
Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ïðè äàâëåíèè ãàçà íèæå 5·10�4 Òîðð
èíäóêöèîííûé ðàçðÿä ñòàíîâèòñÿ òðóäíîèíèöèèðóå-
ìûì, à ïðè åùå áîëåå íèçêîì äàâëåíèè îí ãàñíåò.
Òàêèì îáðàçîì, ïðåäïî÷òèòåëüíûì ÿâëÿåòñÿ äèàïà-
çîí ðàáî÷åãî äàâëåíèÿ (5�9)·10�4 Òîðð.
Ïëîòíîñòü èîííîãî òîêà èç ïëàçìû âñåãäà ïðàêòè-
÷åñêè ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíà Â×-ìîùíîñòè, òîãäà
êàê çàâèñèìîñòü òîêà ìèøåíè îò ìîùíîñòè ìîæåò
áûòü è íåëèíåéíîé. Äåëî â òîì, ÷òî ïðîçðà÷íîñòü ñåòêè
äëÿ èîíîâ ðàñòåò ñ ðîñòîì ýíåðãèè èîíîâ è ïàäàåò
ïðè óâåëè÷åíèè ïëîòíîñòè òîêà. Íàìè áûëè ïðîâåäå-
íû èññëåäîâàíèÿ èîííûõ è ýëåêòðîííûõ ýìèññèîí-
íûõ õàðàêòåðèñòèê áîëüøîãî êîëè÷åñòâà ñåòîê ñ ðàç-
ëè÷íûìè ðàçìåðàìè è ãåîìåòðèåé ÿ÷ååê, êîòîðûå
áûëè èçãîòîâëåíû ïî ðàçëè÷íûì òåõíîëîãèÿì (ëà-
çåðíàÿ ðåçêà, ýëåêòðîýððîçèÿ, òêàíûå ñåòêè). Ðåçóëü-
òàòû ýòèõ èññëåäîâàíèé ÿâëÿþòñÿ ïðåäìåòîì îòäåëü-
íîé ïóáëèêàöèè, çäåñü æå îòìåòèì, ÷òî îïèñàííàÿ â
Ââîä ãàçàÂâîä îõëàæäåíèÿ Èíäóêòîð
Ýêðàí
Ïëàçìà
Ñåòêà
Ðèñ. 1. Ïðèíöèïèàëüíàÿ ñõåìà âûñîêî÷àñòîòíîãî ÈÈ ñ
îäíîñåòî÷íîé ÈÎÑ è åãî ôîòî
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
54
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
íàñòîÿùåé ðàáîòå ñåòêà ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü òîêè ïó÷-
êà äî 1 À äàæå ïðè íåâûñîêèõ (äî 100 Â) óñêîðÿþ-
ùèõ íàïðÿæåíèÿõ (ñì. ðèñ. 2, á).
Êàê óæå áûëî îòìå÷åíî, îäíîñåòî÷íûé èñòî÷íèê
èîíîâ ñ Â×-ïèòàíèåì ÈÎÑ ñïîñîáåí îäíîâðåìåííî
ýìèòòèðîâàòü ïîòîêè êàê èîíîâ, òàê è ýëåêòðîíîâ, ÷òî
ïîçâîëÿåò èñêëþ÷èòü èç ñèñòåìû íåéòðàëèçàòîð äàæå
ïðè îáðàáîòêå äèýëåêòðè÷åñêèõ ìèøåíåé. Äëÿ ïîëó-
÷åíèÿ êîëè÷åñòâåííîé èíôîðìàöèè îá èçâëåêàåìûõ
òîêàõ èîíîâ è ýëåêòðîíîâ áûëè èçìåðåíû ÂÀÕ ìè-
øåíè (ðèñ. 3). Èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî â ñëó÷àå èñ-
ïîëüçîâàíèÿ ïîñòîÿííîãî óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ
(êðèâàÿ 1) ìèøåíü ïðè ëþáûõ ïîòåíöèàëàõ ñîáèðàåò
òîëüêî èîíû, â òî âðåìÿ êàê ïðè èñïîëüçîâàíèè Â×-
ïèòàíèÿ ÈÎÑ òîê ìèøåíè èìååò îáå ïîëÿðíîñòè (êðè-
âàÿ 2), ÷òî îçíà÷àåò ïðèñóòñòâèå êàê èîíîâ, òàê è ýëåê-
òðîíîâ.  ñëó÷àå Â×-ñìåùåíèÿ èîííàÿ âåòâü ÂÀÕ èìå-
åò õîðîøåå íàñûùåíèå, à ïëàâàþùèé ïîòåíöèàë ìè-
øåíè áëèçîê ê íóëþ, â òî âðåìÿ êàê ïðè ïîñòîÿííîì
ñìåùåíèè ïëàâàþùèé ïîòåíöèàë ìèøåíè áëèçîê ê
óñêîðÿþùåìó íàïðÿæåíèþ. Åñëè ïîòåíöèàë ìèøåíè
ñòàíîâèòñÿ áîëüøå ïëàâàþùåãî, òîê ìèøåíè ìåíÿåò
çíàê, ÷òî îçíà÷àåò ñîáèðàíèå ýëåêòðîíîâ. Ïðè äîñòà-
òî÷íî âûñîêèõ ïîòåíöèàëàõ ìèøåíè (â ñëó÷àå Â×-
ñìåùåíèÿ ýëåêòðîäà) âñå ýëåêòðîíû, ýìèòèðîâàííûå
èñòî÷íèêîì, äîñòèãàþò ìèøåíè, è åå òîê ñòðåìèòüñÿ
ê íàñûùåíèþ.
Âîçìîæíîñòü îäíîâðåìåííîãî èçâëå÷åíèÿ ïîëî-
æèòåëüíûõ èîíîâ è ýëåêòðîíîâ èç ïëàçìû ñ èñïîëü-
çîâàíèåì îäíîñåòî÷íîé ñèñòåìû èëëþñòðèðóþò ðå-
çóëüòàòû èçìåðåíèÿ ôóíêöèè ðàñïðåäåëåíèÿ ïî ýíåð-
ãèè (ÔÐÝ) èîíîâ è ýëåêòðîíîâ. Íà ðèñ. 4 ïîêàçàíû
èçìåðåííûå ýíåðãåòè÷åñêèå ñïåêòðû äëÿ ñëó÷àåâ ïî-
ñòîÿííîãî è Â×-íàïðÿæåíèÿ ïèòàíèÿ ÈÎÑ (êðèâûå 1
è 2 ñîîòâåòñòâåííî).  îáîèõ ñëó÷àÿõ óñêîðÿþùèé
ïîòåíöèàë ýëåêòðîäà áûë ðàâåí 120 Â. ÔÐÝ áûëè ïî-
ëó÷åíû ïóòåì äèôôåðåíöèðîâàíèÿ âîëüò-àìïåðíûõ
õàðàêòåðèñòèê êîëëåêòîðà ïðè ïîòåíöèàëå ñåòêè ÝÀ,
ðàâíîì 0 Â, ïðè÷åì â ðåçóëüòàòå èîííûé ñïåêòð ðàñ-
ïîëàãàåòñÿ ïðàâåå íóëÿ ïîòåíöèàëà, à ýëåêòðîííûé �
ëåâåå. Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî ïîñêîëüêó èñïîëü-
çóåìûé ÝÀ íå îñíàùåí äîïîëíèòåëüíîé ñåòêîé äëÿ
ïîäàâëåíèÿ èîí-ýëåêòðîííîé ýìèññèè ñ êîëëåêòîðà
ÝÀ, íà ïîëó÷åííûõ ÔÐÝ ïðèñóòñòâóåò åùå îäèí ïèê,
ñîîòâåòñòâóþùèé ýëåêòðîíàì, ýìèòèðîâàííûì ñ ïî-
âåðõíîñòè êîëëåêòîðà. Ïîëîæåíèå ýòîãî ïèêà îïðå-
äåëÿåòñÿ ïîòåíöèàëîì ñåòêè ÝÀ, ïîýòîìó ïðè ïîòåí-
öèàëå ñåòêè, ðàâíîì 0 Â, îí áëèçîê ê ãëàâíîìó ýëåê-
òðîííîìó ïèêó è òðóäíîîòëè÷èì îò íåãî. Íàøè èçìå-
ðåíèÿ ñ ðàçíûìè ïîòåíöèàëàìè ñåòêè ÝÀ ïîçâîëèëè
ðàçäåëèòü ýòè ïèêè è îïðåäåëèòü âåëè÷èíó òîêà âòî-
ðè÷íûõ ýëåêòðîíîâ, êîòîðûé íèêîãäà íå ïðåâûøàë
10% îò èîííîãî òîêà êîëëåêòîðà, ïîýòîìó ïðèñóòñòâèå
òîêà èîí-ýëåêòðîííîé ýìèññèè íå ïîâëèÿëî íà ïîëó-
÷åííûå ðåçóëüòàòû.
à) Itgt, À
0,2
0,1
0
10�4 10�3 pg, Òîðð
á) Itgt, À
0,8
0,4
0
0 200 400 600 800 ÐRF, Âò
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü èîííîãî òîêà ìèøåíè Itgt (ïîòåíöè-
àë ìèøåíè �25 Â) è ïëîòíîñòè òîêà èîíîâ ji â èíäóêöèîí-
íîì ðàçðÿäå äëÿ ñëó÷àÿ Â×-ñìåùåíèÿ íà ýëåêòðîä ( ) è
áåç ñìåùåíèÿ ( ) îò äàâëåíèÿ (à) è îò Â×-ìîùíîñòè ÐRF,
ââîäèìîé â èíäóêöèîííûé ðàçðÿä (á). Óñêîðÿþùåå
íàïðÿæåíèå 50 Â
ji,
ìÀ/ñì2
4
2
0
ji,
ìÀ/ñì2
4
2
0
Itgt, À
0,6
0,4
0,2
0
�0,2
�50 �25 0 25 50 75 ϕtgt, Â
2
1
Ðèñ. 3. ÂÀÕ ìèøåíè äëÿ ñëó÷àÿ ïîñòîÿííîãî ïîòåíöèà-
ëà íà ýëåêòðîäå (1) è Â×-ñìåùåíèÿ íà ýëåêòðîäå (2)
ÔÐÝ
0,8
0,4
0
ÔÐÝ
0,8
0,4
0
à) á)
2 1
�40 �30 �20 �10 0 50 100 150 200
Åå, ýÂ Åi, ýÂ
Ðèñ. 4. Ôóíêöèè ðàñïðåäåëåíèÿ ïî ýíåðãèè (ÔÐÝ) ýëåêòðî-
íîâ Åå (à) è ýíåðãèè èîíîâ Åi (á):
1 � ïðè ïîñòîÿííîì íàïðÿæåíèè íà ýëåêòðîäå; 2 � ïðè Â×-
íàïðÿæåíèè íà ýëåêòðîäå
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
55
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Ïðè Â×-ïèòàíèè ÈÎÑ íà ÔÐÝ ïðèñóòñòâóåò êîì-
áèíèðîâàííûé èîííî-ýëåêòðîííûé ñïåêòð ñ îñòðûì
ïèêîì ýëåêòðîíîâ îêîëî íóëÿ è øèðîêèì ïèêîì ïó÷-
êà èîíîâ âáëèçè ýíåðãèè, ïðèáëèçèòåëüíî ñîîòâåò-
ñòâóþùåé óñêîðÿþùåìó ïîòåíöèàëó, ÷òî õàðàêòåðíî
äëÿ óñêîðåíèÿ èîíîâ â Â×-ñëîå, êîãäà âðåìÿ ïðîëåòà
ñëîÿ èîíîì ñðàâíèìî ñ ïåðèîäîì Â×-ïîëÿ [17]. Â
ñëó÷àå ïîñòîÿííîãî ñìåùåíèÿ íàáëþäàåòñÿ îñòðûé
èîííûé ïèê ïó÷êà. Êðîìå òîãî, â èîííîé ÷àñòè ïîëó-
÷åííûõ ñïåêòðîâ ïðèñóòñòâóåò åùå îäèí ïèê � âáëè-
çè 10  äëÿ Â×-íàïðÿæåíèÿ íà ýëåêòðîäå è âáëèçè
50 Â ïðè ïîñòîÿííîì íàïðÿæåíèè íà ýëåêòðîäå. Ýòè
ïèêè ñîîòâåòñòâóþò ìåäëåííûì èîíàì èîííî-ïó÷êî-
âîé ïëàçìû, âîçíèêàþùåé â ïðîñòðàíñòâå òðàíñïîð-
òèðîâêè ïó÷êà; èõ ïîëîæåíèå îïðåäåëÿåòñÿ ïîòåíöè-
àëîì èîííî-ïó÷êîâîé ïëàçìû [18].
Ñóùåñòâîâàíèå áîëüøîãî ýëåêòðîííîãî òîêà â
ñëó÷àå Â×-ñìåùåíèÿ ýëåêòðîäà ìîæåò áûòü îáúÿñíå-
íî ñëåäóþùèì îáðàçîì. Èçâåñòíî, ÷òî ïîòåíöèàë
ïëàçìû, êîíòàêòèðóþùåé ñ Â×-ýëåêòðîäîì, îñöèë-
ëèðóåò, ïåðèîäè÷åñêè ïðèáëèæàÿñü ê íóëþ.  ýòè ìî-
ìåíòû ýëåêòðîíû èç ïëàçìû ìîãóò ñâîáîäíî ïðîõî-
äèòü ÷åðåç îòâåðñòèÿ ñåòêè.
Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî ñîîòíîøåíèåì ìåæäó
òîêàìè èîíîâ è ýëåêòðîíîâ íà ìèøåíü ìîæíî óïðàâ-
ëÿòü â øèðîêîì äèàïàçîíå ïóòåì èçìåíåíèÿ ïîòåíöè-
àëà ìèøåíè. Èç ðèñ. 3 âèäíî, ÷òî èçìåíåíèå ïîòåí-
öèàëà íà ±10 Â ïðèâîäèò ê èçìåíåíèþ ñòåïåíè êîì-
ïåíñàöèè èîííîãî ïó÷êà îò íåñêîìïåíñèðîâàííîãî äî
ñèëüíî ïåðåêîìïåíñèðîâàííîãî. Ýòî ìîæåò áûòü èñ-
ïîëüçîâàíî â ðàçëè÷íûõ òåõíîëîãèÿõ: òðàâëåíèè ïîä-
çàòâîðíûõ äèýëåêòðèêîâ ïîëåâûõ òðàíçèñòîðîâ, ïðî-
èçâîäñòâå íàíîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ è ìíîãèõ äðó-
ãèõ. Íàøè èçìåðåíèÿ ñ ðàçëè÷íûìè ïîòåíöèàëàìè
ñåòêè ÝÀ ïîêàçàëè, ÷òî ïðè ïîëîæèòåëüíîì ñìåùå-
íèè ìèøåíè ýëåêòðîíû äîñòèãàþò ìèøåíè â âèäå
íàïðàâëåííîãî ïó÷êà ñ óïðàâëÿåìîé ýíåðãèåé. Âñëåä-
ñòâèå íàïðàâëåííîñòè êàê ýëåêòðîííîãî, òàê è èîí-
íîãî ïîòîêîâ, îïèñàííûé èñòî÷íèê èîíîâ ìîæåò ñî-
ñòàâèòü êîíêóðåíöèþ èñòî÷íèêàì íåéòðàëüíûõ ïó÷-
êîâ â òàêèõ ïðèëîæåíèÿõ, êàê ìîíîñëîéíîå òðàâëå-
íèå (ALET) [19] è èñêëþ÷åíèå çàâèñèìîñòè ñêîðîñ-
òè òðàâëåíèÿ îò ñîîòíîøåíèÿ øèðèíû è ãëóáèíû ïðî-
òðàâëèâàåìîãî îòâåðñòèÿ (ARDE) [20].
***
Òàêèì îáðàçîì èññëåäîâàíèÿ õàðàêòåðèñòèê ðàç-
ðàáîòàííîãî âûñîêî÷àñòîòíîãî èñòî÷íèêà èîíîâ ñ îä-
íîñåòî÷íîé ÈÎÑ ïîêàçàëè, ÷òî êîëè÷åñòâî ýìèòèðó-
åìûõ ýëåêòðîíîâ äîñòàòî÷íî äëÿ ïîëíîé òîêîâîé êîì-
ïåíñàöèè ïó÷êà èîíîâ. Ïðåäëîæåííûé ìåòîä óïðàâ-
ëåíèÿ ñîîòíîøåíèåì òîêîâ èîíîâ è ýëåêòðîíîâ, ýìè-
òèðóåìûõ èñòî÷íèêîì, ïîçâîëÿåò èçìåíÿòü ýòî ñîîò-
íîøåíèå â î÷åíü øèðîêèõ ïðåäåëàõ. Èñïîëüçîâàíèå
Â× èíäóêöèîííîãî ðàçðÿäà â èñòî÷íèêå ïîçâîëÿåò äî-
ñòè÷ü âûñîêîé ïëîòíîñòè òîêà (1�10 ìÀ/ñì2) â äèà-
ïàçîíå íèçêèõ çíà÷åíèé ýíåðãèè èîíîâ (20�500 ýÂ)
ñ âîçìîæíîñòüþ íåçàâèñèìîãî óïðàâëåíèÿ ýíåðãèåé
è ïëîòíîñòüþ òîêà èîíîâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Brown Ian G. The Physics and technology of ion sources.�
Wiley-VCH, 2004.
2. Roth J. Reece. Industrial plasma engineering. Vol. 2:
Applications to nonthermal plasma processing.� CRC Press, 2001.
3. Kanarov V., Hayes A. V., Yevtukhov R. åt al. Thirty-five
centimeter diameter radio frequency ion-beam source // Rev. Sci.
Instrum.� 1998.� Vol. 69, N 2, Part I.� P. 874�876.
4. Hayes A. V., Kanarov V., Vidinsky B. Fifty centimeter ion beam
source // Rev. Sci. Instrum.� 1996.� Vol. 67, N 4.� P. 1638�1641.
5. http://www.oxford-instruments.com
6. Pat. 4259145 USA. Ion source for reactive ion etching / J. M. E.
Harper, H. R. Kaufman.� 31.03 1981.
7. Ïàò. 1570549 ÐÔ. Âûñîêî÷àñòîòíûé èñòî÷íèê èîíîâ /
À. Ì. Áóäÿíñêèé, À. Â. Çûêîâ, Â. È. Ôàðåíèê.� 27.06 1993.; Ïàò.
2426 Óêðàèíû îò 15.02 1994.
8. Dudin S. V., Rafalskyi D. V. On the simultaneous extraction of
positive ions and electrons from single-grid ICP source // Europhysics
Letters.� 2009.� Vol. 88, N 5.� P. 55002.
9. Ïîëîæèé Ê. È. Ôîðìèðîâàíèå ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö
â êîìáèíèðîâàííîì èíäóêöèîííî-åìêîñòíîì Â× ðàçðÿäå / Äèñ. ...
êàíä. ôèç.-ìàò. íàóê.� Õàðüêîâ, ÔÒÔ ÕÍÓ èì. Â. Í. Êàðàçèíà.�
2000.
10. Äóäèí Ñ. Â., Çûêîâ À. Â., Ïîëîæèé Ê. È. Ýíåðãåòè÷åñêàÿ
îïòèìèçàöèÿ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåì íà áàçå Â×-èíäóêöèîííî-
åìêîñòíîãî ðàçðÿäà // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1996.� T. 22, ¹ 19.�
C. 54�59.
11. Äóäèí Ñ. Â., Çûêîâ À. Â., Ïîëîæèé Ê. È., Ôàðåíèê Â. È.
Ýíåðãåòè÷åñêàÿ öåíà èîíà â êîìáèíèðîâàííîì èíäóêöèîííî-åì-
êîñòíîì Â× ðàçðÿäå // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1998.� Ò. 24, ¹ 22.�
C. 33�39.
12. Áóäÿíñêèé À. Ì., Çûêîâ À. Â., Ôàðåíèê Â. È. Â× èíäóêöè-
îííûé èñòî÷íèê íèçêîýíåðãåòè÷íûõ èîíîâ // Ìàòåð. Ìåæîòðàñ-
ëåâîãî íàó÷.-òåõíè÷. ñåìèíàðà «Ôèçè÷åñêèå îñíîâû è íîâûå íà-
ïðàâëåíèÿ ïëàçìåííîé òåõíîëîãèè â ìèêðîýëåêòðîíèêå».� Õàðü-
êîâ.� 1991.� Ñ. 26�27.
13. Ìàèøåâ Þ. Ï., Ôàðåíèê Â. È., Áóäÿíñêèé À. Ì. è äð.
Èññëåäîâàíèå âûñîêî÷àñòîòíîãî èíäóêöèîííîãî ðàçðÿäà íèçêîãî
äàâëåíèÿ äëÿ ñîçäàíèÿ øèðîêîàïåðòóðíûõ èñòî÷íèêîâ èîíîâ ñ
âûñîêîé îäíîðîäíîñòüþ òîêà ïó÷êà // Òðóäû ÔÒÈ ÐÀÍ.� 1999.�
Ò. 15.� C. 33�59.
14. Ïàò. 42072 Óêðà¿íè íà êîðèñíó ìîäåëü. Åíåðãîåôåêòèâíå
äæåðåëî ³îí³â / Ñ. Â. Äóä³í, Î. Â. Çèêîâ, Ä. Â. Ðàôàëüñüêèé.�
25.05 2009.
15. Dudin S. V., Rafalskyi D. V. Two modes of ion extraction in
single-grid ion source // The Third Central European Symposium on
Plasma Chemistry.� Kyiv, Ukraine.� 2009.� Book of Abstracts.�
P. 172�173.
16. Dudin S. V., Rafalskyi D. V. Influence of ion-beam plasma on
the ion extraction efficiency in single-grid ion source // Proceed. of
the V international confer. «Electronics and applied physics».�
Kyiv, Ukraine.� 2009.� P. 122�123.
17. Lieberman M. A., Lichtenberg A. J. Principles of plasma
discharges and materials processing.� New York, Wiley, 2004.
18. Äóäèí Ñ. Â., Ðàôàëüñêèé Ä. Â. Çàêîíîìåðíîñòè ôîðìèðî-
âàíèÿ ïó÷êà èîíîâ íèçêîé ýíåðãèè ïðè ïîìîùè îäíîñåòî÷íîé
èîííî-îïòè÷åñêîé ñèñòåìû // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.� ¹ 6.� C. 42�45.
19. Athavale D., Economou D. J. Molecular dynamics simulation
of atomic layer etching of silicon // J. Vac. Sci. Technol. A.� 1995.�
N 13.� P. 966�971.
20. Economou D. J. Fast neutral beams for materials processing.
// J. Phys. D: Appl. Phys.� 2008.� N 41.� P. 024001�024012.
|