Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией - Дудин, С.В.; Рафальский, Д.В.; Зыков, А.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.