Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния - Рахматов, А.З.; Скорняков, С.Л.; Каримов, А.В.; Ёдгорова, Д.М.; Абдулхаев, О.А.; Бузруков, У.М. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Исследованы процессы высококонцентрационной диффузии мышьяка в вакуумированных ампулах, влияния на параметры диффузионных р-n-переходов сверхтонких слоев оксида на кремнии. Обоснован выбор режимов и источника диффузии для создания низковольтных ограничителей напряжения.