Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора

Исследована погрешность сопротивления тонкопленочного резистора, вызванная исключением контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоев.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
1. Verfasser:	Спирин В.Г.
Format:	Artikel
Sprache:	Russian
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schriftenreihe:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:	Технологические процессы и оборудование
Online Zugang:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52314
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 42-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-52314
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-523142013-12-30T03:07:44Z Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора Спирин В.Г. Технологические процессы и оборудование Исследована погрешность сопротивления тонкопленочного резистора, вызванная исключением контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоев. Розглянуто конструкцію тонкоплівкового резистора без контактних площадок перекриття резистивного елементу і провідника. Досліджена залежність похибки опору такого резистора від несуміщення фотошаблона з провідним шаром підкладки при другій фотолітографії, яка досягає свого максимального значення при коефіцієнті форми резистора, що дорівнює 1,0. A relationship between a thin-film resistor resistance error and mask misalignment with a substrate conductive layer at the second photolithography stage for a thin-film resistor design in which the resistive element does not overlap conductor pads is studied. The error value is at a maximum when the resistor aspect ratio is equal to 1.0. 2009 Article Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 42-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52314 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование
spellingShingle	Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Спирин В.Г. Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description	Исследована погрешность сопротивления тонкопленочного резистора, вызванная исключением контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоев.
format	Article
author	Спирин В.Г.
author_facet	Спирин В.Г.
author_sort	Спирин В.Г.
title	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
title_short	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
title_full	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
title_fullStr	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
title_full_unstemmed	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
title_sort	исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate	2009
topic_facet	Технологические процессы и оборудование
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52314
citation_txt	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 42-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv	AT spirinvg issledovaniepogrešnostisoprotivleniâtonkoplenočnogorezistora
first_indexed	2025-07-04T14:52:07Z
last_indexed	2025-07-04T14:52:07Z
_version_	1836728434135400448
fulltext	Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 5 42 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 14.04 2009 ã. Îïïîíåíò ä. ò. í. Þ. Â. ÏÀÍÔÈËÎÂ (ÌÃÓ èì. Í. Ý. Áàóìàíà, ã. Ìîñêâà) Ä. ò. í. Â. Ã. ÑÏÈÐÈÍ Ðîññèÿ, Àðçàìàññêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èíñòèòóò E-mail: spvl49@mail.ru ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈÅ ÏÎÃÐÅØÍÎÑÒÈ ÑÎÏÐÎÒÈÂËÅÍÈß ÒÎÍÊÎÏËÅÍÎ×ÍÎÃÎ ÐÅÇÈÑÒÎÐÀ Èññëåäîâàíà ïîãðåøíîñòü ñîïðîòèâëå- íèÿ òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà, âûç- âàííàÿ èñêëþ÷åíèåì êîíòàêòíûõ ïëîùà- äîê ïåðåêðûòèÿ ðåçèñòèâíîãî è ïðîâî- äÿùåãî ñëîåâ. Êàê èçâåñòíî, ïðè ôîðìèðîâàíèè òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ (ÒÏÐ) â èõ êîíñòðóêöèè ïðåäóñìàòðèâà- þò ÷åòûðå êîíòàêòíûå ïëîùàäêè ïåðåêðûòèÿ (ÊÏÏ) ðåçèñòèâíîãî è ïðîâîäÿùèõ ýëåìåíòîâ [1], êîòîðûå èñêëþ÷àþò âëèÿíèå íåñîâìåùåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ (ÔØ) íà ïîãðåøíîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ ðåçèñòîðà. Êàê âèäíî èç ðèñ. 1, íàëè÷èå ÊÏÏ óâåëè÷èâàåò ïðîìåæó- òîê ìåæäó òîíêîïëåíî÷íûìè ýëåìåíòàìè, ÷òî ïðèâî- äèò ê ñíèæåíèþ ïëîòíîñòè ìîíòàæà. Îöåíèì íàñêîëü- êî óâåëè÷èâàåòñÿ ïðè ýòîì çàçîð ìåæäó ýëåìåíòàìè. Îïðåäåëèì ìèíèìàëüíûå ðàçìåðû ÊÏÏ è çàçîð ìåæäó ïðîâîäíèêîì è ðåçèñòèâíûì ýëåìåíòîì, êî- òîðûå îáåñïå÷èâàþòñÿ êîìïëåêòîì ÔØ. Ýòè ðàçìå- ðû áóäóò çàâèñåòü îò ñëåäóþùèõ ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîãðåøíîñòåé: íåñîâìåùåíèÿ êîìïëåêòà ÔØ (∆Bôø), íåñîâìåùåíèÿ ïðîâîäÿùåãî ñëîÿ ïëàòû è âòîðîãî ÔØ, ôîðìèðóþùåãî ðåçèñòèâíûé ñëîé (∆Bôë), èç- ìåíåíèÿ ðàçìåðîâ ÒÏÐ, îáóñëîâëåííûõ ïåðâîé ôî- òîëèòîãðàôèåé è òðàâëåíèåì [2, 3], ò. å. ïîãðåøíî- ñòÿìè äëèíû ÒÏÐ. Äëèíó ÊÏÏ ìîæíî ðàññ÷èòàòü ïî ôîðìóëå [2, 3] lê=Êl(∆Bôë+∆lc+∆l), Ïðîöåññû ôîòîëèòîãðàôèè è òðàâëåíèÿ ïðîâîäÿ- ùåé ïëåíêè ÿâëÿþòñÿ èçîòðîïíûìè, ïîýòîìó ðàçìå- ðû ÊÏÏ íà ïëàòå ïîñëå âûïîëíåíèÿ ýòèõ ïðîöåññîâ îòêëîíÿþòñÿ îò áàçîâûõ ëèíèé íà ÔØ íà îäíó è òó æå âåëè÷èíó (∆lc±∆l)/2 [2]. Ðåçèñòèâíûé ýëåìåíò íå äîëæåí âûõîäèòü çà ïðå- äåëû êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê, ïîýòîìó ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ÊÏÏ äîëæíà áûòü òàêîé, ÷òîáû âåëè÷èíà bê (ñì. ðèñ. 1) áûëà íå ìåíüøå bê min=∆Bôø+∆Bôë+(∆lc+∆l)/2. (1) Ìèíèìàëüíûé çàçîð ìåæäó ïðîâîäíèêàìè bç min îáû÷íî ðàâåí ìèíèìàëüíîé øèðèíå ïðîâîäíèêà bï min, íî ïðè íàëè÷èè êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê îí áóäåò äî- ïîëíèòåëüíî óâåëè÷åí íà âåëè÷èíó bê, ò. å. bç min=bï min+bê min. (2) Ïîãðåøíîñòè, âõîäÿùèå â ôîðìóëó (1), â ñëó÷àå ïðèìåíåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ êëàññà Ñ ñîñòàâëÿþò [3� 5]: ∆lñ=6,2 ìêì; ∆l=10,8 ìêì; ∆Bôø=3,5 ìêì; ∆Bôë=1,5 ìêì, îòêóäà bê min=13,5 ìêì. Òîãäà ïðè bï min=10 ìêì ïîëó÷èì bç min=23,5 ìêì. Èç ðàññìîòðåííîãî ïðèìåðà âèäíî, ÷òî íàëè÷èå ÊÏÏ óâåëè÷èâàåò ìèíèìàëüíûé çàçîð ìåæäó ïðîâîä- íèêîì è ðåçèñòîðîì â 2,35 ðàçà. Ðàñ÷åòû ïîêàçûâà- þò, ÷òî äàæå â ñëó÷àå ïðèìåíåíèÿ ïðåöèçèîííûõ ôî- òîøàáëîíîâ è ôîòîëèòîãðàôèè ïëîòíîñòü ìîíòàæà ñóùåñòâåííî óìåíüøàåòñÿ èç-çà ÊÏÏ. Ïîýòîìó äëÿ ïðîåêòèðîâàíèÿ òîíêîïëåíî÷íîé ïëàòû ïðåäñòàâëÿåò èíòåðåñ ðàññìîòðåíèå ïîãðåøíîñòè ñîïðîòèâëåíèÿ ðåçèñòîðà áåç ÊÏÏ. Êîíñòðóêöèÿ òàêîãî ðåçèñòîðà, ïîëó÷åííîãî ïðè ñìåùåíèè ÔØ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ îòíîñèòåëüíî ïðîâîäÿùåãî ñëîÿ ïëàòû, ïîêàçàíà íà ðèñ. 2, à. Ðåçèñòîð Rñì ïðåäñòàâèì â âèäå äâóõ ïàðàëëåëü- íî ñîåäèíåííûõ ðåçèñòîðîâ R1 è R2 (ñì. ðèñ. 2, á, â), è òîãäà ìîæíî çàïèñàòü ñì 1 2 . 1 2 R R R R R ⋅= + (3) Âåëè÷èíà ñîïðîòèâëåíèé R1 è R2 îïðåäåëÿåòñÿ êàê R1=ρ(l/∆Â+2m); (4) Ðèñ. 1. Âëèÿíèå ÊÏÏ íà ïëîòíîñòü ìîíòàæà: 1 � ïðîâîäíèê; 2 � ðåçèñòèâíûé ýëåìåíò; 3 � ÊÏÏ b 3 l lê b ê 1 2 3 àáñîëþòíûå ñèñòåìàòè÷åñêàÿ è ñëó÷àéíàÿ ïîãðåø- íîñòè äëèíû l ÒÏÐ; êîýôôèöèåíò çàïàñà ôîðìèðîâàíèÿ äëèíû ÊÏÏ. (Òàê êàê äëèíà ÊÏÏ íåçíà÷èòåëüíî âëèÿåò íà ïëîò- íîñòü ìåæñîåäèíåíèé, Êl=2�5.) ãäå ∆lñ, ∆l � Êl � Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 5 43 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ R2=ρl/(b�∆Â), (5) Îïðåäåëèì ñîïðîòèâëåíèå Rñì. Ïîäñòàâèì ôîð- ìóëû (4) è (5) â (3) è, óïðîñòèâ ïîëó÷åííîå âûðàæå- íèå, çàïèøåì cì ( 2 ) . 2 ( ) l l m B R lb m B b B + ∆= ρ + ∆ − ∆ (6) Â ýòîì âûðàæåíèè ñîìíîæèòåëåì ρ ÿâëÿåòñÿ êî- ýôôèöèåíò ôîðìû Êôñì ðåçèñòîðà Rñì, ò. å. Rñì=ρÊôñì. Îáîçíà÷èâ δB=∆B/b è ïðîâåäÿ íåêîòîðûå ïðåîá- ðàçîâàíèÿ, ïîëó÷èì ô ôcì 2 ô , 1 2 /( 2 ) K K m B K m B = − ⋅ δ + δ (4) ãäå Kô=l/b � êîýôôèöèåíò ôîðìû ðåçèñòîðà Rñì ïðè δB=0, ò. å. â îòñóòñòâèå ñìåùåíèÿ. Èñïîëüçóÿ âûðàæåíèå (4), íàéäåì àáñîëþòíóþ (∆Kô) è îòíîñèòåëüíóþ (δKô) ïîãðåøíîñòè êîýôôè- öèåíòà ôîðìû ðåçèñòîðà Rñì: ô ô ôñì ô ô2 ô ; 2 1 2 K K K K K m B K m B ∆ = − = − ⋅ δ− + ⋅ δ (8) ô ô 2 ô ô 1 1. 1 2 /( 2 ) K K K m B K m B ∆ δ = = − − ⋅ δ + ⋅ δ (9) Ðàññ÷èòàåì ñèñòåìàòè÷åñêóþ ïîãðåøíîñòü ñîïðî- òèâëåíèÿ Rc, êîòîðàÿ âîçíèêàåò èç-çà èñêëþ÷åíèÿ ÊÏÏ: Rc=Rcì�R=ρ·∆Kô, ãäå R � ñîïðîòèâëåíèå ðåçèñòîðà Rñì ïðè δB=0. Ýòà ïîãðåøíîñòü óâåëè÷èâàåò ñîïðîòèâëåíèå ÒÏÐ. Êàê âèäíî èç âûðàæåíèé (8) è (9) ïîãðåøíîñòü êîýô- ôèöèåíòà ôîðìû áóäåò îïðåäåëÿòüñÿ âåëè÷èíîé ñìå- ùåíèÿ δB è êîýôôèöèåíòîì ôîðìû ðåçèñòîðà áåç ñìåùåíèÿ Kô. Çàäàâàÿñü ýòèìè âåëè÷èíàìè, ìîæíî îïðåäåëèòü ïîãðåøíîñòü ðåçèñòîðà çà ñ÷åò ñìåùåíèÿ ôîòîøàáëîíà. Èç ðàññìîòðåíèÿ êîíñòðóêöèè ÒÏÐ íà ðèñ. 2 ìîæ- íî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî çíà÷åíèå m ÿâëÿåòñÿ ôóíêöèåé äëèíû ýëåêòðîäîâ ñìåùåííîãî ðåçèñòèâíîãî ýëåìåíòà lý è âåëè÷èíû ∆Â. Â ðàáîòå [6] áûë ïðîâåäåí òåîðåòè- ÷åñêèé àíàëèç çàâèñèìîñòè m=f(lý/∆Â), êîòîðûé ïî- êàçàë, ÷òî ïðè óìåíüøåíèè îòíîøåíèÿ lý/∆Â íèæå 1 çíà÷åíèå m ðåçêî âîçðàñòàåò (ðèñ. 3), à â îáëàñòè (lý/∆Â)≥1 îíî îñòàåòñÿ ïðàêòè÷åñêè ïîñòîÿííûì (äëÿ lý=∆Â, m=0,461, à äëÿ lý=3∆Â, m=0,436). Äëÿ ïîäòâåðæäåíèÿ ýòèõ äàííûõ áûë ïðîâåäåí ýê- ñïåðèìåíò ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíî ðàçðàáîòàííîé òå- ñòîâîé ñõåìû (ðèñ. 4). Ðàçìåðû ðåçèñòîðîâ R3, R4 (l=b=3 ìì) è ñìåùåíèå (∆Â=1,5 ìì) áûëè âûáðàíû äîñòàòî÷íî áîëüøèìè ñ öåëüþ ìèíèìèçàöèè âëèÿíèÿ ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîãðåøíîñòåé ñîïðîòèâëåíèÿ ÒÏÐ íà ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ. Äëÿ ïðèâåäåííûõ çíà÷åíèé Êô è ∆Â òåñòîâîé ñõåìû ïîñëå íåñëîæíûõ ïðåîáðà- çîâàíèé èç ôîðìóëû (9) ìîæíî íàéòè m=2·δÊô/(1�δÊô). (10) Äëÿ íàõîæäåíèÿ m â öåíòðàëüíîé ÷àñòè ïîäëîæêè áûëè ñôîðìèðîâàíû ÷åòûðå òåñòîâûå ñõåìû. Â ñî- ñòàâ êàæäîé âõîäèë îäèí ðåçèñòîð R4 è äâà ðåçèñòî- ðà R3, ó îäíîãî èç êîòîðûõ äëèíà ýëåêòðîäà lý=∆Â, à ó äðóãîãî lý=3∆Â. Áûëî èçãîòîâëåíî øåñòü ïîäëî- æåê, íà êîòîðûõ èçìåðÿëèñü ñîïðîòèâëåíèÿ âñåõ ðå- çèñòîðîâ. Âåëè÷èíó m îïðåäåëÿëè ñëåäóþùèì îáðàçîì. Âû÷èñëÿëè çíà÷åíèÿ îòíîøåíèé ñîïðîòèâëåíèé ðåçèñòîðîâ íà âñåõ òåñòîâûõ ñõåìàõ Ê3i=R3i/R4i Ðèñ. 2. Êîíñòðóêöèÿ ðåçèñòîðà áåç ÊÏÏ (à) è ôîðìèðîâàíèå ïîãðåøíîñòè åãî ñîïðîòèâëåíèÿ (á, â) à) l Rñì b á) ∆ B l R1 â) b � ∆ B l R2 ∆ B lý R3 R4 Ðèñ. 4. Òåñòîâàÿ ñõåìà äëÿ îïðåäåëåíèÿ m ãäå ∆Â � m � âåëè÷èíà ñìåùåíèÿ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ îòíîñèòåëüíî ïðîâîäÿùåãî ñëîÿ, ∆B=∆Bôø+∆Bôë; ÷èñëî êâàäðàòîâ óãëîâîãî ó÷àñòêà ðåçèñòèâíîãî ýëå- ìåíòà ðåçèñòîðà R1 (íà äàííîì ó÷àñòêå ïðîèñõîäèò èñêðèâëåíèå ïðîòåêàíèÿ òîêà). m 0,7 0,6 0,5 0,4 0 0,5 1 1,5 2 2,5 lý/∆B Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ÷èñëà êâàäðàòîâ óãëîâîãî ó÷àñòêà îò ïðèâåäåííîé äëèíû ýëåêòðîäà Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 5 44 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ è ñðåäíåå çíà÷åíèå ïîëó÷åííûõ êîýôôèöèåíòîâ 1 1 3 3 , k i i K K k = = ∑ ãäå i � íîìåð òåñòîâîé ñõåìû, k � èõ êîëè÷åñòâî. Ó÷èòûâàÿ, ÷òî δÊ3ô=Ê3�1 è èñïîëüçóÿ ôîðìóëó (10), îïðåäåëèì m=2(Ê3�1)/(2�Ê3). Â ðåçóëüòàòå áûëè ïîëó÷åíû ñëåäóþùèå ñðåäíèå çíà÷åíèÿ: m1=0,41 äëÿ lý=∆Â è m2=0,40 äëÿ lý=3∆Â. Ïðè ýòîì ðàçáðîñ çíà÷åíèé m ñîñòàâëÿë 0,348�0,448, ÷òî ìîæíî îáúÿñíèòü ïîãðåøíîñòüþ ìèêðîäåôåêòîâ [7, ñ. 42], êîòîðàÿ îáðàçóåòñÿ, íàïðèìåð, âñëåäñòâèå øåðîõîâàòîñòè ïîäëîæêè. Òàêæå äëÿ íåêîòîðûõ çíà÷åíèé δÊô, êîòîðûå áëèç- êè ê ýêñïåðèìåíòàëüíûì, çíà÷åíèÿ m áûëè ðàññ÷èòà- íû ïî ôîðìóëå (10). Ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ïðèâåäåíû â òàáëèöå. Èõ àíàëèç ïîêàçûâàåò, ÷òî ðàçáðîñ δÊô=2%, õà- ðàêòåðíûé äëÿ ýêñïåðèìåíòà, ïðèâîäèò ê ðàçáðîñó m=0,353�0,469, ÷òî õîðîøî ñîãëàñóåòñÿ ñ ïîëó÷åí- íûìè ýêñïåðèìåíòàëüíûìè ðåçóëüòàòàìè. Ïîãðåø- íîñòü ðàñ÷åòíîãî çíà÷åíèÿ m îòíîñèòåëüíî ñðåäíåãî ýêñïåðèìåíòàëüíîãî íå ïðåâûøàåò 11%. Òåì íå ìå- íåå, ó÷èòûâàÿ ðàçáðîñ m, äëÿ lý≥∆Â ïðè ðàñ÷åòå çà- âèñèìîñòè δÊô=f(Êô) áóäåì èñïîëüçîâàòü çíà÷åíèå m=0,461. Ïðîåêòèðîâàíèå ÒÏÐ ñ (lý/∆Â)<1 íå ðåêî- ìåíäóåòñÿ, ò. ê. ïðè ýòîì âåëè÷èíà ïîãðåøíîñòè δÊô ðåçêî âîçðàñòåò. Àíàëèç ïðåäñòàâëåííûõ íà ðèñ. 5 çàâèñèìîñòåé ïîêàçàë, ÷òî ñèñòåìàòè÷åñêàÿ ïîãðåøíîñòü, óâåëè- δÊô 0,15 0,16 0,17 0,18 0,19 m 0,353 0,381 0,41 0,439 0,469 ÷èâàþùàÿ îáùåå ñîïðîòèâëåíèå ÒÏÐ, äîñòèãàåò ñâî- åãî ìàêñèìàëüíîãî çíà÷åíèÿ ïðè Êô=1. Â áîëüøèí- ñòâå ñëó÷àåâ � ïðè Êô<1 è Êô>10 � ÒÏÐ ìîæíî èçãîòàâëèâàòü áåç ÊÏÏ, ÷òî ñóùåñòâåííî ïîâûñèò ïëîòíîñòü ìîíòàæà. Îäíàêî èçãîòîâëåíèå áåç ÊÏÏ ðå- çèñòîðîâ ìàëûõ ðàçìåðîâ è êîýôôèöèåíòîì ôîðìû 0,1<Êô<10 (êðèâàÿ 4 íà ðèñ. 5, á), äàæå â ñëó÷àå ïðåöèçèîííîãî èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ è òîíêî- ïëåíî÷íîé ïëàòû, ïðèâîäèò ê íåäîïóñòèìîé ïîãðåø- íîñòè ñîïðîòèâëåíèÿ ÒÏÐ. Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé îñîáåííî çíà÷èìû ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ÒÏÐ ñ ìàëûìè òîïîëî- ãè÷åñêèìè ðàçìåðàìè. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Áîíäàðåíêî Î. Å., Ôåäîòîâ Ë. Ì. Êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëî- ãè÷åñêèå îñíîâû ïðîåêòèðîâàíèÿ ìèêðîñáîðîê.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1988. 2. Ñïèðèí Â. Ã. Ìàòåìàòè÷åñêèå ìîäåëè ñîïðîòèâëåíèÿ òîí- êîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà ñ ðàçìåðàìè 50 ìêì // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ðàäèîýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2004.� ¹ 2.� Ñ. 14�16. 3. Ñïèðèí Â. Ã. Îöåíêà ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîãðåøíîñòåé òîí- êîïëåíî÷íûõ ýëåìåíòîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåê- òðîííîé àïïàðàòóðå.� 2004.� ¹ 4.� Ñ. 50�53. 4. Ãîòðà Ç. Þ. Òåõíîëîãèÿ ìèêðîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1991. 5. ÎÑÒ 4 ÃÎ.073.210-84. Ôîòîøàáëîíû ïðåöèçèîííûå. Îá- ùèå òåõíè÷åñêèå óñëîâèÿ. 6. Ïîòåõèí Â. À., Ñïèðèí Â. Ã., Øóðûãèí Á. Ä. Ðàñ÷åò ôóíêöèè ÷èñëà êâàäðàòîâ óãëîâîãî ó÷àñòêà òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà // Ìåæâóç. ñá. ñòàòåé «Ïðîãðåññèâíûå òåõíîëîãèè â ìàøèíî- è ïðè- áîðîñòðîåíèè».� Í. Íîâãîðîä�Àðçàìàñ, 2003.� Ñ. 366�369. 7. Ôîìèí À. Â., Áî÷åíêîâ Þ. È., Ñîðîêîïóä Â. À. Òåõíîëî- ãèÿ, íàäåæíîñòü è àâòîìàòèçàöèÿ ïðîèçâîäñòâà ÁÃÈÑ è ìèêðî- ñáîðîê.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1981. Ðèñ. 5. Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîé ïîãðåøíîñòè êîýôôèöèåíòà ôîðìû ÒÏÐ îò çíà÷åíèÿ êîýôôèöèåíòà ôîðìû ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ îòíîñèòåëüíîãî íåñîâìåùåíèÿ ôîòîøàáëîíà δB: 1 � 0,15; 2 � 0,1; 3 � 0,05; 4 � 0,5; 5 � 0,4; 6 � 0,25 à) δKô 0,016 0,008 0 �1 �0,5 0 0,5 1 lgKô 1 2 3 á) δKô 0,16 0,08 0 4 5 6 �1 �0,5 0 0,5 1 lgKô

Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора

Institution

Ähnliche Einträge