Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности - Коваленко, К.Л.; Шаран, Н.Н.; Севастьянов, В.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Получена наноструктурированная композитная пленка для применения в качестве чувствительного элемента интегральных сенсоров влажности с повышенной чувствительностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками.