Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52330 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
irk-123456789-523302013-12-30T03:11:20Z Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Технологические процессы и оборудование Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике. 2009 Article Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике. |
| format |
Article |
| author |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| author_facet |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| author_sort |
Дудин, С.В. |
| title |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_short |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_full |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_fullStr |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_full_unstemmed |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_sort |
закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330 |
| citation_txt |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkojénergiipripomoŝiodnosetočnojionnooptičeskojsistemy AT rafalʹskijdv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkojénergiipripomoŝiodnosetočnojionnooptičeskojsistemy |
| first_indexed |
2025-07-04T14:54:46Z |
| last_indexed |
2025-07-04T14:54:46Z |
| _version_ |
1836728594755223552 |