Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей - Федорович, О.А.; Кругленко, М.П.; Полозов, Б.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин.