Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния - Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов.