Шангереева, Б. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Шангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Шангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.