Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем - Шангереева, Б.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками.