Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
Исследованы химический состав и физические свойства тонких пленок BaCuTeF. Показана возможность улучшения электрических параметров пленок путем добавления в них избыточной меди....
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52541 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике / З.Ю. Готра, Дж. Тейт, Р. Кикинеши, А.А. Закутаев, Л.М. Ракобовчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 54-57. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |