Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....
Gespeichert in:
Datum: | 2007 |
---|---|
Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52809 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-528092014-01-08T03:11:34Z Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Электронные средства: исследования, разработки На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. 2007 Article Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки |
spellingShingle |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. |
format |
Article |
author |
Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
author_facet |
Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
author_sort |
Родионов И.А., И.А. |
title |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
title_short |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
title_full |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
title_fullStr |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
title_full_unstemmed |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
title_sort |
коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2007 |
topic_facet |
Электронные средства: исследования, разработки |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 |
citation_txt |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem |
first_indexed |
2025-07-05T04:19:39Z |
last_indexed |
2025-07-05T04:19:39Z |
_version_ |
1836779233753432064 |
fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
������
��
�������
�����
����������
��
�
���
������
�
��������
�� ��
����
�
!������
��������������� ��
���
����
"#$$
%%�
�
��&��'
������
� ����
�����������
��
������
���
(���� �
�
)������
)*�+
�&
#
,
-��&���
./01234
ilro@bk.ru
%������
�����
�������
�
���5���6���
����7���/
�
��
�����&�����
��
�����5���
�����������������
&�������&8
����9��
�
��:
8� 9�
�
������
+�/
�����
���
&�;��
��7����
5
��
���
�����8�
9��
�
<
��
��7��:�
��
�
�����
��������
�
��
���������
���/
�7����
��
=�����
�:�
�
�
9��
�
����7�8���
�� 7�/
�8
<
�&����
��������
������� �
�
�
���
�����
��7��:�
9���&
���6�
��5�8�
� �
��:������
�
������9����
%����
��������
����
�
��
&����5��&�
��������
<
�������
��7��:�
9����
�����
����
�
���9���
����
��6��
����9�����
���&��
8
">?@�
?@�
ABC�
BABC
�
� '�
������
�����57�
�
�
��::�����
��7���
�
����9�����
���&��
8
:����
�8������
����/
�
"ABCD>��
BAE>��
FGD>H
�
� '�
����9���8�
�����8
���&��
��
�:I���� �
�
�
:�:���
���
$�/
���57��
�
��
��78���&��
J����7���K
�����
�����/
����
�����
��;��
9����
��
��5��
�����
��� �
��/
:��
��������
"
��������9����
&����5'�
��
�
���
/
������
�
����9�����
�
����
��9�����
&���� &�
L�;��
:�:���
���
��7��:�
8���
�
���
������
/
���
���������
(�7��:�
��
����:���
:�:���
���
��7&�;��
��5��
���
�9��
��
���
��7��:�
9�����
��
�
���������
(�7��:�
9���
������� �
������
��/
:�
8�
����
��
���
:���M��
&�������&8�
7����
����/
��9�����
����&�
�8�
�
���������
��&�&�
��6���
�����
7���9�
�����&��
���������
������
�9��
��
�
�����
��������
��������
=��&��
��
��7��:�
8��/
�
�������
�����
������� �
�
��
��8�
����8���
�
��7&�;���
�
���������
��
�������7�������
��7/
��9�8�
�������9�����
����
������
�
������ �
��7/
��9�8�
��������9�����
�����
%����
����������
:��5���
�
�
&�&
�
���
���:��/
��&8&
�9�
8��
5
��
�9�����
�NN��
8�
��7�����M��
�
������ �
��:&������8�
��7&�����
�����
�����
����8
����������M���
�7��9���
�
�����
�
����/
�
���&��
�
��7&���&�
���&��
��
��
����
���
���/
������9�����
O����8O
�
�
�&
���9��
���
����
��/
�
���
������
��
�
��&����5����
��7&���
P�Q
=�M��
���
���
����������5��
��7��9�8�
���/
��:��
��7��� �M��
�������
�����
5
�
�
����84
<
���:��
��������9�����
��;�&��R
<
��������
���������
��
�
���
�����
�������
&�������&
%���8�
�����:
���
����;�
��5�8�
��7��5
�
8
%�����
�����7
��������9�����
������
��
�
����
����9���
���8
���
�7�:��;���
�
��M�
��7��
��
��� �����
"����9���
�7�:��;���
��
N�
���7��/
L!((SLT$U
!%�$VS=L$W
,XXSL�!Y
-Z$[!=�$
%($
%(!SL�$(!Y\#$$
)$L(!=WS)
�����
&����'
�
�������
"����9���
�
���
��
��
����
���'�
&�;��
�����
5
�8���
�
��:��&�&
��&�/
���5��&
��7&���
��
N�
�6�:����
��
����9���
7�/
����8�
��7&����
��
����
���
#�
���
��:�
�
�
��:/
&������8&�
��7&���&�
�
�����
�
��8&
�
��9��
�
�����:�
��
N����8
���
���
������8�
��7&����4
���/
��9�8�
�
���
�����������8�
�
���
��
"����
�'
#�
N�
����N� �
�
9�
����
����8
�
�
��7��9�
"���
�����
��������
�
��
N�
�6�:����
���
�
5
������/
�����
�&��
��������8�
��&����5�8�
��7&��8'
T��
���5�8�
����������
�
��9��M��
����&�
��&
�����9���
�
���
��8�
�&��
:��56��
��7&��
�
����
�������
:������
�
����
���N��
��7��
��
:����8�
����������
��;�
�
��M��8
��
J���:�����K
�
���/
�8
%��
�&�
��
�����9�8�
�
���
�����������8�
�
���
��
���:����&8
��7��9�8�
��;�&8
��������/
9�����
�:��:�
��
����&
�:��7�&�
���:����&�
��:�
�:����9�
5
�����&�����
���
���
5
�
���
��
��
���/
&�
����
����
&�������&8�
��:�
����7���
�
J
��/
���K
"�9��5
�9�8�'
���:��
��������9�����
��;�/
&��
!:����9�
5
�����&�����
���
���
5
�
���
��
���
�����
��������
����
����
&�������&8
����7/
&�;��
��
����
���
%���:��
5
��������9�����
��/
;�&8
<
&�;���
�
����8�
&�
��
�����57��
�
�
9��
/
�8�
���9� ��
��
�
�
�����&�9����
���8�����
�
��/
:��
:��56��
���&���8�
7�
��
�
9
�
��;�
�������/
�&�
�
������ �
�����&������
�8���
Y
����
�����:
<
��������
���������
��
�
���
���/
��
�������
&�������&
<
�� �
�
������8&
�
��/
���57��
�
���&�
&����8&�
����7����
�� &�
����/
�������������
�����
���
P��
�Q
Y�������
������/
���
��
�
���
�����
�������
��7��� �
4
<
�:����9�
5
7�����8�
����&�
�8
����9��&8�
��
����
���
�
���
��R
<
���8��
5
�
�:��5���
5
��������9������
���/
�����
"��'R
�' :'
(��
�
%����:�
��
N����8
���
���
������8�
��7&����4
�
<
���
�����
���������
��
N�
�6�:����R
�
<
�����
N�
���/
����N���
��
N�
���7��
�����
&����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
������
��
�������
�����
����������
<
���8��
5
������
�8����
����8�
����
�����
��
����
���R
<
�����9�
5
�7
����7����
�������
�����
�
����
�
��:�
��
�%
���
������
�8�
��
�7����
Y�������
���������
&�;�
���M��
��
5�
�7&�/
�����&
:�:���
�9�8�
���&��
��R
�
�
�&
���9��
:�:/
���
���
���&��
��
��7��:�
8���
�
N�:�����/����7/
����
���&
"���'
�
���
��� �
�
��7��:�
9���&
&��/
�����&
Y
��8&
������
�&
�������
���������
�/
� �
�
�����57������
��������7�������8�
=\%(�
��/
��8�
��7��� �
�:��:�
8��
5
��������
����
����
&�������&8
������&�
�7&��
��
�
���
��
�
���
�
��:����� &�
���������
]A^
PHQ
Y
������ �
�
��&�
��5��
�7&�� �M����
�8���
�
�� �����
�����������8�
&�
����
�
����7����
��
L)!%
=-$=�
��
��8�
��7��:�
8���
�
���
�����/
&�����
���������
����������
9
�:8
������
5
��/
�����M��
��7����
�
�����
����
]A^
���;��
�:��/
��
5
��
�&�
�7���������
&��6
�:����&��
&����5/
���
���
�&��
�����
������� �
��
������������
�
�������
����7����
��
����
���
�&�
���;��
��7��/
�
5
�����
�
�
�;�
8�
�����
������
5
����������/
�8�
����
���������
�����
��
��������
����7����
���
�����9�
��������9�8�
�
��8
��
�������
�����
������
�
��������
����7����
��
L)!%
=-$=
��/
��7&�;��
:�7
&�����������
�%
�
�����57������&
�������8�
������&&
_AC
�
̀ _AC
Y
������
��:�
�
&8
���8
����5
�����57���
5
�������8�
�86�
���/
���4
��
�����&
�
���
:8��
���������
&������������
�
���:��
�����7&����
N����
����������
7�
�&
��
��7��5
�
�&
&�����������
:8�
�8:���
�����7��
�
��
N����
����������
�
��
7����6��M�&
�
���
��/
7��5
�
8
&�����������
:8��
��������8
�������&��/
�&
X����8
���������
���7���8
�����9�
5
��7��/
��
�
�����:�
��
��
����
���
���&��
��
��7/
��9���
���
���
��
�
��;�
��&���������
5
�NN��
�����9���
�������&����8�
7�
�����
�
��
�����
�:���
�
���7��
����
9
�
&�;�
������
�
�
�NN��
�
�����9���
�������
�����7&�;�8&
�
�9��&�
�7&���/
���
����
��9�����
����&�
���
���7��
����
�
�
Y
�����&
���:��;����
�8��� �
��
����
N����
���/
������4
�'
�7&������
��&����5����
��7&���
��
N�
�6�:/
����
��
����9����
������� �&��
��������9����&
�����&
��
������� �
N�
���
����N��
�
�������
"�21a�
����
��
�'R
�'
��������
�������
��5�8�
�����
"1aa2ab
32cd
���
1ef2321gh�
���
��
�'R
�'
��������
�������
��5�8�
N����
���
adg2i�
1cb2
adg2i�
j1ggd3�
k100dgkd1l
"���
��
���'
(���&�
��&
�������8
����
��
����
�86�����/
9������8�
N����
���������
^21a
\����7
������
��7&����
�����������
"���
�����9�8��
��
�
�
&������'
�
��������
����7���/
�
��
��7��� �
�����
5
�8���
�
�&�
����&
���;��
:8
5
��&����5�8�
��7&��
����������
��
N�
�6�:/
�����
9
�:8
��
����
���
����9���
7�����8�
��&�/
���5�8�
��7&��
Aaa2ab
32cd
�������
��5�8�
�����
����
� �
9
�/
:8
��7��
5
�NN��
���
�����������8�
�
���
��
��
�����9����
����������
(�7��9�
�
�����:�
��
���/
��9�8�
�
���
�����������8�
�����������
��7����/
�
�
��7��5
�
�
��N������
��9��
���
�
��
��������
������������
�
��7��5
�
�
�
���
���
�����������8�
�
���
��8
7����9����
�
:��56��
��7��
�������/
��5�8�
�����
�&��
��7&��
�m�<�m�
�
�����
���
���&8
[�
�9�
�
���
�
�
�����
��
�����:�
8���
�
��
����
����
��
��N�����
��9��
���
�
��
���
���
;�
���������
R
�
��7��5
�
�
��
����
���
����9��
�
���/
��9�8�
����������
�&��M��
��7&���8�
�����
���/
�
���
���
�
���
��������������
ndg2i
L��
�7���
���
�����������
�������;���8�
���
�� &8&
����&�
��
�����:�
8���
�
��
����
�/
���
�����
�
���
�NN��
���������
L��
����7���
��
����
��
o/�:��7��
N�����
����;��
� 4
��&�&�
���������
������
��;�
���������
�����9������
�����������
��
�
����8
J�
��8
���K
�����
V
�:8
�7:�;�
5
�
���
�NN��
��
�����
����M���
����
N�/
���8
���������
���
adg2i�
1cb2
adg2i�
j1ggd3�
k100dg/
kd1l�
pqra
�
�
�' :'
^21a Aaa2ab
32cd
"1ef2321gh'
�' �'ndg2i
Acb2
adg2i
ndg2i
�' �'
s100dgkd1l ^1ggd3
(��
�
X����8
���������
��
�9������
�NN��
�
:��7��
�
(��
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
������
��
�������
�����
����������
Y
��&���
��7��:�
��
��������9������
������/
��
��
�����
���
���&�
���E
&�&
:8�
�8���/
���
� �
��:�
��
��7��:�
��
���8�
��������9�����
���������
N�
���
����N��
*������
���:�����
5�
����8�
���������
�� �
�
���������
�����
:��/
7��
5
������
�8�
��7&�;���
��
�����57��&���
�:�/
��������
�
�����8�
����&�
���
�
���
���
����9��/
&8�
�
���
�9�8�
��� �
Y
��9��
��
N�
���7��
�
�8/
������
��7��6���
:8��
�8:����
��&���
��
N�
�/
��7��
��
G3bg1/2
���
��&�����
@qk0ts11a
��
��&/
��������
��
�9������
�NN��
�
:��7��
�
:8��
���/
������
&������������
��������
N�
���
����N��
#�
����
����7��
���&��
����9���8�
��7��5
�
��
��
�
���&
&�����������
�����9�8�
6��
�
���&8��/
���&
��
8�
)������������
���&��
��
���������
���
Jadg2iK
��
�����9�8�
6��
��&����5�8&
��7&���&
���H
&�&
�
���&8�����&
��
8�
����7����
9
�
��
�&��5�8�
��7/
&��
ndg2i
a2udv���
�&�
ndg2i
qiiadbv��
�&
!�����
�NN��
�����
�
���&�� �&8�
&�
����
���/
������
<
�M�
����
:��56�
&�
�&�
�9����
7���9��
�
����7&�;��
����&/��:�
�:��7�&
������
�
����/
�����
7������
�������8�
�
���
��
��
�
���
���&��
����9���8&�
��
����
���
Y�7&�;�8&�
&�
���&�
������
�NN��
�����
�
&���
���;�
54
<
��
�9�����
&�
��8
�������� R
<
&�
�&�
�9�����
�����7
����9���8�
�
���
��
#����&���
�
���9��
�����7�
o/�:��7����
������/
����
7�
�:��7
6��8
&�;��
����
5
����� M��
���/
�������
��
����
� ���
"�w�'λ
�
����
������
���/
���
��
��&
�� &8��
����9�&
��
��
������9����
�:/
��7
o/����:����
����������
)���&�&
��7���
�
���/
M���
�:��7�
�
���M���
����9�����
�
���
��8
"��/
����
&�;��
���9�
�
5�
�7 �
��
�����'
�
���
���/
:����
�NN��
���8�
��7��5
�
(���&�
�����
���
�����
������
�NN��
�����
�
�������
N����
���������
��
�9������
�NN��
�
:��/
7��
�
�8����
7�
��&��
���
� M��
�
�
5�
L��
���/
�&
��9��
��
�����:�
��
��������
��
�������
���
6��
:8��
�8:����
�����9����
6��
%��
7������&
��
6�:����
����
� ���
&�;��
�������;���8&�
��
8�
�����9�8&�
����������&��
����8&
���x
&�&�
�����9����
6��
:�7
���&��
��
���������
���
�����
�x�
�&
"����
!�
�'
��
6��
�
���&��
�&�
���������
���
Jadg2iK
�����9����
���
�����
H�
�&
"""
%��������8�
�������&��
����7���
�
�����&
���/
:��;�����
������M��
��7��5
�
84
<
����9��8
�������
�
����
�
�����7&����
N�/
���
���������
��
�9������
�NN��
�
:��7��
�
��
���/
��9�8�
�
���
�����������8�
�
���
��R
<
���������
&������������
��������9������
��������
N�
���
����N��
��
��7��9�8�
���9�8�
�����
��������R
<
�8:���8
����&�
�8
N����
���������R
<
�N��&������8
���
����
������
�NN��
����/
�
�
�������
N����
���������
#�
���������
���������8�
������������
:8�
������
������
N�
�6�:���
��
�
��:�
��
��;�&��
N�
���
����N��
�
���5���6���
�7�9���
��� ��
�N/
N��
��
��
�9�����
:��7��
�
$=%!Zy[!Y\##zS
$=�!V#$L$
�
n2fb
{
?|b2}13
|gqf202bh
}qggd}b2qc
"?{_'
mm
`d}kcq3qrh
@d~2d� <
���� <
�q3
� <
�aaed
�
�
nb2gc201c
�
{ �
@2drdg
F
o
]1ab
|gqf202bh
}qggd}b2qc
�2bk
uqcd
a10|32cr
mm
{gq}
n{�.
F2}gq32bkqrg1|kh <
���H <
B
���� <
{
��H<���
�
F1egdg
� �
�11a
̀�
.2adc01cc
s
.~13e1b2qc
qi
1
i1ab
1cl
i3df2j3d
?{_
|1}�1rd
mm
?{`�nn�F?�
{gq}
n{�.
̂ A_Gn <
���x <
B
�DDH <
{
H��<H�D
H
_e2
� �
�1}k
]
> �
̂ ebb
n
db
13
�a
0qld3/j1adl
q|b2}13
|gqf202bh
}qggd}b2qc
gd1lh
iqg
01cei1}beg2cr�
nbelh
qc
����
e0
1cl
����E
e0
C@AF
`d}kcq3qrh
mm
{gq}
n{�.
F2}gq32bkqrg1|kh <
���� <
B
Hx�� <
{
x�<�E
�' :'
(��
E
%���9���8�
��
����
���
�����9�8�
6��8
�
���&8�����&
��
8�4
�
<
:�7
���&��
��
���������R
�
<
�
���&��
�&�
���������
���
Oadg2iO
(��
H
)������������
�����9�8�
6��
�
���&8�����&
��
8�
Serif Offset (nm)
–40 –20 0 20 40 60 80
Serif Offset (nm)
–40 –20 0 20 40 60 80
S
er
if
S
iz
e
(n
m
)
190
180
170
160
150
140
130
120
110
S
er
if
S
iz
e
(n
m
)
190
180
170
160
150
140
130
120
110
|