Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52809
record_format dspace
spelling irk-123456789-528092014-01-08T03:11:34Z Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Электронные средства: исследования, разработки На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. 2007 Article Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
spellingShingle Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
format Article
author Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_sort Родионов И.А., И.А.
title Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_short Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_fullStr Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full_unstemmed Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_sort коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809
citation_txt Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
first_indexed 2025-07-05T04:19:39Z
last_indexed 2025-07-05T04:19:39Z
_version_ 1836779233753432064
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ��������������� �� ��� ���� "#$$ %%� � ��&��' ������ � ���� ����������� �� ������ ��� (���� � � )������ )*�+ �& # , -��&��� ./01234 ilro@bk.ru %������ ����� ������� � ���5���6��� ����7���/ � �� �����&����� �� �����5��� ����������������� &�������&8 ����9�� � ��: 8� 9� � ������ +�/ ����� ��� &�;�� ��7���� 5 �� ��� �����8� 9�� � < �� ��7��:� �� � ����� �������� � �� ��������� ���/ �7���� �� =����� �:� � � 9�� � ����7�8��� �� 7�/ �8 < �&���� �������� ������� � � � ��� ����� ��7��:� 9���& ���6� ��5�8� � � ��:������ � ������9���� %���� �������� ���� � �� &����5��&� �������� < ������� ��7��:� 9���� ����� ���� � ���9��� ���� ��6�� ����9����� ���&�� 8 ">?@� ?@� ABC� BABC � � '� ������ �����57� � � ��::����� ��7��� � ����9����� ���&�� 8 :���� �8������ ����/ � "ABCD>�� BAE>�� FGD>H � � '� ����9���8� �����8 ���&�� �� �:I���� � � � :�:��� ��� $�/ ���57�� � �� ��78���&�� J����7���K ����� �����/ ���� ����� ��;�� 9���� �� ��5�� ����� ��� � ��/ :�� �������� " ��������9���� &����5'� �� � ��� / ������ � ����9����� � ���� ��9����� &���� &� L�;�� :�:��� ��� ��7��:� 8��� � ��� ������ / ��� ��������� (�7��:� �� ����:��� :�:��� ��� ��7&�;�� ��5�� ��� �9�� �� ��� ��7��:� 9����� �� � ��������� (�7��:� 9��� ������� � ������ ��/ :� 8� ���� �� ��� :���M�� &�������&8� 7���� ����/ ��9����� ����&� �8� � ��������� ��&�&� ��6��� ����� 7���9� �����&�� ��������� ������ �9�� �� � ����� �������� �������� =��&�� �� ��7��:� 8��/ � ������� ����� ������� � � �� ��8� ����8��� � ��7&�;��� � ��������� �� �������7������� ��7/ ��9�8� �������9����� ���� ������ � ������ � ��7/ ��9�8� ��������9����� ����� %���� ���������� :��5��� � � &�& � ��� ���:��/ ��&8& �9� 8�� 5 �� �9����� �NN�� 8� ��7�����M�� � ������ � ��:&������8� ��7&����� ����� ����� ����8 ����������M��� �7��9��� � ����� � ����/ � ���&�� � ��7&���&� ���&�� �� �� ���� ��� ���/ ������9����� O����8O � � �& ���9�� ��� ���� ��/ � ��� ������ �� � ��&����5���� ��7&��� P�Q =�M�� ��� ��� ����������5�� ��7��9�8� ���/ ��:�� ��7��� �M�� ������� ����� 5 � � ����84 < ���:�� ��������9����� ��;�&��R < �������� ��������� �� � ��� ����� ������� &�������& %���8� �����: ��� ����;� ��5�8� ��7��5 � 8 %����� �����7 ��������9����� ������ �� � ���� ����9��� ���8 ��� �7�:��;��� � ��M� ��7�� �� ��� ����� "����9��� �7�:��;��� �� N� ���7��/ L!((SLT$U !%�$VS=L$W ,XXSL�!Y -Z$[!=�$ %($ %(!SL�$(!Y\#$$ )$L(!=WS) ����� &����' � ������� "����9��� � ��� �� �� ���� ���'� &�;�� ����� 5 �8��� � ��:��&�& ��&�/ ���5��& ��7&��� �� N� �6�:���� �� ����9��� 7�/ ����8� ��7&���� �� ���� ��� #� ��� ��:� � � ��:/ &������8&� ��7&���&� � ����� � ��8& � ��9�� � �����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� �� "���� �' #� N� ����N� � � 9� ���� ����8 � � ��7��9� "��� ����� �������� � �� N� �6�:���� ��� � 5 ������/ ����� �&�� ��������8� ��&����5�8� ��7&��8' T�� ���5�8� ���������� � ��9��M�� ����&� ��& �����9��� � ��� ��8� �&�� :��56�� ��7&�� � ���� ������� :������ � ���� ���N�� ��7�� �� :����8� ���������� ��;� � ��M��8 �� J���:�����K � ���/ �8 %�� �&� �� �����9�8� � ��� �����������8� � ��� �� ���:����&8 ��7��9�8� ��;�&8 ��������/ 9����� �:��:� �� ����& �:��7�&� ���:����&� ��:� �:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� �� ���/ &� ���� ���� &�������&8� ��:� ����7��� � J ��/ ���K "�9��5 �9�8�' ���:�� ��������9����� ��;�/ &�� !:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� ��� ����� �������� ���� ���� &�������&8 ����7/ &�;�� �� ���� ��� %���:�� 5 ��������9����� ��/ ;�&8 < &�;��� � ����8� &� �� �����57�� � � 9�� / �8� ���9� �� �� � � �����&�9���� ���8����� � ��/ :�� :��56�� ���&���8� 7� �� � 9 � ��;� �������/ �&� � ������ � �����&������ �8��� Y ���� �����: < �������� ��������� �� � ��� ���/ �� ������� &�������& < �� � � ������8& � ��/ ���57�� � ���&� &����8&� ����7���� �� &� ����/ ������������� ����� ��� P�� �Q Y������� ������/ ��� �� � ��� ����� ������� ��7��� � 4 < �:����9� 5 7�����8� ����&� �8 ����9��&8� �� ���� ��� � ��� ��R < ���8�� 5 � �:��5��� 5 ��������9������ ���/ ����� "��'R �' :' (�� � %����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 � < ��� ����� ��������� �� N� �6�:����R � < ����� N� ���/ ����N��� �� N� ���7�� ����� &���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� < ���8�� 5 ������ �8���� ����8� ���� ����� �� ���� ���R < �����9� 5 �7 ����7���� ������� ����� � ���� � ��:� �� �% ��� ������ �8� �� �7���� Y������� ��������� &�;� ���M�� �� 5� �7&�/ �����& :�:��� �9�8� ���&�� ��R � � �& ���9�� :�:/ ��� ��� ���&�� �� ��7��:� 8��� � N�:�����/����7/ ���� ���& "���' � ��� ��� � � ��7��:� 9���& &��/ �����& Y ��8& ������ �& ������� ��������� �/ � � � �����57������ ��������7�������8� =\%(� ��/ ��8� ��7��� � �:��:� 8�� 5 �������� ���� ���� &�������&8 ������&� �7&�� �� � ��� �� � ��� � ��:����� &� ��������� ]A^ PHQ Y ������ � � ��&� ��5�� �7&�� �M���� �8��� � �� ����� �����������8� &� ���� � ����7���� �� L)!% =-$=� �� ��8� ��7��:� 8��� � ��� �����/ &����� ��������� ���������� 9 �:8 ������ 5 ��/ �����M�� ��7���� � ����� ���� ]A^ ���;�� �:��/ �� 5 �� �&� �7��������� &��6 �:����&�� &����5/ ��� ��� �&�� ����� ������� � �� ������������ � ������� ����7���� �� ���� ��� �&� ���;�� ��7��/ � 5 ����� � � �;� 8� ����� ������ 5 ����������/ �8� ���� ��������� ����� �� �������� ����7���� ��� �����9� ��������9�8� � ��8 �� ������� ����� ������ � �������� ����7���� �� L)!% =-$= ��/ ��7&�;�� :�7 &����������� �% � �����57������& �������8� ������&& _AC � ̀ _AC Y ������ ��:� � &8 ���8 ����5 �����57��� 5 �������8� �86� ���/ ���4 �� �����& � ��� :8�� ��������� &������������ � ���:�� �����7&���� N���� ���������� 7� �& �� ��7��5 � �& &����������� :8� �8:��� �����7�� � �� N���� ���������� � �� 7����6��M�& � ��� ��/ 7��5 � 8 &����������� :8�� ��������8 �������&��/ �& X����8 ��������� ���7���8 �����9� 5 ��7��/ �� � �����:� �� �� ���� ��� ���&�� �� ��7/ ��9��� ��� ��� �� � ��;� ��&��������� 5 �NN�� �����9��� �������&����8� 7� ����� � �� ����� �:��� � ���7�� ���� 9 � &�;� ������ � � �NN�� � �����9��� ������� �����7&�;�8& � �9��&� �7&���/ ��� ���� ��9����� ����&� ��� ���7�� ���� � � Y �����& ���:��;���� �8��� � �� ���� N���� ���/ ������4 �' �7&������ ��&����5���� ��7&��� �� N� �6�:/ ���� �� ����9���� ������� �&�� ��������9����& �����& �� ������� � N� ��� ����N�� � ������� "�21a� ���� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� ����� "1aa2ab 32cd ��� 1ef2321gh� ��� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� N���� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dgkd1l "��� �� ���' (���&� ��& �������8 ���� �� ���� �86�����/ 9������8� N���� ��������� ^21a \����7 ������ ��7&���� ����������� "��� �����9�8�� �� � � &������' � �������� ����7���/ � �� ��7��� � ����� 5 �8��� � �&� ����& ���;�� :8 5 ��&����5�8� ��7&�� ���������� �� N� �6�:/ ����� 9 �:8 �� ���� ��� ����9��� 7�����8� ��&�/ ���5�8� ��7&�� Aaa2ab 32cd ������� ��5�8� ����� ���� � � 9 �/ :8 ��7�� 5 �NN�� ��� �����������8� � ��� �� �� �����9���� ���������� (�7��9� � �����:� �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� ����������� ��7����/ � � ��7��5 � � ��N������ ��9�� ��� � �� �������� ������������ � ��7��5 � � � ��� ��� �����������8� � ��� ��8 7����9���� � :��56�� ��7�� �������/ ��5�8� ����� �&�� ��7&�� �m�<�m� � ����� ��� ���&8 [� �9� � ��� � � ����� �� �����:� 8��� � �� ���� ���� �� ��N����� ��9�� ��� � �� ��� ��� ;� ��������� R � ��7��5 � � �� ���� ��� ����9�� � ���/ ��9�8� ���������� �&��M�� ��7&���8� ����� ���/ � ��� ��� � ��� �������������� ndg2i L�� �7��� ��� ����������� �������;���8� ��� �� &8& ����&� �� �����:� 8��� � �� ���� �/ ��� ����� � ��� �NN�� ��������� L�� ����7��� �� ���� �� o/�:��7�� N����� ����;�� � 4 ��&�&� ��������� ������ ��;� ��������� �����9������ ����������� �� � ����8 J� ��8 ���K ����� V �:8 �7:�;� 5 � ��� �NN�� �� ����� ����M��� ���� N�/ ���8 ��������� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dg/ kd1l� pqra � � �' :' ^21a Aaa2ab 32cd "1ef2321gh' �' �'ndg2i Acb2 adg2i ndg2i �' �' s100dgkd1l ^1ggd3 (�� � X����8 ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � (�� � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� Y ��&��� ��7��:� �� ��������9������ ������/ �� �� ����� ��� ���&� ���E &�& :8� �8���/ ��� � � ��:� �� ��7��:� �� ���8� ��������9����� ��������� N� ��� ����N�� *������ ���:����� 5� ����8� ��������� �� � � ��������� ����� :��/ 7�� 5 ������ �8� ��7&�;��� �� �����57��&��� �:�/ �������� � �����8� ����&� ��� � ��� ��� ����9��/ &8� � ��� �9�8� ��� � Y ��9�� �� N� ���7�� � �8/ ������ ��7��6��� :8�� �8:���� ��&��� �� N� �/ ��7�� �� G3bg1/2 ��� ��&����� @qk0ts11a �� ��&/ �������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � :8�� ���/ ������ &������������ �������� N� ��� ����N�� #� ���� ����7�� ���&�� ����9���8� ��7��5 � �� �� � ���& &����������� �����9�8� 6�� � ���&8��/ ���& �� 8� )������������ ���&�� �� ��������� ��� Jadg2iK �� �����9�8� 6�� ��&����5�8& ��7&���& ���H &�& � ���&8�����& �� 8� ����7���� 9 � �� �&��5�8� ��7/ &�� ndg2i a2udv��� �&� ndg2i qiiadbv�� �& !����� �NN�� ����� � ���&�� �&8� &� ���� ���/ ������ < �M� ���� :��56� &� �&� �9���� 7���9�� � ����7&�;�� ����&/��:� �:��7�& ������ � ����/ ����� 7������ �������8� � ��� �� �� � ��� ���&�� ����9���8&� �� ���� ��� Y�7&�;�8&� &� ���&� ������ �NN�� ����� � &��� ���;� 54 < �� �9����� &� ��8 �������� R < &� �&� �9����� �����7 ����9���8� � ��� �� #����&��� � ���9�� �����7� o/�:��7���� ������/ ���� 7� �:��7 6��8 &�;�� ���� 5 ����� M�� ���/ ������� �� ���� � ��� "�w�'λ � ���� ������ ���/ ��� �� ��& �� &8�� ����9�& �� �� ������9���� �:/ ��7 o/����:���� ���������� )���&�& ��7��� � ���/ M��� �:��7� � ���M��� ����9����� � ��� ��8 "��/ ���� &�;�� ���9� � 5� �7 � �� �����' � ��� ���/ :���� �NN�� ���8� ��7��5 � (���&� ����� ��� ����� ������ �NN�� ����� � ������� N���� ��������� �� �9������ �NN�� � :��/ 7�� � �8���� 7� ��&�� ��� � M�� � � 5� L�� ���/ �& ��9�� �� �����:� �� �������� �� ������� ��� 6�� :8�� �8:���� �����9���� 6�� %�� 7������& �� 6�:���� ���� � ��� &�;�� �������;���8&� �� 8� �����9�8&� ����������&�� ����8& ���x &�&� �����9���� 6�� :�7 ���&�� �� ��������� ��� ����� �x� �& "���� !� �' �� 6�� � ���&�� �&� ��������� ��� Jadg2iK �����9���� ��� ����� H� �& """ %��������8� �������&�� ����7��� � �����& ���/ :��;����� ������M�� ��7��5 � 84 < ����9��8 ������� � ���� � �����7&���� N�/ ��� ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� ��R < ��������� &������������ ��������9������ �������� N� ��� ����N�� �� ��7��9�8� ���9�8� ����� ��������R < �8:���8 ����&� �8 N���� ���������R < �N��&������8 ��� ���� ������ �NN�� ����/ � � ������� N���� ��������� #� ��������� ���������8� ������������ :8� ������ ������ N� �6�:��� �� � ��:� �� ��;�&�� N� ��� ����N�� � ���5���6��� �7�9��� ��� �� �N/ N�� �� �� �9����� :��7�� � $=%!Zy[!Y\##zS $=�!V#$L$ � n2fb { ?|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc "?{_' mm `d}kcq3qrh @d~2d� < ���� < �q3 � < �aaed � � nb2gc201c � { � @2drdg F o ]1ab |gqf202bh }qggd}b2qc �2bk uqcd a10|32cr mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���H < B ���� < { ��H<��� � F1egdg � � �11a ̀� .2adc01cc s .~13e1b2qc qi 1 i1ab 1cl i3df2j3d ?{_ |1}�1rd mm ?{`�nn�F?� {gq} n{�. ̂ A_Gn < ���x < B �DDH < { H��<H�D H _e2 � � �1}k ] > � ̂ ebb n db 13 �a 0qld3/j1adl q|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc gd1lh iqg 01cei1}beg2cr� nbelh qc ���� e0 1cl ����E e0 C@AF `d}kcq3qrh mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���� < B Hx�� < { x�<�E �' :' (�� E %���9���8� �� ���� ��� �����9�8� 6��8 � ���&8�����& �� 8�4 � < :�7 ���&�� �� ���������R � < � ���&�� �&� ��������� ��� Oadg2iO (�� H )������������ �����9�8� 6�� � ���&8�����& �� 8� Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110