Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции....
Збережено в:
Дата: | 2007 |
---|---|
Автор: | |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52816 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-528162014-01-08T03:11:13Z Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства Шестакова, Т.В. Технологические процессы и оборудование Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции. 2007 Article Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Шестакова, Т.В. Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции. |
format |
Article |
author |
Шестакова, Т.В. |
author_facet |
Шестакова, Т.В. |
author_sort |
Шестакова, Т.В. |
title |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
title_short |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
title_full |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
title_fullStr |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
title_full_unstemmed |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
title_sort |
повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2007 |
topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816 |
citation_txt |
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT šestakovatv povyšeniekačestvaizdelijélektronnojtehnikiputemmodelirovaniâstadijihproizvodstva |
first_indexed |
2025-07-05T04:20:02Z |
last_indexed |
2025-07-05T04:20:02Z |
_version_ |
1836779258684375040 |
fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��
�
���
������
�
��������
� !��"# !#�
���$
�!
%������
��������������� ��
��
�����
&'(%
)*�
�����)�
�!
+����,
������������������������
+�������
�!
-�.�����
�����/�����
��������
�
0123456
7!89873:;<3=2345!>?
�������������������� ���� ���!� ����
������"��!�#�$����#��%��&������'#�����
!���������#��!(�)"�������"�����*�!����
�"� ���!(��#�� %���'�� ����� �� &�!(+�%��
�),����� ��$������ #�����-�%�� *�&���
���������/�����
�������
&�
,
�@��
������
��1
�����A�B�
C�������C
&��
,
�� �
�
C����D��1
���BC
�EF��
�C
��
���G���
�
���
����
���
���1
���
�@��C��� @��!
H��
�
�����
��
�������
��C��1
���
��
�
��
D���������A���
���G���
�
�E�������1
���
�� ������
���B�
��
�B�
���E��C
�
�E���
�
��1
�B.���
��/��
��
�
����G���
�
�@�����
C��������1
������!
����
@��/�
��A���
�����/����
�B�����
*+I
��C�@�
�
������
��A��
��@��C
������
�C
�B����
����B�!
(��/����
�
���
�� �
�
�������.���
��
���
��C��
���������
�@��
������
C�������C�
��
�
C�
����
�
�����
�
���
���
�
��������� !
J
�
�
A�
����C�
�����
�
C�
�����
�����������
�(
����@����
��
����
�����
*+I
�
���A�
���B.�1
��
��/��
��
�@�����
����
������
������
��������1
�
�����
�
��������
��
����@����
��!
��������������� !�"
J
����
�
����
�/���
�
�(
�
����
���
����
��1
���
���
���
�������CB�
����/��
�
������ �
������
��#��%���'�� ����
*+I
���E����
�������
���BC
��
��.���
���@���B�
@���/
�� �
�
C�
�C�
���1�
�1
��
�/�����
�����������
���/����1�����
�������
�������!
%EF��
���
�
�C
����C�
�����
�
���
����1
���
���
�C�
�@��C�����
��
�����B�
����C�
���
�
����
����
�B������
�������
D��������
���/�C
�
���
���
�
�
����A
�@��C��� @�
����C�
���
�
�E1
K�C
���/��
���@���
�B
&C����A
L/������
K���M,!
H�@��A
�
�C
�����@����
�
���
�������
�� �
�
��1
��/����
��
������
�������C��
��A�B�
����B�
C�
�1
C�
�/�����
C������
���������
�
����
����������1
�B�
����������
����B���K��
C�����@C
�@��C����1
�
��
�����B�
�
�B����B�
����C�
���!
(���/��CB�
C�
�C�
�/�����
C�����
�����A@��
�
���
��
����1
���
���
���
� ��
�EF��
���
��
�
��
������@���1
����
��
�������� �
�B �����
��������
�
������
�
�@C�����
�
��@��
� !
J
����
������
���CB.������
�
��������
����1
������B�
��B
�����A@�����
�
���
��������
������
C������������
�
������ �
��%���)���#��%���'�� �
�������#��&��!��
��
����
�/�
B����
EB
�����D���
(%JNOP'*P
-QRPI�JQ
*S�PT*U
VTP-�H%''%U
�PW'*-*
(X�P+
+%�PT*H%JQ'*Y
I�Q�*U
*W
(H%*SJ%�I�JQ
�E���
����B��
�
��G�
�
���
���B�
���E�����
�
�
���G���
A
��������CB�
�EF��
���
�����
��� �
��1
E��
���A�@���
���E��C�!
-��
�@���
���
�������C��
C�G�
EB
A
�������A1
��
�����������
&���
����
��@B���
������)�,�
�
C�G�
EB
A
��.A
�@C������C
@��/����
D��
����
���
��@��/�B�
���
� �� �
�EF��
�
&%������)-�.��%����
����,!
J
��������C
���/��
����/����
��D��C����
��
��E��
E��A.��
@�
��
��
����������
��B
���
!
�!
���K��
�� �
�
�
������B���C
����@����
�����C
������
��
�
@���C��
E��A.�
���C���!
%���C
�@
��CB�
�������
������B�
�
�����
�@���
1
�B�
C�
����
���/�
�
�����������B�
C������
�
������ �
����������
�������C��
�
�� �
�
�!�����
$����-����� �������(,�"���� �����
&����,
Z#�
�!
# #[!
%�����
��
�E�����
� ��C
�����
�
���!
-��
�@���
���
�����
��
��D��C�����
����/�����
���
��1
���@����
����������
�������C��
��
�
��/��
�
�
�����
�
��D��C����
��
������
������
/
�
�
����/1
��C
�
���
���@B���
�
��
�/���
�
�
�DD��
�����
�
����/�
�����
C�
�C�
�/�����
C�����!
����
����.�1
���
�����
�
��
������A���
��
��������
��@�����C�1
�
��
���C������
�
��E���
��������
�E���B
����B�
�������
�
�C��
/
�
���DD�����
B
E���K��
C�����
�� �
�
�C�.���BC�
������C��
�
��E��
�@C���1
���
D��CB
��������
��E��
�����/�
�
����
���D1
D�����
��
@�����!
-��C�
����
����@C�G��
�����1
����
�
�
��
�/�����
��������
������
���
�
����
C�1
�����
&�����C���
��
���
����
\�.���,�
��
��D��1
C����
�
�
�����
��� ��
��G����
D��
���
��
����1
���
D�������
�C��
�
����������B�
�����E�
��
�B1
/����
��A���
��������B
���
��@���
����
/����
��1
������CB�
D��
����!
J��
�
�
���G��
�/���
A
���1
/�
��
�
�����
�����
A
�E��E�
��
��D��C����
�
��1
����/����
�
���C
�E��@�C�
��@C�G���
A
���C���1
��
C�
���
���������
�����
�
����@����
����B�
������ �!
(��E��C�
����/���
������
�B�
C�
�C�
�/�����
C������
�
�B ������C
�
�����
��� ��
��
�������
D������
��G����
����C�
�����C���
D��
���
�
�
1
���A���
�
���������
�
��.�
A
�
��C�KA�
�������A1
����
C�
���
"
���� �� ������(,�"� ��� ������ �
����#���!�'�&��-���"� �)"� ���)"
&����,
Z��
�[!
J
�
��/��
�
������/�������
C�
��
+'-%
������1
C�
�����
���������
��������
��A���
��
�������@�1
���
������B�
����B��
/
�
��@��� �
����/�
A
��@�1
����CB�
������
���DD�����
��
���������
��
���C�
�
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
���E����CBC�
���������C�
�
�
��
�/������
�����1
@�
&��������
��
@��/�C��
A�
����������
A�
������
1
���
A,!
V
�
�E�
�
��A�
��
�
�E����/����
�B�����
�/���
A�
��@��.��K��
�����E���
A
�
�DD��
��1
���
A
C�
���
�
������ �
����A����
����@����
��
C�������
���������!
��#$�%� ����������� !�"
*����������
����������A
�
������A��
�
����!
%���
�
A
���A
��������/�����
�������
�@��
����1
��
*+I
�
����C
"
����
�/����
���B�����C�
@�1
��/�!
(��
�C�
��
�����C
�
���
CB
������/����A
��.A
/��
A�
���G���
����@����
������
�����
��
�B����
��
����
��E������
��CB�
E��A.��
������
E�����
�
�C�����
�(
D��C�������
�
���
��B
*+I
��
����1
��
����
�����!
V
�
�������
���
��
�@
C��G��
��
���������
��
��
��B�
����
���
���
��
D��
����
��@��/���
D�@�/�����
������B
�
��@��/����
�����1
���
��� �����
&����
���
�B��
���/���B��
��
��1
C���������B�
�
!
�!,
��
���G���
C�������������
�
���
����
�@��C��� @��!
J
��/��
��
�������
D������
C�G��
�BE���
A
��@1
��/�B�
����C�
�B
�(
�
@�����C��
�
�
����
�
����1
�
������������!
]�������
/
�EB
����C�
�
�� ��
��C������BC
�B����BC
����@�
���C
��/��
��
&�
�,
��
�����C
������!
'����C���
�
�
C�G�
EB
A
���1
���
�B����
����B�
�����
�(
���
�
���A�B�
���
���1
�����!
J
����C�
�����C�C
������������
�
��/��
��
J(-
EB��
�BE����
�)"� ���� ��%��/����� !�#�$��
���#��0�*!�0�
�� �K���
��C��������
�������
���
��C���
�(�
��
�
���
���������!
-��C�
����
�C����
��
�
�C�
����C�
��
�C���
���E��A.��
������
E����
��
�B����!
]�����
���G���
A
�
������������
����E�B�
���1
������
���
��
�
��
��@B���C�C
L�����
��
��@1
C�����
�
����
����
��M!
����
�
�C�
/
�
��
�����1
� .���
���A
��
��K��
���
�DD��
���B�
C�
����
����/���
C�
�C�
�/�����
C������
�EF��
���
�
��1
��B�
����
���
���
���
�
�
�
��
��
�����B�
D��1
����!
Q
�������
����@����
��
*+I�
���
�
C�/����A
�B.��
�C����
����BC
�
�� �
� !
(��
�C�
���E��1
��CBC
������K�C
�
���C
EB��
�����K����
�����1
����
������
�����B�
D��
����
�
��
�������C
�
��C
��.A
���A������
���K��!
I
�
��
���A��
�����
�@
��������
D��C�������
������B�
����/�����
�����
�
�@������
�
��G�
��1
������/�����
�
����
�@��
������
�������B�
�
��1
���B�
���C��
��
��
����
�����
EB��
���
�����
�
���
����
���C�
D��C�������
J(-!
'�
��G��C
������
�������/�����
���CB
������������A
����1
����/�����
D��
��B
��������
&
�C����
����
������
��@���
���
��A���
A
���������
�
!
�!,�
��
������1
K�C
������
"
����
��D�@�/�����
����C�
�B
&&'
,
�
���
��B
C�������C
&���������
���
�����
�������
������
��
D�@�/�����
��@C��B
�
��!,�
@�
�C
�������1
��
V\(
��C�����
��
*+I
&���DD�����
B
������� �
�������
�
�B������
���� G����
������
O�
���
��1
���
�������
���
������
���
�
��!,!
'�
��C�C
����1
��C
������
��������
���������A
�
�
�/�����
����1
C�
�B
"
�B������
���� G����
����/������
)��� )
�
����/�����
)������B)�
�BE����B�
�
��/��
��
J(-
����
�����
*+I!
(��
�
�C
�/�
B�����A
��@C�G1
���
A
�@C�����
�
���
���
����C�
�����CB�
D��1
����
�
����C�
���
�
����A��C
����@����
��!
(��
������
�
���
�����
���CB
@��/�
��A��
�C��A.���
��������������
A
�
����
�D������
�@�1
�C��� @��
����C�
����
������
�
�
�� @�
C���
EB
A
�K�
���
�
�/��
���G�BC�
&���������K�C�� �
�E1
��
�BC�
�
!
�!,�
/
�
@�
���� �
���A���.��
C�����1
�������!
J
�
�C
���/��
�������E��@��
������A@���
A1
�
�������C�
�� @���BC
�
�������������C
����C�
1
����
!
�!
�B�������C
�����B
D��
����
�
����
����1
��
�E�EK������
D��
���!
H����@��
�
�
������
��
��@B���CB�
C�
��
�����!�&����)"�%!��
Z �
�!
^$[�
��������B�
��
��������G�����
/
�
�@C�� �CB�
��1
��C�
�B
���E����
���A��
����������
����
�
���1
��C
�
�C
���/���
�����
���
���A��
@����
�
����1
��
�
���
G�
D��
���!
V
�
��������G����
�����C��
�
@�
��������
��1
��
�@��
�
����@����
�
��@E�����
����
�@C�� �CB�
����C�
���
��
����
�����B1��� �B�
/
�
����C�
�B�
��������G�K��
�����
�������
�
����
���C
�CB���
���A��
����������
C�G��
��E���
�
����C�
�B�
���1
�����G�K��
��@�BC
������C�
����������
�
����1
��A��
���E�!
(��
�
�C
C�
����
������ ���
����E��1
@��
�
�
����
��B�
���D
�
�/�
�C
��@���
���
���D1
D�����
��
������ ���
C�G��
����C�
��C�!
\���C��
�����
���D�
�����
�����
��
(��$!)�!
J����
EB��
����C�
����
�_
����C�
����
�@
��
��B�
�����
��@1
E����
����/����A
#�
��� �!
(��
�BE���
����������
@��/���
���DD�����
�
������ ���
1�����
���
��@E�����
���E����C�
�/�
B1
��
A
���
�
�
��
�/������
��
�
D�@�/�����
�CB��
��1
������C��
�@��C��� @�!
%
�E���
�
��G���
��� �B
��
����C�
�����
���
���
&��@C�G���
���1
�
��
���,�
����/��C
������
��D��C�
���B�
����C�
����
��
�1
�B�
�
���A���.�C
�����
�
C�
�C�
�/�����
C����A!
'�
�
�C
�
��
�����K���
D��
������
����
����
��
@����.��!
I�����K�C
�
���C
�����������
�� �
�
����1
�������
C�
�C�
�/�����
C�����
@�����C��
�
J(-
�
����C�
����
�B �����B�
��
����B��K�C
�
���!
+�
���C
+'-%
EB��
����/��B
C������
����
�@
��
��B�
�C��
������K��
���6
`#�
`_ `�
`
`�
`##
`�
`#
`^
`�
`$
`#�
`#�
��^^
��^_
��^
����
��^�
aaa aaa ab b
ba baa
1�����c���
��� ���
����
\���C��
���D�
������ �����B�
��� �
&�
��� �,
�� � ����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
2�B�&�,c #^��d���$�3##d#�^��3�d#��^ 3#e
e����3�d�����3 �
(��
�
�C
EB��
��E�����B
���
D��C��A�B�
���1
�����B
�
�
��
�/������
�����@��
�
�C
/����
���1
�����
��
@��/�C��
A
���DD�����
��
C�����
�
��
����1
��
���
�!
J
C����A
��.��
��.A
���A������
���K��
D��
��B�
�B �����B�
��
���
����
I
A����
�
Z��
�!
��#[!
'�
�
�
��
�@��/��
�
/
�
��
��A�B�
D��
��B�
��
��.��.��
�
C����A�
��
��� �
��
�������
D���1
���!
(���
�
��
��� ���
����@��
���E��
��
D���
��
��.���
D��
�����
���
�C�
�
�����C
#"�f
�C�
C�G��
�����E��/A!
(�
����/�����
C�����
C�G��
������@�����
A
���������
2�B�&�,
�
@�����C��
�
�
�@C�����
@��1
/����
�����B�
D��
����
��
�C
����
������
�
����1
�����
������
�B�
@��/����
45!
(��/�C
���
����
��C
���������
�������
���
�� �
�
��
/
�
@��/���
D��
����
����
��� �
�
�
��
����A�B�
��������
�@1
C����� �
E�@
�����1��E�
����E��@�������
/
�
�/��A
���E��
�
������ �
����A����
����@����
��!
-��C�
����
�
��C�KA�
��������
��.��
�
�
�E��
��
@�1
��/�
"
�����������
����/��
D��
����
45
��
����1
/���
��E��C���
@��/���
�������
D������!
(����
�������
�B.�
C����A
����B���
�@��C�1
�� @A
����C�
���
�������
�������
��������!
J�.��1
.��
�
���
����C�
�B�
�
����
�/����A�
D��C����
�
���
��� �K�C�
��G����
����� �
!
�!
D��
���C�
��1
������/�����
��G�C��!
��
�
��
����C�
���
��G�
EB��
����/�
��B
C�
�C�
�/�����
C������
����B��1
�K��
��� ���
��@E����
��������/�����
��G�C��
��@��/�B�
��������
��
����C�
�B
C�������C
��
���1
�
����!
(�
C�����
��
�C
������
������
����C�
���
��G�C��
&�
��������
�����
�CB�
@��/����,
C�G��
�������
�����
A
��/��
��
��
����
����������
!
�!
�����/�
A
����/��
��
C�������C
�
��E��CBC�
��1
���
����
���C�!
Q������/�B�
�����������
������
�������
A
��
��@��/�B�
����� �
D��C�������
�B�������
����1
@�
��
��/��
��
&��������
�
���
�����
���C�,!
(��
�
�C
��
����C
������
��������
����C�
�
C�G�
�B1
�
���
A
�
��/��
��
�������
D�������
�
��
�����C
"
�
��/��
��
��������
D��
���!
����C
�E��@�C�
C�G1
��
�������
�����
A
���
L�@���
C��
�M
���G����
C��1
��D��
������
��������!
* )�+,�!��
(��������B�
C�
��B
�
��@��A
�
B
������������
����@B���
�
������A��
�DD��
����
C�G��
���C��
A
�����C���B�
C�
��B
���/�B�
������������
�
����1
�� �
���G�B�
C����D��
���B�
����������
����C
�� �
�
��������/�����
�������
�@��
������
��1
�����A�B�
C�������C!
J
���
� K��
���C
����
���1
����
��
��.
�@�� ��
�� �
�
�����
����BC
�DD��1
���BC
�����
��C
�@�/���
�������C������
��� 1
��
C��G��
��
D��
�����
���
���A���
��
�
���E�
����
���K��
��
�B������
����@�
��A
��/��
��
���1
������!
(�
����/���BC
C�
�C�
�/����C
C���� C
C�G��
�����
A
�B���B
�
����
��A��
���/��
�� ���1
��
�@�����
��@����
��/��
���
����
A
����C����1
���
��
��
�C�@����
��������/�����
��G�C��
���1
���
�B�
��������
���������
�����
�
����@����
���1
�B�
������ �!
J��������
����/���B�
��@��A
�
��
��1
@��� �
�����/�
A
�B���
����B�
�@�����!
I�����
��G�
�
C�
�
A�
/
�
C�
�C�
�/�����
C�1
����
�������
���
����������B
��.A
��
��
���1
�������
�
������ �
��
��B�
�
������A
�������C��1
B
��
��
�����������!
(��
�C�
�
���/��
�����1��E�
�@C������
�
����
������
�@�����
���
���������
��
�@��
������
C�
�C�
�/�����
C�����
������
������1
�����
A�
�������
A
�������
��A�B�
�������C��
B
�
@�����
����/�
B��
A
���DD�����
B
C������!
�����
C�
�����
������������
�����@�����
�
����
����
�
��������B�
������CC�
��@��� �K��
�����
�����
�
������ �
����A����
����@����
��
���1
�@����
A
���E����CB�
���/�
B
��
��@��A
�
�C
���
1
���A�B�
�@C������
�
����
��������/������
���1
�����!
*I(%TgS%JQ''NP
*I�%R'*-*
#!
Q����
h!
(!�
+������
P!
J!�
]���������
h!
J!
(��������1
���
�������C��
�
���
������
��
�C��A�B�
�������!"
+!6
'�1
����
#^�$!
�!
������
h!
Q!�
O��
�����
�!
J!
+�
��
C�����������
��1
������/�����
���������
���������
����@����
��
ii
���������
�
����
����������
�
����
������
������
���!"
�
j#^^�i
#j#^^�!"
I!
��"��!
�!
kl9873m;<3
n!
o37l92374:35
2;p954qr
4q
4q79r>379p
:4>:?47
79:lq;5;r498
ii
aq79>q!
s;qt!
;q
u?7;2374;q�
v?3547w
3qp
n9874qr�
x;y;74:8
uzvn1x
����
&n{0nu,!"
s5?|1}3~;:3�
x;23q43!"
����!"
n!
a!"
�!
�� !
!
���G����
]!
J!
+�
��B
������
�
������@�������
��/�1
�
��!"
+!6
H����
�
�� @A�
#^_�!
�!
+�
�����A����
Q!
-!
�������
�
�
��
�/�����
�B/����1
���!"
+!6
'�����
#^�#!
���
2�B�&�,
"
3#
"
4
"
4�
"
4�
"
4##
"
�B������
���� G����
����/������
)��� )�
���������
���
�����
�������
���B
���
��� �
�
�
�/�����
���DD�����
�������
���@��
����
���������
���
�����
�������
�C�
����
�B������
���� G����
�����
O�
��
��
����
�����
�����
�������
��
����
����!
|