Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства

Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автор: Шестакова, Т.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52816
record_format dspace
spelling irk-123456789-528162014-01-08T03:11:13Z Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства Шестакова, Т.В. Технологические процессы и оборудование Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции. 2007 Article Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Шестакова, Т.В.
Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции.
format Article
author Шестакова, Т.В.
author_facet Шестакова, Т.В.
author_sort Шестакова, Т.В.
title Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
title_short Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
title_full Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
title_fullStr Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
title_full_unstemmed Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
title_sort повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52816
citation_txt Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства / Т.В. Шестакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 53-55. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT šestakovatv povyšeniekačestvaizdelijélektronnojtehnikiputemmodelirovaniâstadijihproizvodstva
first_indexed 2025-07-05T04:20:02Z
last_indexed 2025-07-05T04:20:02Z
_version_ 1836779258684375040
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �� � ��� ������ � �������� � !��"# !#� ���$ �! %������ ��������������� �� �� ����� &'(% )*� �����)� �! +����, ������������������������ +������� �! -�.����� �����/����� �������� � 0123456 7!89873:;<3=2345!>? �������������������� ���� ���!� ���� ������"��!�#�$����#��%��&������'#����� !���������#��!(�)"�������"�����*�!���� �"� ���!(��#�� %���'�� ����� �� &�!(+�%�� �),����� ��$������ #�����-�%�� *�&��� ���������/����� ������� &� , �@�� ������ ��1 �����A�B� C�������C &�� , �� � � C����D��1 ���BC �EF�� �C �� ���G��� � ��� ���� ��� ���1 ��� �@��C��� @��! H�� � ����� �� ������� ��C��1 ��� �� � �� D���������A��� ���G��� � �E�������1 ��� �� ������ ���B� �� �B� ���E��C � �E��� � ��1 �B.��� ��/�� �� � ����G��� � �@����� C��������1 ������! ���� @��/� ��A��� �����/���� �B����� *+I ��C�@� � ������ ��A�� ��@��C ������ �C �B���� ����B�! (��/���� � ��� �� � � �������.��� �� ��� ��C�� ��������� �@�� ������ C�������C� �� � C� ���� � ����� � ��� ��� � ��������� ! J � � A� ����C� ����� � C� ����� ����������� �( ����@���� �� ���� ����� *+I � ���A� ���B.�1 �� ��/�� �� �@����� ���� ������ ������ ��������1 � ����� � �������� �� ����@���� ��! ��������������� !�" J ���� � ���� �/��� � �( � ���� ��� ���� ��1 ��� ��� ��� �������CB� ����/�� � ������ � ������ ��#��%���'�� ���� *+I ���E���� ������� ���BC �� ��.��� ���@���B� @���/ �� � � C� �C� ���1� �1 �� �/����� ����������� ���/����1����� ������� �������! %EF�� ��� � �C ����C� ����� � ��� ����1 ��� ��� �C� �@��C����� �� �����B� ����C� ��� � ���� ���� �B������ ������� D�������� ���/�C � ��� ��� � � ����A �@��C��� @� ����C� ��� � �E1 K�C ���/�� ���@��� �B &C����A L/������ K���M,! H�@��A � �C �����@���� � ��� ������� �� � � ��1 ��/���� �� ������ �������C�� ��A�B� ����B� C� �1 C� �/����� C������ ��������� � ���� ����������1 �B� ���������� ����B���K�� C�����@C �@��C����1 � �� �����B� � �B����B� ����C� ���! (���/��CB� C� �C� �/����� C����� �����A@�� � ��� �� ����1 ��� ��� ��� � �� �EF�� ��� �� � �� ������@���1 ���� �� �������� � �B ����� �������� � ������ � �@C����� � ��@�� � ! J ���� ������ ���CB.������ � �������� ����1 ������B� ��B �����A@����� � ��� �������� ������ C������������ � ������ � ��%���)���#��%���'�� � �������#��&��!�� �� ���� �/� B���� EB �����D��� (%JNOP'*P -QRPI�JQ *S�PT*U VTP-�H%''%U �PW'*-* (X�P+ +%�PT*H%JQ'*Y I�Q�*U *W (H%*SJ%�I�JQ �E��� ����B�� � ��G� � ��� ���B� ���E����� � � ���G��� A ��������CB� �EF�� ��� ����� ��� � ��1 E�� ���A�@��� ���E��C�! -�� �@��� ��� �������C�� C�G� EB A �������A1 �� ����������� &��� ���� ��@B��� ������)�,� � C�G� EB A ��.A �@C������C @��/���� D�� ���� ��� ��@��/�B� ��� � �� � �EF�� � &%������)-�.��%���� ����,! J ��������C ���/�� ����/���� ��D��C���� �� ��E�� E��A.�� @� �� �� ���������� ��B ��� ! �! ���K�� �� � � � ������B���C ����@���� �����C ������ �� � @���C�� E��A.� ���C���! %���C �@ ��CB� ������� ������B� � ����� �@��� 1 �B� C� ���� ���/� � �����������B� C������ � ������ � ���������� �������C�� � �� � � �!����� $����-����� �������(,�"���� ����� &����, Z#� �! # #[! %����� �� �E����� � ��C ����� � ���! -�� �@��� ��� ����� �� ��D��C����� ����/����� ��� ��1 ���@���� ���������� �������C�� �� � ��/�� � � ����� � ��D��C���� �� ������ ������ / � � ����/1 ��C � ��� ���@B��� � �� �/��� � � �DD�� ����� � ����/� ����� C� �C� �/����� C�����! ���� ����.�1 ��� ����� � �� ������A��� �� �������� ��@�����C�1 � �� ���C������ � ��E��� �������� �E���B ����B� ������� � �C�� / � ���DD����� B E���K�� C����� �� � � �C�.���BC� ������C�� � ��E�� �@C���1 ��� D��CB �������� ��E�� �����/� � ���� ���D1 D����� �� @�����! -��C� ���� ����@C�G�� �����1 ���� � � �� �/����� �������� ������ ��� � ���� C�1 ����� &�����C��� �� ��� ���� \�.���,� �� ��D��1 C���� � � ����� ��� �� ��G���� D�� ��� �� ����1 ��� D������� �C�� � ����������B� �����E� �� �B1 /���� ��A��� ��������B ��� ��@��� ���� /���� ��1 ������CB� D�� ����! J�� � � ���G�� �/��� A ���1 /� �� � ����� ����� A �E��E� �� ��D��C���� � ��1 ����/���� � ���C �E��@�C� ��@C�G��� A ���C���1 �� C� ��� ��������� ����� � ����@���� ����B� ������ �! (��E��C� ����/��� ������ �B� C� �C� �/����� C������ � �B ������C � ����� ��� �� �� ������� D������ ��G���� ����C� �����C��� D�� ��� � � 1 ���A��� � ��������� � ��.� A � ��C�KA� �������A1 ���� C� ��� " ���� �� ������(,�"� ��� ������ � ����#���!�'�&��-���"� �)"� ���)" &����, Z�� �[! J � ��/�� � ������/������� C� �� +'-% ������1 C� ����� ��������� �������� ��A��� �� �������@�1 ��� ������B� ����B�� / � ��@��� � ����/� A ��@�1 ����CB� ������ ���DD����� �� ��������� �� ���C� � ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ���E����CBC� ���������C� � � �� �/������ �����1 @� &�������� �� @��/�C�� A� ���������� A� ������ 1 ��� A,! V � �E� � ��A� �� � �E����/���� �B����� �/��� A� ��@��.��K�� �����E��� A � �DD�� ��1 ��� A C� ��� � ������ � ����A���� ����@���� �� C������� ���������! ��#$�%� ����������� !�" *���������� ����������A � ������A�� � ����! %��� � A ���A ��������/����� ������� �@�� ����1 �� *+I � ����C " ���� �/���� ���B�����C� @�1 ��/�! (�� �C� �� �����C � ��� CB ������/����A ��.A /�� A� ���G��� ����@���� ������ ����� �� �B���� �� ���� ��E������ ��CB� E��A.�� ������ E����� � �C����� �( D��C������� � ��� ��B *+I �� ����1 �� ���� �����! V � ������� ��� �� �@ C��G�� �� ��������� �� �� ��B� ���� ��� ��� �� D�� ���� ��@��/��� D�@�/����� ������B � ��@��/���� �����1 ��� ��� ����� &���� ��� �B�� ���/���B�� �� ��1 C���������B� � ! �!, �� ���G��� C������������� � ��� ���� �@��C��� @��! J ��/�� �� ������� D������ C�G�� �BE��� A ��@1 ��/�B� ����C� �B �( � @�����C�� � � ���� � ����1 � ������������! ]������� / �EB ����C� � �� �� ��C������BC �B����BC ����@� ���C ��/�� �� &� �, �� �����C ������! '����C��� � � C�G� EB A ���1 ��� �B���� ����B� ����� �( ��� � ���A�B� ��� ���1 �����! J ����C� �����C�C ������������ � ��/�� �� J(- EB�� �BE���� �)"� ���� ��%��/����� !�#�$�� ���#��0�*!�0� �� �K��� ��C�������� ������� ��� ��C��� �(� �� � ��� ���������! -��C� ���� �C���� �� � �C� ����C� �� �C��� ���E��A.�� ������ E���� �� �B����! ]����� ���G��� A � ������������ ����E�B� ���1 ������ ��� �� � �� ��@B���C�C L����� �� ��@1 C����� � ���� ���� ��M! ���� � �C� / � �� �����1 � .��� ���A �� ��K�� ��� �DD�� ���B� C� ���� ����/��� C� �C� �/����� C������ �EF�� ��� � ��1 ��B� ���� ��� ��� ��� � � � �� �� �����B� D��1 ����! Q ������� ����@���� �� *+I� ��� � C�/����A �B.�� �C���� ����BC � �� � � ! (�� �C� ���E��1 ��CBC ������K�C � ���C EB�� �����K���� �����1 ���� ������ �����B� D�� ���� � �� �������C � ��C ��.A ���A������ ���K��! I � �� ���A�� ����� �@ �������� D��C������� ������B� ����/����� ����� � �@������ � ��G� ��1 ������/����� � ���� �@�� ������ �������B� � ��1 ���B� ���C�� �� �� ���� ����� EB�� ��� ����� � ��� ���� ���C� D��C������� J(-! '� ��G��C ������ �������/����� ���CB ������������A ����1 ����/����� D�� ��B �������� & �C���� ���� ������ ��@��� ��� ��A��� A ��������� � ! �!,� �� ������1 K�C ������ " ���� ��D�@�/����� ����C� �B &&' , � ��� ��B C�������C &��������� ��� ����� ������� ������ �� D�@�/����� ��@C��B � ��!,� @� �C �������1 �� V\( ��C����� �� *+I &���DD����� B ������� � ������� � �B������ ���� G���� ������ O� ��� ��1 ��� ������� ��� ������ ��� � ��!,! '� ��C�C ����1 ��C ������ �������� ���������A � � �/����� ����1 C� �B " �B������ ���� G���� ����/������ )��� ) � ����/����� )������B)� �BE����B� � ��/�� �� J(- ���� ����� *+I! (�� � �C �/� B�����A ��@C�G1 ��� A �@C����� � ��� ��� ����C� �����CB� D��1 ���� � ����C� ��� � ����A��C ����@���� ��! (�� ������ � ��� ����� ���CB @��/� ��A�� �C��A.��� �������������� A � ���� �D������ �@�1 �C��� @�� ����C� ���� ������ � � �� @� C��� EB A �K� ��� � �/�� ���G�BC� &���������K�C�� � �E1 �� �BC� � ! �!,� / � @� ���� � ���A���.�� C�����1 �������! J � �C ���/�� �������E��@�� ������A@��� A1 � �������C� �� @���BC � �������������C ����C� 1 ���� ! �! �B�������C �����B D�� ���� � ���� ����1 �� �E�EK������ D�� ���! H����@�� � � ������ �� ��@B���CB� C� �� �����!�&����)"�%!�� Z � �! ^$[� ��������B� �� ��������G����� / � �@C�� �CB� ��1 ��C� �B ���E���� ���A�� ���������� ���� � ���1 ��C � �C ���/��� ����� ��� ���A�� @���� � ����1 �� � ��� G� D�� ���! V � ��������G���� �����C�� � @� �������� ��1 �� �@�� � ����@���� � ��@E����� ���� �@C�� �CB� ����C� ��� �� ���� �����B1��� �B� / � ����C� �B� ��������G�K�� ����� ������� � ���� ���C �CB��� ���A�� ���������� C�G�� ��E��� � ����C� �B� ���1 �����G�K�� ��@�BC ������C� ���������� � ����1 ��A�� ���E�! (�� � �C C� ���� ������ ��� ����E��1 @�� � � ���� ��B� ���D � �/� �C ��@��� ��� ���D1 D����� �� ������ ��� C�G�� ����C� ��C�! \���C�� ����� ���D� ����� ����� �� (��$!)�! J���� EB�� ����C� ���� �_ ����C� ���� �@ �� ��B� ����� ��@1 E���� ����/����A #� ��� �! (�� �BE��� ���������� @��/��� ���DD����� � ������ ��� 1����� ��� ��@E����� ���E����C� �/� B1 �� A ��� � � �� �/������ �� � D�@�/����� �CB�� ��1 ������C�� �@��C��� @�! % �E��� � ��G��� ��� �B �� ����C� ����� ��� ��� &��@C�G��� ���1 � �� ���,� ����/��C ������ ��D��C� ���B� ����C� ���� �� �1 �B� � ���A���.�C ����� � C� �C� �/����� C����A! '� � �C � �� �����K��� D�� ������ ���� ���� �� @����.��! I�����K�C � ���C ����������� �� � � ����1 ������� C� �C� �/����� C����� @�����C�� � J(- � ����C� ���� �B �����B� �� ����B��K�C � ���! +� ���C +'-% EB�� ����/��B C������ ���� �@ �� ��B� �C�� ������K�� ���6 `#� `_ `� ` `� `## `� `# `^ `� `$ `#� `#� ��^^ ��^_ ��^ ���� ��^� aaa aaa ab b ba baa 1�����c��� ��� ��� ���� \���C�� ���D� ������ �����B� ��� � &� ��� �, �� � ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� 2�B�&�,c #^��d���$�3##d#�^��3�d#��^ 3#e e����3�d�����3 � (�� � �C EB�� ��E�����B ��� D��C��A�B� ���1 �����B � � �� �/������ �����@�� � �C /���� ���1 ����� �� @��/�C�� A ���DD����� �� C����� � �� ����1 �� ��� �! J C����A ��.�� ��.A ���A������ ���K�� D�� ��B� �B �����B� �� ��� ���� I A���� � Z�� �! ��#[! '� � � �� �@��/�� � / � �� ��A�B� D�� ��B� �� ��.��.�� � C����A� �� ��� � �� ������� D���1 ���! (��� � �� ��� ��� ����@�� ���E�� �� D��� �� ��.��� D�� ����� ��� �C� � �����C #"�f �C� C�G�� �����E��/A! (� ����/����� C����� C�G�� ������@����� A ��������� 2�B�&�, � @�����C�� � � �@C����� @��1 /���� �����B� D�� ���� �� �C ���� ������ � ����1 ����� ������ �B� @��/���� 45! (��/�C ��� ���� ��C ��������� ������� ��� �� � � �� / � @��/��� D�� ���� ���� ��� � � � �� ����A�B� �������� �@1 C����� � E�@ �����1��E� ����E��@������� / � �/��A ���E�� � ������ � ����A���� ����@���� ��! -��C� ���� � ��C�KA� �������� ��.�� � � �E�� �� @�1 ��/� " ����������� ����/�� D�� ���� 45 �� ����1 /��� ��E��C��� @��/��� ������� D������! (���� ������� �B.� C����A ����B��� �@��C�1 �� @A ����C� ��� ������� ������� ��������! J�.��1 .�� � ��� ����C� �B� � ���� �/����A� D��C���� � ��� ��� �K�C� ��G���� ����� � ! �! D�� ���C� ��1 ������/����� ��G�C��! �� � �� ����C� ��� ��G� EB�� ����/� ��B C� �C� �/����� C������ ����B��1 �K�� ��� ��� ��@E���� ��������/����� ��G�C�� ��@��/�B� �������� �� ����C� �B C�������C �� ���1 � ����! (� C����� �� �C ������ ������ ����C� ��� ��G�C�� &� �������� ����� �CB� @��/����, C�G�� ������� ����� A ��/�� �� �� ���� ���������� ! �! �����/� A ����/�� �� C�������C � ��E��CBC� ��1 ��� ���� ���C�! Q������/�B� ����������� ������ ������� A �� ��@��/�B� ����� � D��C������� �B������� ����1 @� �� ��/�� �� &�������� � ��� ����� ���C�,! (�� � �C �� ����C ������ �������� ����C� � C�G� �B1 � ��� A � ��/�� �� ������� D������� � �� �����C " � ��/�� �� �������� D�� ���! ����C �E��@�C� C�G1 �� ������� ����� A ��� L�@��� C�� �M ���G���� C��1 ��D�� ������ ��������! * )�+,�!�� (��������B� C� ��B � ��@��A � B ������������ ����@B��� � ������A�� �DD�� ���� C�G�� ���C�� A �����C���B� C� ��B ���/�B� ������������ � ����1 �� � ���G�B� C����D�� ���B� ���������� ����C �� � � ��������/����� ������� �@�� ������ ��1 �����A�B� C�������C! J ��� � K�� ���C ���� ���1 ���� �� ��. �@�� �� �� � � ����� ����BC �DD��1 ���BC ����� ��C �@�/��� �������C������ ��� 1 �� C��G�� �� D�� ����� ��� ���A��� �� � ���E� ���� ���K�� �� �B������ ����@� ��A ��/�� �� ���1 ������! (� ����/���BC C� �C� �/����C C���� C C�G�� ����� A �B���B � ���� ��A�� ���/�� �� ���1 �� �@����� ��@���� ��/�� ��� ���� A ����C����1 ��� �� �� �C�@���� ��������/����� ��G�C�� ���1 ��� �B� �������� ��������� ����� � ����@���� ���1 �B� ������ �! J�������� ����/���B� ��@��A � �� ��1 @��� � �����/� A �B��� ����B� �@�����! I����� ��G� � C� � A� / � C� �C� �/����� C�1 ���� ������� ��� ����������B ��.A �� �� ���1 ������� � ������ � �� ��B� � ������A �������C��1 B �� �� �����������! (�� �C� � ���/�� �����1��E� �@C������ � ���� ������ �@����� ��� ��������� �� �@�� ������ C� �C� �/����� C����� ������ ������1 ����� A� ������� A ������� ��A�B� �������C�� B � @����� ����/� B�� A ���DD����� B C������! ����� C� ����� ������������ �����@����� � ���� ���� � ��������B� ������CC� ��@��� �K�� ����� ����� � ������ � ����A���� ����@���� �� ���1 �@���� A ���E����CB� ���/� B �� ��@��A � �C ��� 1 ���A�B� �@C������ � ���� ��������/������ ���1 �����! *I(%TgS%JQ''NP *I�%R'*-* #! Q���� h! (!� +������ P! J!� ]��������� h! J! (��������1 ��� �������C�� � ��� ������ �� �C��A�B� �������!" +!6 '�1 ���� #^�$! �! ������ h! Q!� O�� ����� �! J! +� �� C����������� ��1 ������/����� ��������� ��������� ����@���� �� ii ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���!" � j#^^�i #j#^^�!" I! ��"��! �! kl9873m;<3 n! o37l92374:35 2;p954qr 4q 4q79r>379p :4>:?47 79:lq;5;r498 ii aq79>q! s;qt! ;q u?7;2374;q� v?3547w 3qp n9874qr� x;y;74:8 uzvn1x ���� &n{0nu,!" s5?|1}3~;:3� x;23q43!" ����!" n! a!" �! �� ! ! ���G���� ]! J! +� ��B ������ � ������@������� ��/�1 � ��!" +!6 H���� � �� @A� #^_�! �! +� �����A���� Q! -! ������� � � �� �/����� �B/����1 ���!" +!6 '����� #^�#! ��� 2�B�&�, " 3# " 4 " 4� " 4� " 4## " �B������ ���� G���� ����/������ )��� )� ��������� ��� ����� ������� ���B ��� ��� � � � �/����� ���DD����� ������� ���@�� ���� ��������� ��� ����� ������� �C� ���� �B������ ���� G���� ����� O� �� �� ���� ����� ����� ������� �� ���� ����!