Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства - Шестакова, Т.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Рассматривается методика исследования технологического процесса изготовления интегральных микросхем в условиях реального производства с целью повышения качества готовой продукции.