Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона

Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Алтухов, А.А., Митягин, А.Ю., Горохов, Е.В., Фещенко, В.С., Талипов, Н.Х.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52829
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52829
record_format dspace
spelling irk-123456789-528292014-01-08T03:12:20Z Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Горохов, Е.В. Фещенко, В.С. Талипов, Н.Х. Функциональная микро- и наноэлектроника Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах. 2007 Article Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52829 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
Функциональная микро- и наноэлектроника
spellingShingle Функциональная микро- и наноэлектроника
Функциональная микро- и наноэлектроника
Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах.
format Article
author Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
author_facet Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
author_sort Алтухов, А.А.
title Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_short Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_full Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_fullStr Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_full_unstemmed Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_sort алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52829
citation_txt Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT altuhovaa almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT mitâginaû almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT gorohovev almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT feŝenkovs almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT talipovnh almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
first_indexed 2025-07-05T04:20:36Z
last_indexed 2025-07-05T04:20:36Z
_version_ 1836779292968615936
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� �� � ��� ������ � �������� �!�" ���� �! #������ ����������������� �� $%&' ()� *(� �! +������,- ���������������� � ������������������������ ����� ���������� ��������������������������� �� ��������������� �� ������ )���� � �! .������ ### /0���1�*�23���� 45 �! 6� 2���� 3�� � � ����� ������ � ���� ������ 789:;<= ;>?@ABC:<8:<9:D!CB� :<EF:>GC89;HI:J;>AI:>GEF!CB �� !�!"#$�%�&� &''#$�!"(�%�)#(�(*�%$ (#�(��%$� +'!#�$,�!�'#$)%$-��!�!)*&� $��&�&�����&()(�!�(���*&"$�$�!��$!� *$�&,$'�!$� !.!'�!"(�&$� )*&�/&)!"� *(� .!�%�&�0�')$*&�$��(#1�%$�)(*(�$�*% �!�!)*&$��&�!"� "��!�!*$�&'�&"�!��& �!�!�&!��!�� *$2&�(3� K������ ���� �����*���,� ����L����� 2���L ��� �� ���M����*�� N ��� ����� ������ ��� *��8 ������ ���N�,� ��*���2�O�O���,� �� ����� ���8 �,� ��� �* � ������N�,*� �M����P� ��N�,*� ��8 ��� ���� ���*� � ��N ��Q���� ���� �M��� � ����8 ��! #������ �� ����� ������ ��� �*, �� � � Q�8 �����*���! '��NR�� ������� ��, � ��2�� �� Q� �����*��8 ��� ��N ��Q���� ����� $��- �����2��� �� 2��, � ��*�2�,*� *� ������*� S M������� �� ������N8 �,* ����� ��*! T��M���� 2��L�*,*� � ��*�2�,� Q�8 �����*����� U V �� � � = ��2*�P��� N ��� ����� ������ N� (�����L��8�������( Q� �����*���� S � L��� �� ��N��� N� � �M��� � P�� ���� 068�2��L�8 �� $W��" *�*-5 ����� ��N�� �,���� ���� ���N�� ����� ����� N Q� �����*����� �� ������ �����R��8 �,� � L�� ,� ���� ����� ��8 ���� �� �� ��,� ���� 8 � ������ N L��� �� ��N��� N � ����*�� �M��� � ���� �� $���S��� *�*- M���� L�* �� �� ��� ��� �� � ��R���� � *����*�*� L��� �� ��N��� � � �����8 2��� 068X5 ��2*�P��� N ��������� ����* �2 ��P8 �,� ����*� ��� S �M��� N� ���� ���N��� L��� ��8 ��N��� � ��*�2� �� �* ���� ��� � M��� �� �� ���8 �,� ���� ����� � ��2��L��� ������ ������ ���*��� $��Q�� ��-! Y ������ ��M� � ��������, ��2��N � , �������8 ���� ��*�2�,� 068Q� �����*����� � ��������� � (������L(8*���� *� �������P��� ���� ����� �� ��8 ���� ���������� ��*�2� �:8 ���! �� ��� ����� Q�2�L����� *����� � ������8 ��� ��� ���*,� �� �����2� *�����2*�� Q�8 ��QQ�� �� � ��*�2�,� Q� �����*����� M,�� �2��8 �����, � ����������, L� ,�� ��� � ��� ��! X ��� ��� 6Z8 ��� (������L(= [<\��*�2\[< � ������ ������ ���*���,� � �*�� �2� � 4 1 ] ]^�_` � � � !a�*"! T� ������* ���� ���� ��*�2� ��28 *���*� ����×��"^×���� ** ������ � ���2� $�� ��8 ������� � ��"^×���� **- ���������N ���*�����,� ��� �� , ��O���� ���" *�*! 1b.1cTde 6#�#Z)3e.T3&3 0bf�)163#be�#Y#g# �31Z1c#T1 X ��� ��� 6Z8� ���������� ���= [<\��*�2\[<� 4 1 ]��h_` � _ � !a�*"! T� ������* ���� ���� $����×"�h�×��� **- ��� ���*�����,� ���� ���� � ���� ���� ��������N�,� ����� �2�� ���������N �� ����� ��������� � ���� ���� $"�h�×��� **-! c�2�� *�P�� ���*�����,*� ������*� ��� ��� � ��h **� ��O��� ��� S h *�*! X ��� ��� 6Z8" ����� ��� �� ��M�� � ����� �,� ��*�2�,� Q� �����*��� 6Zi8 � ��"= jH\��*�2\[<� 4 1 ] ��h` � � � !a�*"! T� �������� �M��L��*�� ������8 ��� � Q��*������� �������2��L�,� jH8��� �� ��8 O���� ���" *�*� � �� ��P���� ������O��*�� ������8 ��� � �2�� �������� ���*�����,� ���� ���! X ��� ��� 6Z8� ��**� ��L�� � ���� � ���� ��8 *�2�= jH\��*�2\jH� 4 1 ]����` � _ � !a�*"! #M��2�� � 8 ��L��� � � ����� ��� � ��� ��, 6Z8" �*� L � �� ��N�� �� �������� �� � �� ��P��� $������O��*��- ��������� N ������ � ��� ����,� ����! ��� ��� ��*�2 � �2�� ������,� � ��� ���� �*�� ��O��� ���S��" **� � ��� �Mk�*��� ����� ����8 ��� � ��������� ��� ���*� Q� �����*���� ����L�8 �� ��������� ��N�� � *�P� ��O�� ����� ��� N �� ����*� �, ���M���! + �M, ����� N � � ����� ����8 ���� M,�� ���������, ���N 8�*����,� ����� ���� �8 �� $���- Q� �����*����� U�V! #M����P���� L � Y1l Q� �����*���� 6Z8 $� (������L(8���� ����*�- ��8 �������! T����� Y1l � �M�� ��* ����������� $��� ����L� ����P� ��N���� �*�O��� �� ��P��� ��� �� - ���*���� � ��� ��� ��2� M��NR�� L�* � �� *�*! Y � P� ���* �� 6Z8� $� �������,* �������P����* ���� �����- Y1l ���� �L���� ������� � �����2��� ���� P��� m h� Y! T��������� N Y1l Q� �����*���� 6Z8 *�P� ����� ��N� ���� N �M ���**� ��� ���*�����,� ���8 �� �� ������ � ��� ��,! )��L� ����2��� L � ����N8 �� �������*�� N Q� �����*���� 6Z8� ���*���� �� ��� ��� �,R�� L�* � 6Z8 ! n � *�P� �Mk �� N� ��2��L�,* ������* ���������� �2� �*= �� � ���* Q� �����*���� ������ ���� �2� � � ��*�2� �,R�� �� ��N�� �� ������ ���! .�P�� ���������� N� L � � �M8 O�� �������*�� N ���������� Q� �����*���� 6Z8� ����� ���� ����� ��������� �� �������*�� N! )�28 �,� ��*�L����� �� 2�� �� ��������� � ��*�2� *�8 P� ������� N � �M��2������ ��������� �,� ��� �8 ���! Z�� ��� N � �� ��� � ��� *�P� M, N ��� �8 �L��� �� ��2��������� ��,P������ *�����2*� �������� ���� ���� �� ��������� �,* ������2����8 �,* ��� � �� *! )�2��L�� � �������*�� � *�P� "� ��������� ���� ������������� ��������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � M, N �� 2��� ��P� � ������ ������ �����*�������8 ����,� ���� ���� $4 G \4 : � ��� 4 G � 4 : S ������ ��8 ��� ��� �� � ����� ������� � ����� ����- ��� � �8 ���N� �� �2��*��� ��*��������! Y ���* ���L�� *�P�� ��� ��O�� �����* ��2��L�� � ������ ���� � �2� � � �M��2��� ��*�2� ����L� N ���*���� �������8 ��� �������*�� N! �� ����������� Q� ����� ��L����� ����� ���8 � �� Q� �����*���� � ��� ��, ����O����N ��� �* ��� ������� ��*�, b�8^'� �����O���,* L���2 *�8 �����*� �� .�)8�"� ��� � �,��� ���N �2��L���� ��P��� ����, ����,! T� ������ ��������� Y1l Q� �����*���� 6Z8" ��� �M��L���� ��� �* � ������ ����, � � �*! Y1l �*�� ��� �,��P����� ���������� N! ���P� ������ � *� � N� L � ��� ������* ���� P���� �*�8 O��� ��M����� � ��M��NR�� Q� � ��� L � ���L�� �� ������L����� 567� � K� ��8M��N���,� Q� ���8 ����! n � �� �L� � �M�� ��* ������������ �� L � ��*�2 ��� �� � � � � �* �QQ�� � ��� ����������8 ��� �,��L���� ��� �������*�� �! c��� Q� � ��� �M���������� �2��M 2��� ����� ���,� �� �,��L��8 �� ��������������� � �M��2������ �M��� � ���� ���8 � ������� 2�� �� � ��������� � ��*�2� �� ������� � jH8���� ����* ��� ��� ����O����! Y � P� ���* � � �� � ��� ����O��� Y1l 6Z8" �� �� � ��**� 8 ��L��� � ��������� L � ����� ��N� ��� �M � �� � ��� K� ��8M��N���� ! �! ��*�2 ���� ��M ��� ������8 L����� ������ ���! X ��N M��NR� ����**� ��L��� N Y1l �M��L��8 *��� Q� �����*���� �� *�P� M, N �Mk ����� ��N8 �� ���,R����* �QQ�� ����� � ��2������ 2�� ��� �� M��N��� K� ��� ! �! ��� ��M����� � $�� N � � *��NR�� � �����- � ��� �*�L����� ���*�����,� ���8 �� ��! X ������ � ����,� � � ����**� ��L��� N *�P8 �� �Mk ��� N ��2�,* ���*���* P�2�� ���� ���� 2�8 � ��! &�� �2��� �� U"V� ��L � ������ �����O���� ��� � � ������ ����, � � �* ��������� � ��*�2� �� ���8 M��� "S� *�*! Y ���L�� ���� *, �������,���* ��8 ��P� ��N�,� �� ������ �� ��P��� ���� ���� �,��� ����Q�� � ������*� ���� ����� � ���� ���, S � ��P��*�! Z�� �����L���� �� ������� ��� M��NR�� ����L�� �� �,��� �, ����� � �2 ��*�2�� � ��� �8 ��� *�*�� � ����� ���� �, ����� ��� 2�� �, �2 ����O����� �M��� �� � ��������� ���,O���� Y1l� ����� ����� �� ��P�������,� ����� ������L���,� �Mk�*�,* 2�� ��* U�V! Z�� �*��� ��� ���� � ���,O���� ��������� ��8 ��2�� ���NR� � �� 2� � �*� L � �,��� ����*M�����8 � � �Mk�*� ��*�2�� �� ����� �� ��� �������P��8 �� ���� ����� � ���N �� ������� � � ���� ����*�! X ��N ��2��L��� ���* P�2�� ���� ���� �� 2��� �� � ��� ���� ���*���,� ������� � 2����O����� 2��� 8 9 ��*�2� $������-! Y �� 2� � �*� L � ���*���,� ������ � ��*�2� 2������ ���M���� � ��� ��*�� ��� �*���� ��� ��� �� ���2,��� �������� ��� �� �� �*����� �� � �� � � ���� �L���� ������2����,*�! X ������ � ����,� ����*M����� 2�� ��� � R�����2����* ��8 ������������ ��� � �������* L���2 ������N� ���8 ����P���,� �M��2� ����� 6��*� UhV! �� �,��� � �� �L������� ������,� ������N 8 : \! �� ���� ��8 ��� ���� ������ � �� � ��� � L � ���N�2�� 2� ���8 � � ����*M������ � �����L���� ���* �� P�2��! T� ������ ����� �����, ���N 8�*����,� ����� �8 ��� ��� �� �M��2�� 6Z8�! Y � �� � ��� ��� �M� �� 8 �� S �� *� � �M�� �� S ��L � ������,� ���L�* � �M�� ��* �*�O���� Q� �L��� �� ��N��� N ����� �,R�� L�* � �� *�*! Y��N 8�*��� �,� ����� ���� ��� �$;- ��*�2�,� Q� �����*����� �2*�� ���N *�� ��,* *� ���*! e*��� N �M��2��� � ���� �L���� �� 2������� � ��8 �� P��� � L � ����� ��N� ������ � �*� L � � � �� 8 � ��� �M��L��� ��*�2 ���� ��M ��� ������L����� �2�� ��� � M��N�� K� �� �� �M��2�� � ! Z�� �2*����� � L�� � �,� 2�����*�� �� �*��� � �� ���* �����2��� L�� � $<] �� g� o �� �g�- �2*�8 �� ��N�,� *�� ����2,��� ������� 2��L���� �� ��8 ��� �������*�� �� L � ����� ��N� ������ � L�� � �*8 ��� ��* ����� ��� �������*�� � Q� �����*���� �� ����*����* �������! 6 � � � � � � 1 h� �� h� � \h� \ �� \ h� \��� \ �� � �� ��� T��� P����� Y )��! ! Y��N 8�*����� ����� ���� ��� ��*�2���� Q� �8 ����*���� 6Z8" ��� �M��L���� ��� �* � ������ ����, � � �* g h ∆ 8 � 8 9 8 : 8 4 8 : \8 < 8 : 8 =� 8 > 8 = g �h � ? 2� a $ ��- )��! �! )������P���� ���*���,� ������� � 2����O��8 ��� 2��� ��*�2�� �������� U"V= � 4 � 8 : \� 8 � S ������,� ������5 8 : S ��� ���N�� ������� 5 8 =� � 8 = S ����� ���,� ������5 8 < S ������N 6��*�5 g h� g�h S ����� ���,� *���*�*,8*����*�*, �� 2����� ������**� ��*�8 2�5 8 p S ������N 2��, �������*�� �5 ∆ S �*��NR���� �� ��8 ����N���� M��N��� �� ������� ���� *��� ��������5 ? S�����8 ��� ��� ��5 ( S ��� � ��� ��R� �� ��*�2� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � " ��������� ���� ������������� ��������� 0� ��������� L � ���N 8�� �,� ����� ���� ��� ��*�2�,� Q� �����*����� ������, � �����2��� �28 *����� �M��L����� � �� L� ,�� ��� ���! T� �������*�� ��N�,� ���� ���N�,� ����� ����8 ���� *����*�* L��� �� ��N��� � ���� �2*�����,� �M��2��� ��P�� ���� �L���� �� ����� ����� ����, $λ]��� o��� h *�*-� ��� � �* ������������� ���8 ���� L��� �� ��N��� � *��� ���� �*�O�� � ������ � ��� �� � ���O�* �����L����* ������ ����� �2�8 � � ��*�2�! n�������� �� ���*� ��*�2���� Q� �����*���� ����� ��� � ��M�� ��������N�� ���������,� ������8 �� �� � ������ �� Q� � ���! #��M����� N� ��*�2��8 �� ����*���� �� � � ��O�� ����� 2�����*�� N L��� �� ��N��� � � ���� P��� ! Y ���" �! �� �������*� /0���1�*�23���� 4 �����,� M,� ��2��M� �� � 2��� �� ���� 068 Q� �����*��� �� ��������* ��*�2� ��� �� � *����8 *�*�* L��� �� ��N��� � �� ����� ����, ��� *�*! # ��R���� ������aR�* ������� Q� �����*���� �� *������������* �� ��� �2��L��� ��� ���� ��� �8 �� �h! 6� �� ���� ��M����� � ��N�� � �M��� � ��M8 � ������� �����O��� ��*�2� $� 9 ]h�h �Y5 λ 9�� ]� � �*-! Y ����*�* �����2��� Q� �L��� �� ��N��� N � �� 8 � ��� �� ����O����� � �\" Y a�*� $Q� �� ���� �� ��� �� � /*� ���S�������������4-! 6� �����*���� �2�� ������� � �������� ���*�8 �2������, � *� ��������*�L����� �������= � ����8 ����� ���* �� M�2� *���R�* O�� *�������*, &���0� �8 � ������� ��� qrj8�� $6Z18 - � M�2 ����� �� � ������� qrj8 ^ $6Zi8 -! )�2*��, ��8 *�2�,� Q� �L��� �� ��N�,� ���*�� �� *��� �2*�8 � N� � �� � **�! 6� �����*���� 6Z18 � 6Zi8 ������Q������ � ��� �����L��8����,�! 3� ����8 ���N�,� ����� ���� ��� ��2��� � M�2 ��O�� ���8 ���� ���P��� ���� ����� �,���� �� �� ����� N ����8 ��*���� ��� �2��L���� ���� N �� �� �* $* ���� ��� ���-! #�� L��2�,L���� �� ��L��, � ����2����8 O�*� �2��L���� � �����M�, ��M� � N � � ��, �* ���*���! Y �� ��Q�2��� ���� Q� �����*���� *�P8 �� �����N2��� N � ���M���� ����� ���� �� X������ ������� N ��N ��Q���� ���� ��� ��� �O�� ���� �� 2��2� � ! �! T� ������ ����� ����� ���R��� ��� Q� �����*8 ����� 6Z18 � 6Zi8 � � ��� �!"���������, �� Q�8 ����� ��L����� ����*� �,! �#$%&# 32�� ������,� � �����������,� 068Q� �����*8 ���� �� ������ ���������� ��*�2� �� � ��2��L�,* �����P����* �2� � �����*��� �������� ��2*�P8 ��� N �����2���� ��� Q� ���2�� ������� �� � Q� �8 �������� ��������� ��M� , ��*�2�,� 068Q� ����8 �*�����! 3����N2������ �������,� ��*�2�� ��2��8 ���� ��2�� N ������N�,� /�����L��8����,�4 068Q�8 �����*���� � *����*�*�* L��� �� ��N��� � �� ����� ����, ��� *�*! 3XZ#bfc#Y1TTde 3X�#+T3&3 ! g�� �� s! Y!� 1� ���� 1! 1!� .� ��� 1! s! 6� �����*8 ���� ��N ��Q���� ����� �����2��� �� ������ ��*�2� �� ��� �� ������ �������� ������ ��, ��M������ � �����2������ �Mk�� �� aa T���� � ��������� � ���*,R������ �!S ���^!S � � $ -!S X! �"S�^! �! 1� ���� 1! 1!� &����� Y! 1!� &������ T! .! � ��! 6� ����8 �*���� �� �� ����� ����,� ��� �* 068�����2��� �� ������8 �,� ��*�2�� aa )���� ������ � ���� ������!S ���^!S �! h � � �!S X! h�^S h��! "! &������ Y! '! Z������,� ��*�2, )�����!S .!= Z�� ���� ���! �! t:9uECH v! [!� v:Cw j! xBCCE>H ;>yEpH;@> ;> z@<;Gz!S {E| }@Cw= [p:GE9;p jCEzz� ���! h! )��2 1! #����, ����� Q� ��������*�� �!S .!= .��� �^^! � � � � � 1 �� �� � \�� \�� \^� \_� \��� \ �� � �� ��� T��� P����� Y � )��! "! Y��N 8�*����,� ����� ���� ��� � ��� ��, 6Z8�= @ S � � �� � ��� �M��L��� 5 A S ��� �M��L���� ����������� ��� � � � ���� ������ ������ �� ��� �������� � ���� �������� ���������� � � !"#$!� � !"#$!� % ��� � ��� ��� ������ �������� ��������λ& '��� � #�!� #�!� % ��� � ��� ��� ������ ��� ������������� �������� λ& '��� � � ��(!� ����)��������� ������������λ& '�� *�+,-�+#� .�/#01�!2�(� .�/#01�!2�(� ����� 3��������� ��������������� λ& '���+*�� � !��$� *������ 3��������� ����������� ����λ& '��*+*�� #�(1�!4� !��$� 5 � �������������� ������ ���6 ����� #��� �7�� � �"�!� �"�!� 8 ��39 �� �� 6 ��3+��� ��3��*� $"4!� $"�!!� :�� �� ������� � ���� ��� ��������*�+� #� �!;� �!;� 8 ��39 �� �<� ��*+,-�+#� "� #�$1�!2=� �����3�� 3��� ��� ����������� �������� #$!1�!24� �!!1�!24� �!�!0#$��*&,$'�&$� )(*(�$�*%��!�!)*&$��&�!" ����@�&�����@ �- M- )��! �! Y��R��� ��� Q� �����*����� 6Z18 $(- � 6Zi8 $.-