Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD

Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Глушко, А.А., Родионов, И.А., Макарчук, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52830
record_format dspace
spelling irk-123456789-528302014-01-08T03:11:58Z Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. 2007 Article Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
format Article
author Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_sort Глушко, А.А.
title Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_short Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_fullStr Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full_unstemmed Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_sort моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830
citation_txt Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
first_indexed 2025-07-05T04:20:39Z
last_indexed 2025-07-05T04:20:39Z
_version_ 1836779295970689024
fulltext �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � � !��� ����� ! "������������������������� � �� #$%&'(�� !�) �� * ������� ������������ ���� ����������������������� ��� (��� ��� !�)�� ����)%�&� +!�,!�-!�$��+��� ./01234� 531675829�!:06;9!<9 )"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN ����������� �������������� ��!�"�# $���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����# ����� ����+�,��,��� � �����!���'�# ��)��������� '�������� *��!��������!�# ��'���-� %�������"�� %��.�!)� )���+�� O�� ���+���� ����� �� ���������P��Q/ R������Q���+ ����� ���� �����O������� ���� � S/ ������� ���P+ ����T��D$'D�������� ������� �/ ��� +�����Q��+���������� ���� + S�� � ������ / � ����+������D$'D�+�����+����P� ��R P� !�)���/ � ����� ��������� O�� ��������������U�������� �+��QR����S�����T����� ���� +�����Q�T����P��T! "��� ���� �+���+�� O�� �+�+���� ����� ���P+ / ����T��D$'D����������O �T���Q����P������ � �� S/ ������� ��V ���W!�-��+���T�D$'D� +������P+ / ����T������ ����T����S+��T������ ����XY���X�+ +� �����U �T������� � ��P �T��������������������� � ������ �+ +! )��R���� S ������� ����P+ ����T��D$'D����/ Z���������������Q�������U +�O��T��+�������T+ ���P���� �+! G�����!�G������T����Z�T������� �Q����� ���+/ �������������S�����U ������� � �+ � +�+��� [/ [�S ���� ���U ���� +������� �� S�����Q��+� ���� ��Q��+���������� ��!�-�� ��+�Z�����P �Q��� ����QS����P��P�� ���� ��T�� ����+�����������O��Q ��� ����+�������!��!���������PT���T�����+ O�� � � �[�����T����Z ! ?��������Z�������P���� ��Y�����+��T�������/ � ���� �!�G���S ��T�������� ���� �� ��+ ��� �+�/ ����� ��� �Q� ���U��������+���� Z�� ��PT����/ ������ ��D$'D!�D����� ���� ������Z� � � ���� ��� ����P+ ����T+ ���S+���+ �+�Z���PT�Q��+��QR�/ �������+����� � ��� ���T��U ��� �� ����Z��� ����/ ����� ��+�������������� ��+� ��T��S�����T��� �� Z����� ��� � ���� �����������U +� ��� � � / � ����� �+!�'����QS���� ��� � � ������ ���� �/ ���� ��+�������� � ����� ����� ���� ����Q[��+���/ S���������U�������T+��P��S�+��� S �Q��TR�� �S��/ �T�������� ���� �! ����Q�����P���� ���� � S ������� ����� ����� ��P+ ����T+ ���S+���+ �Y� ���� ���� �������Q ���������� � � �����������Q�����P��� +����������/ ��+�������+��� O ��+!�?�/����T��������� ���O��PT �� ���� O�� �+�� ���� ����� ������� O�� ��� / ���� �PT�������� S��������O���#��� O ��������� ��U���������S�����������T������ �������S���O *!�?�/ ����T��� S+���� ������ ��[ �����Z����� �P�S��� � �O��Q���������S���O��[� �� ����� ��� ���� ���/ U� �������������#��������*���� ��U���� ��P ���[�/ ����� ����������Q���� �+��QR����R � ���������/ ��� ��� ������S��O ��������� ������P �Q���� ������/ �� O�� � ����������� �S�O������ �����S+�Z���� �T������ �����P���� ���������Z���� � ����� ��T+ ���+�+!�?/����Q �������������Q����P��� +�������P��/ ��O�� ������R� ������ �T� ��������� ���+��������/ ����������+�Z���� ��� �� � ���� ��+! '�� �� ������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+ ���� ������ ���ST���+� ��\ ��P� � ����P+ ����] #�X���+� �+����*���������������������S+�Z�T+���S/ �����Q�������� ����� S��������D$'D� � ������ / � ����� ��V����W!������� ������ ������Z����O �T/ ���Q���U������������ ����� �� ��+��� O�� ���[��/ +T�����O������+�� ������� S�P��Z�� �����[���/ R�P����!�-����� ����� ���TST�����������T������/ � ��� ��� ��� ��� ����T� S��O�� ��� ����QS��+� � ��������+������� +���� ��+��� O�� + ���S+���+ ����O��+������� ���T! ������ ��D$'D� S+����������+������� �����Z/ �T�� ���O� �������U�� ��������� ��[ ��� ���� / � ��[[� ����P� S��� ���O��������O��+� �����Q�[� ���������� � � ���������[[� ���P��QR ������������/ ���� � ���������U +���������+�[���� �� ��[ �������� �� ���� �������O������S� O�T��������� / O�� ��^������^�VXW! ?����� ����T�� ���� � ��� ������� �����S/ +�Z�������� ��+� � O�� +�����+��������� �������/ P������Q� PT� �� R �+�+�� �� ���+�� !�G����+�� ����QS����������P�����+�U�T�����������+���� / ����� �� ������� O�� � ����������� ��� S������� D$'D�� � ����T+������������ ���+T�KLMN! ,��P��� +����+�� �Q��O�����������U������+����/ U����������� ��Q ��+�U�T��� ���+�KLMN��� �� ���� +����[ �+� � �K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������ �*��dha7j6h6�`ab! �d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-� �� ���+T�KLMN �P����O �������S+�Z����Q�� ��S�� ��+���� ����/ � ��������� O�� � ����������� S ������� ��D$'D! D�� +���Q�����P�T����� ��++�T���������� �O �/ ������������+ ��T��O����������S��� ���S ������ �/ ������Z������� +��� ���� ���� ����� �� ���������/ ��P�T�� ��+����� �� ����QS����Q!�?�������U������/ �Q����OQ����������+�������� ����QS��+T���� �� � � ���+���������� O�� � ��+���� ����� �! ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ,���������������������� � O�T��������� O�� � +��R���� S ������� ��E)"G�D$'D! G�����O������O�� ������ S��+���E)"G/���� ��/ �T��� �S�������������! G� ���S��P�� ��������� O�� � ��+��R�����[��/ + ����� ����P+ ����T��E)"G�D$'D� �� ��+���/ � ����� ���� ���+���KLMN�������������Q������/ ���������O�� ��S������ ���� +���� �����[ ���� �/ ���T�����������O����Q�����������������������+���/ � ����� ����� �� O�� ������ ��� �� !�'S��� ��/ ����T������ �!� �������� O�� �������� �������/ �������Q���[��+ ����� ��� +���� �����[ ��� / ������������T� ������ +������� � ���������U�/ ����Z �! '+������� ���P����O �����O��S�TO������������/ �T�� ������� S��� +T�����[ � � ��������� ��S�/ �����+T������������+��������� ���� �+� ������� ���+����������!�E��+���� ���� � ��T����� �� ����Q/ S��+T���� �O������+��� ��� �� [[�S ��+�Z����� / +����Q� �����+�� ����� ���������R�� �� � ����+� ��O �!�'������ +������� ������������ S ���+����/ ����T+���������+�� ���� �� ���� �� � ����� S�� �����Z��� ����R�� � �� � � ����� ���� +�����#��/ ��+�U�� �����+����� +�� � S�+�Z���S� �����S�T ��R�� *����P��������������U ����Z ! �������O���� +������� ���� ���� +���� �����/ [ ������ ���+��KLMN��� +������������ � O�� � +����T����������� ����T����Z���[�� � ���������/ ��� ��%������ � �G �����!�?��� ��+������������ �/ ������ O��� �Z�T����O� � +����� ������T�� ���� �TST�������������������� �� ������������ �������/ �������� ��������������T+ ������������ �+ �%�/ ����� �G �����!���������O�� ���������� ���������/ ��� �� ����������� ����O ���� +�������� �� ����/ �����S � ! E��+�� �� ��� ����+���� ����� ������������� � +����� ������T�� ����� � +������� ���T����[� / ������ +��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/ ��+������+���� �������[ S O�� ����PT� ������/ �����U ���� ����+�Z�� ������Q�T��O��� �!�'��T ���+�S������� ������T������ ����� ��� �����S��Q��/ ������ ������ ������ �!�C����T������ ����� ���� / �T�������[��+�����> �������!�)��������Z�� � ����� ���U �����+���+ R�� ��O ����������O���T+! G�� +�U������+������)����/E�����S� ��O����� ���� ��U�+��+�����+�+����������� �����Q�T+�[ / S O�� +���PT� �+���������������������� �Y���O��S/ +���T��S��������+�R ��� �����+�� �����P��� +� � ��������O�� ������ �� O�� �����Z�T����S��Q�����! E� ���+�O����Q��TR��������� ������ +������� ���P��� +�������� �Q���Z !�)����Q���Z ����� �/ ��+���KLMN������Q������Z��� ��O �T����� � �� [/ [�S ���T���������T�� �� � ��������T�� + O�� � ������U�� ��������������� ������ �T!�=�� ���Z ������ ����S�� ���� �����+�Z��� ����+�� �� S+�/ ���+T���� ����+ ����� S+���� �� ��������� ���� � ���[ �������S��Q������ [[�S ���S��O ���Q��!�=�� Z����Z ������� ������ ���Q�������+������ ���� � S��O ���Q������������������� ���� +�� ! ?��������+���� ����� ��� [[�S ���� ���� +��/ �� �����[ �����Z ��� [[�S ������������� �!�G�/ � ��Q ������������O��������������� ����� ������# �� +����� ��� �� [[�S ����� ���� ���� � �T�� �� ��������� � +����� ����������� +�� *��������P/ ��� +�����QS����Q���O �����T+ �+�����+ ���R�� � � [[����� ��Q�T��������� �! G������T����Z��� �� �������� ��+�Z�������+��/ � ���Q� � �����+� ����Q�T�������������� ������ / � ������ [[�S � � +������� !���O����Q��������/ � ���� �������������� ������� �O����������O����� ������ � � ��������O��������� �������P�������Z/ �T+��� ����� � ����� ���P+ ����T������ ���! "��Z��� �� �������� ���������+��� P� Z�� +�Z�������+��� ���Q� � ��������T�� ������ ���+T� � �����Q���������������� ��� � !�E�Z���� ��O � ���������� �����+��� ������� � �P�� ���O���+��T� ���O� �%�� �������������� ��U ���� �������� ���+����������������P��� ��+��� O�� ���+�������/ O� � ���� ��������+ ��[���+ ��� �� ���� �� ���O/ � ��!������T������ ����O�T�� ��[[� � ��T�����/ O��������� �� �+������P��� +���O �T���Q����P����/ �� �+���� ���+T������������ � ������������U � ��� O�T������� �! '��� ��������S��P��O ��������� O�� � �����/ ��������Z���S���Q�� � ��� �� S������� ���+��+���/ �������� �� ���������� � ��� ��� �������� ����������� ����� �� �������� �������� p- � n- ��� �� �� ������ ������ ���� �������� ����� ������� ������ � �������� ����������� �������� �� ���� � � ���� �� �� ������ ������ ���� ������������ �������� ������������ �� ��� ���� �������� �� ��������� � �������� �������������� ( �!k !�������� O�� ��+��R���� S ������� ��E)"G/ ���� ��� )����� S�� � )�Z�����T� � ��� �� G�� ��+� � G��S������T� � ��� �� D � � � /l /l 0l0l �/ ��+�� %/ ��+�� �/�����Z � G��� � ����� � ( �!k�!�G�����O���� ��O�� ��E)"G/���� ���T �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � ����� �!�E� �� ���� S��������� ������� ��++�T� �+������T�� ���+�KLMN�+�Z�������������SP �Q ����� � ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/ O����������� ���� ������T��[�����!�����T�������/ ���� O�� �+���������� S ������� ��D$'D��������/ �� ����� � ���+���D$'D������������� + ������/ ��++�T�� ��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/ ������ ��++T�+���� ����� �!�"� �� � ����� ������ +������S� �� �� ��[ O�� � �� ����[����������� � G���+���T� ������� O�� � � ���������� ������ � ?����T��[���T ?����T��[���T G� +���T�����[ � �� ��[ ��� �� O�� ������ ��� �� G�� ���� �������T� [����� ����+���� ����� � )���� ����� � �� +���T�����[ ���� ��� �� O�� ������ ��/ � �� ? S���Q��� ���P��Z�� � �T����T��[����� ( �!k�!�D��� ������ ���+�KLMN ��+�UQ����������������O��T����S��Q���T� ����T����/ �������������T����T��[������+���� ����� �!�G��/ �+�����Q���S��Q���T�+���� ����� ��+�Z�������+�/ UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++�� S�/ ��Q�� �����P��Z�� ����S��Q������+���� ����� �! ,��������� ���+�KLMN�S������������+���T����/ ���� O�� � �����������#������������Q����Q��T���/ ��� �������� �� ��� �� ����P��� +T������T����� ���T������ �*������ Z�������� �!�,���T���������/ O���������[ � ������������ ���� +������� ��+� �/ ��������� ���� ����T��� �� ������O����Q�� �������� �����T+ �����T+ �������������U� ��+���� ��/ ��� ����� �� O�� ������ ��� �� ! D���+�UQ��� ���+�KLMN������� ������S+�Z�T+ ������Q ������ � �����Q�������� O�� ���������� ��� ������Z ���Q�� ������� Z����� ��S �����Q��� �/ � �������Q�T������+������������� O�� � ���������� ��� �O����������O��+T��D$'D! 'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E' !�)"G�D$'D!�)���� ����� �� ���+������ � ������� O�/ � �� ���������� n� G��� ���!� G!�@������� �� �!�@���� �� ��� (!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(�� �� ����SQ�� opp! �!�q��� ��!��-� ����>!��%� � O�-!�-�� ���� ����Q���P��Q/ R �� ��� ���Q�T�����+!Y�)!4�) ��� oo ! �!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������! �!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~ 93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn `a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y ����!Y��!� p�XYp�p! X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh �e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp! ����������� � � � � � ��� � � � � ��������� � ��� ������� � � ���������������������������� � ��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������ � !���� $��%����!� &�� '� '�����()�*!�������+������!�������,� ���-���.� ����� �/ �)�! 0112�-�013�(� �������� ����� � � �� ��� �� ������ ������������ � � �������� ��������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������� ����� ��� ����� ��� ��� �� ������� � �� �� ���� ����! � ������� �� � �"����� ������ ������� � ������� ��� � ���� �� ����#� ��������� �� �#��� � � �� � $��� ���#�� ��� � $���� �"����� �� �� ����� "�� � �� ������������ � ����������� ��� �������� � � �� �� ����� � ��������"����� � ��� ����� ����� ������ ���� "�� � �� �� ��� � �� ���� ���� ������� �"����� ������� � ��$��� �"����� � ��� ����� ���� � �� � �#�� ���� �� ��� �! � ��� ������ �� ��� ���� ��� �� ��� ��� �� �� � �� ��%��� ��� � �� ��� �� �� � �������� � �������� � ������ ������ � �� � ���� ��� ���� � & '� ���(����� ��� ������%���� �� ��� ��� �������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������& )��� �� � ������� ���� �� �� � � ���� �� � � *�� �� ��� ���� ����"����� +����� � ��& 4�* ����5�6 ��������) � �)��-���.�7�/ �(6� �!�0118�-�980�(� � ���#� *�# �� *�#�� ��� ���� � �� (�+ ���� $��� ������ �� �������� �� � � �#��� ����� �� ������& , � �������� �"������ �� � ����������� ���� ����*�� ��� � ������� ������� �� ������ �& )� � ��� ������� ���������� ����� � ��� ��� ��"��� � �����& ��� ������ �� � � ��� ����� � ����"��� � ���(� ������ #���� ������ % � ��� � � ��������� � �������#� �� � ����! � ���(� �"������ � ������� �*��� & ���#� � �������"��� �� � ���� �� $��� � ����"����� � ��*���� �� ������ ���(������� ��� ������ ���� �� ����� �������� � ���� ����� � � �� � ���� � ��� ������� (�+ ���� �������&