Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....
Gespeichert in:
Datum: | 2007 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52830 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-528302014-01-08T03:11:58Z Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. 2007 Article Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. |
format |
Article |
author |
Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. |
author_facet |
Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. |
author_sort |
Глушко, А.А. |
title |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
title_short |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
title_full |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
title_fullStr |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
title_full_unstemmed |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
title_sort |
моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2007 |
topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830 |
citation_txt |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad |
first_indexed |
2025-07-05T04:20:39Z |
last_indexed |
2025-07-05T04:20:39Z |
_version_ |
1836779295970689024 |
fulltext |
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
� !��� ����� !
"������������������������� �
��
#$%&'(�� !�)
��
*
�������
������������ ����
����������������������� ���
(���
��� !�)��
����)%�&�
+!�,!�-!�$��+���
./01234� 531675829�!:06;9!<9
)"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C
D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D
D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN
����������� �������������� ��!�"�#
$���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����#
����� ����+�,��,��� � �����!���'�#
��)��������� '�������� *��!��������!�#
��'���-� %�������"�� %��.�!)�
)���+��
O��
���+����
�����
��
���������P��Q/
R������Q���+
�����
����
�����O�������
����
�
S/
�������
���P+
����T��D$'D��������
�������
�/
���
+�����Q��+����������
����
+
S��
�
������
/
�
����+������D$'D�+�����+����P�
��R
P�
!�)���/
�
�����
���������
O��
��������������U��������
�+��QR����S�����T�����
����
+�����Q�T����P��T!
"���
����
�+���+��
O��
�+�+����
�����
���P+
/
����T��D$'D����������O
�T���Q����P������
�
��
S/
�������
��V ���W!�-��+���T�D$'D�
+������P+
/
����T������
����T����S+��T������
����XY���X�+
+�
�����U
�T�������
� ��P
�T���������������������
�
������ �+
+!
)��R����
S �������
����P+
����T��D$'D����/
Z���������������Q�������U
+�O��T��+�������T+
���P����
�+!
G�����!�G������T����Z�T�������
�Q�����
���+/
�������������S�����U
�������
�
�+
�
+�+���
[/
[�S
����
���U
����
+������� ��
S�����Q��+�
����
��Q��+����������
��!�-�� ��+�Z�����P
�Q���
����QS����P��P��
����
��T��
����+�����������O��Q
���
����+�������!��!���������PT���T�����+
O��
�
�
�[�����T����Z
!
?��������Z�������P����
��Y�����+��T�������/
�
����
�!�G���S
��T��������
����
��
��+
���
�+�/
�����
���
�Q�
���U��������+����
Z��
��PT����/
������
��D$'D!�D�����
����
������Z�
�
�
����
���
����P+
����T+
���S+���+
�+�Z���PT�Q��+��QR�/
�������+�����
�
��� ���T��U
���
��
����Z���
����/
�����
��+��������������
��+�
��T��S�����T���
��
Z�����
���
�
����
�����������U
+�
���
�
�
/
�
�����
�+!�'����QS����
���
�
�
������
���� �/
����
��+��������
�
�����
�����
����
����Q[��+���/
S���������U�������T+��P��S�+���
S
�Q��TR��
�S��/
�T��������
����
�!
����Q�����P����
����
�
S �������
�����
�����
��P+
����T+
���S+���+
�Y� ���� ����
�������Q
����������
�
�
�����������Q�����P���
+����������/
��+�������+���
O
��+!�?�/����T��������� ���O��PT
��
����
O��
�+��
����
�����
�������
O��
���
/
����
�PT��������
S��������O���#���
O
���������
��U���������S�����������T������
�������S���O
*!�?�/
����T���
S+����
������ ��[
�����Z�����
�P�S��� �
�O��Q���������S���O��[�
��
�����
���
����
���/
U� �������������#��������*����
��U���� ��P
���[�/
����� ����������Q���� �+��QR����R
�
���������/
��� ���
������S��O
���������
������P
�Q����
������/
��
O��
� �����������
�S�O������
�����S+�Z����
�T������
�����P����
���������Z����
�
�����
��T+
���+�+!�?/����Q
�������������Q����P���
+�������P��/
��O��
������R� ������
�T�
���������
���+��������/
����������+�Z����
���
��
�
����
��+!
'�� ��
������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+
����
������
���ST���+� ��\ ��P�
� ����P+
����]
#�X���+�
�+����*���������������������S+�Z�T+���S/
�����Q��������
�����
S��������D$'D�
�
������
/
�
�����
��V����W!�������
������
������Z����O
�T/
���Q���U������������
�����
�� ��+���
O��
���[��/
+T�����O������+��
�������
S�P��Z��
�����[���/
R�P����!�-�����
�����
���TST�����������T������/
�
��� ���
���
��� ����T�
S��O��
���
����QS��+� �
��������+�������
+���� ��+���
O��
+
���S+���+
����O��+�������
���T!
������
��D$'D�
S+����������+�������
�����Z/
�T��
���O�
�������U��
���������
��[
���
����
/
�
��[[�
����P�
S���
���O��������O��+� �����Q�[�
����������
�
�
���������[[�
���P��QR
������������/
����
�
���������U
+���������+�[����
�� ��[
��������
��
����
�������O������S�
O�T���������
/
O��
��^������^�VXW!
?�����
����T��
����
�
���
�������
�����S/
+�Z��������
��+�
�
O��
+�����+��������� �������/
P������Q� PT� ��
R
�+�+�� �� ���+��
!�G����+��
����QS����������P�����+�U�T�����������+����
/
�����
�� �������
O��
� ����������� ���
S�������
D$'D��
�
����T+������������
���+T�KLMN!
,��P���
+����+��
�Q��O�����������U������+����/
U�����������
��Q
��+�U�T���
���+�KLMN���
��
����
+����[
�+�
�
�K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg
dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������
�*��dha7j6h6�`ab!
�d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-�
��
���+T�KLMN
�P����O
�������S+�Z����Q��
��S�� ��+����
����/
�
���������
O��
� �����������
S �������
��D$'D!
D��
+���Q�����P�T����� ��++�T����������
�O
�/
������������+
��T��O����������S���
���S
������ �/
������Z�������
+���
���� ����
�����
��
���������/
��P�T�� ��+�����
��
����QS����Q!�?�������U������/
�Q����OQ����������+��������
����QS��+T���� ��
�
�
���+����������
O��
� ��+����
�����
�!
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
��������� �
����
����
����������������
,����������������������
�
O�T���������
O��
�
+��R����
S �������
��E)"G�D$'D!
G�����O������O��
������
S��+���E)"G/����
��/
�T���
�S�������������!
G�
���S��P��
���������
O��
� ��+��R�����[��/
+
�����
����P+
����T��E)"G�D$'D�
�� ��+���/
�
�����
����
���+���KLMN�������������Q������/
���������O��
��S������ ����
+���� �����[
����
�/
���T�����������O����Q�����������������������+���/
�
�����
�����
��
O��
������
���
��
!�'S���
��/
����T������
�!� ��������
O��
��������
�������/
�������Q���[��+
�����
���
+���� �����[
���
/
������������T�
������
+�������
�
���������U�/
����Z
�!
'+�������
���P����O
�����O��S�TO������������/
�T��
�������
S���
+T�����[
�
�
���������
��S�/
�����+T������������+���������
����
�+�
�������
���+����������!�E��+���� ����
�
��T�����
��
����Q/
S��+T����
�O������+���
���
��
[[�S
��+�Z�����
/
+����Q�
�����+��
�����
���������R��
��
�
����+�
��O
�!�'������
+�������
������������
S
���+����/
����T+���������+�� ����
�� ���� ��
�
�����
S��
�����Z���
����R��
�
��
�
�
�����
����
+�����#��/
��+�U��
�����+�����
+��
�
S�+�Z���S�
�����S�T
��R��
*����P��������������U
����Z
!
�������O����
+�������
���� ����
+���� �����/
[
������
���+��KLMN���
+������������
�
O��
�
+����T�����������
����T����Z���[��
�
���������/
���
��%������
�
�G
�����!�?���
��+������������
�/
������ O���
�Z�T����O�
�
+�����
������T��
����
�TST��������������������
��
������������
�������/
��������
��������������T+
������������
�+
�%�/
�����
�G
�����!���������O��
����������
���������/
���
��
����������� ����O
����
+��������
��
����/
�����S
�
!
E��+�� �� ��� ����+����
�����
�������������
�
+�����
������T��
�����
�
+�������
���T����[�
/
������
+��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/
��+������+����
�������[
S
O��
����PT�
������/
�����U
����
����+�Z��
������Q�T��O���
�!�'��T
���+�S�������
������T������
�����
���
�����S��Q��/
������
������ ������
�!�C����T������
�����
����
/
�T�������[��+�����>
�������!�)��������Z��
�
�����
���U
�����+���+
R��
��O
����������O���T+!
G��
+�U������+������)����/E�����S�
��O�����
����
��U�+��+�����+�+�����������
�����Q�T+�[
/
S
O��
+���PT�
�+����������������������
�Y���O��S/
+���T��S��������+�R
��� �����+��
�����P���
+� �
��������O��
������
��
O��
�����Z�T����S��Q�����!
E�
���+�O����Q��TR���������
������
+�������
���P���
+��������
�Q���Z
!�)����Q���Z
�����
�/
��+���KLMN������Q������Z���
��O
�T�����
�
��
[/
[�S
���T���������T�� ��
�
��������T��
+
O��
�
������U��
���������������
������
�T!�=��
���Z
������
����S��
����
�����+�Z���
����+��
��
S+�/
���+T����
����+
�����
S+����
��
���������
���� �
���[
�������S��Q������
[[�S
���S��O
���Q��!�=��
Z����Z
�������
������
���Q�������+������
����
�
S��O
���Q�������������������
����
+��
!
?��������+����
�����
���
[[�S
���� ����
+��/
�� �����[
�����Z
���
[[�S
�������������
�!�G�/
�
��Q
������������O���������������
�����
������#
��
+����� ���
��
[[�S
�����
����
����
� �T��
��
���������
�
+�����
�����������
+��
*��������P/
���
+�����QS����Q���O
�����T+
�+�����+
���R��
�
�
[[�����
��Q�T���������
�!
G������T����Z���
��
��������
��+�Z�������+��/
�
���Q�
�
�����+� ����Q�T��������������
������
/
�
������
[[�S
�
�
+�������
!���O����Q��������/
�
����
��������������
�������
�O����������O�����
������
�
�
��������O���������
�������P�������Z/
�T+���
�����
�
�����
���P+
����T������
���!
"��Z���
��
��������
���������+���
P�
Z��
+�Z�������+���
���Q�
�
��������T��
������
���+T�
�
�����Q���������������� ���
�
!�E�Z���� ��O
�
����������
�����+���
�������
�
�P��
���O���+��T�
���O�
�%�� ��������������
��U
����
��������
���+����������������P��� ��+���
O��
���+�������/
O�
�
����
��������+
��[���+
���
��
����
��
���O/
�
��!������T������
����O�T��
��[[�
�
��T�����/
O��������� ��
�+������P���
+���O
�T���Q����P����/
��
�+����
���+T������������
� ������������U
�
���
O�T�������
�!
'���
��������S��P��O
���������
O��
� �����/
��������Z���S���Q��
�
��� ��
S�������
���+��+���/
��������
��
���������� �
���
���
�������� ����������� �����
��
�������� �������� p- � n-
��� ��
�� ������
������
����
�������� �����
������� ������ �
��������
�����������
�������� ��
���� � �
���� ��
�� ������
������
����
������������ ��������
������������ ��
���
����
�������� ��
��������� �
��������
��������������
(
�!k !��������
O��
��+��R����
S �������
��E)"G/
����
���
)�����
S��
�
)�Z�����T�
�
���
��
G��
��+�
�
G��S������T�
�
���
��
D
�
�
�
/l /l 0l0l
�/
��+�� %/
��+��
�/�����Z
�
G���
�
�����
�
(
�!k�!�G�����O���� ��O��
��E)"G/����
���T
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�
�����
�!�E�
��
����
S��������� ������� ��++�T�
�+������T��
���+�KLMN�+�Z�������������SP
�Q
�����
� ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/
O����������� ����
������T��[�����!�����T�������/
����
O��
�+����������
S �������
��D$'D��������/
��
�����
�
���+���D$'D�������������
+
������/
��++�T��
��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/
������ ��++T�+����
�����
�!�"�
��
�
�����
������
+������S�
�� �� ��[
O��
� ��
����[�����������
�
G���+���T� �������
O��
� �
���������� ������
�
?����T��[���T
?����T��[���T
G�
+���T�����[
�
�� ��[
���
��
O��
������
���
��
G�� ����
�������T�
[�����
����+����
�����
�
)����
�����
�
��
+���T�����[
����
���
��
O��
������
��/
�
��
?
S���Q���
���P��Z��
�
�T����T��[�����
(
�!k�!�D���
������
���+�KLMN
��+�UQ����������������O��T����S��Q���T�
����T����/
�������������T����T��[������+����
�����
�!�G��/
�+�����Q���S��Q���T�+����
�����
��+�Z�������+�/
UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++��
S�/
��Q�� �����P��Z��
����S��Q������+����
�����
�!
,���������
���+�KLMN�S������������+���T����/
����
O��
� �����������#������������Q����Q��T���/
���
��������
��
���
��
����P���
+T������T�����
���T������
�*������
Z��������
�!�,���T���������/
O���������[
�
������������
����
+�������
��+�
�/
���������
����
����T��� �� ������O����Q�� ��������
�����T+
�����T+
�������������U� ��+����
��/
���
�����
��
O��
������
���
��
!
D���+�UQ���
���+�KLMN�������
������S+�Z�T+
������Q
������
�
�����Q��������
O��
����������
���
������Z
���Q�� �������
Z����� ��S
�����Q���
�/
�
�������Q�T������+�������������
O��
� ����������
���
�O����������O��+T��D$'D!
'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E'
!�)"G�D$'D!�)����
�����
�� ���+������
� �������
O�/
�
�� ���������� n� G��� ���!� G!�@�������
�� �!�@����
��
���
(!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(��
��
����SQ�� opp!
�!�q���
��!��-�
����>!��%�
�
O�-!�-��
����
����Q���P��Q/
R
��
��� ���Q�T�����+!Y�)!4�)
��� oo !
�!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex
y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������!
�!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~
93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn
`a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y
����!Y��!� p�XYp�p!
X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh
�e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp!
�����������
�
�
�
�
�
���
�
�
�
�
��������� �
���
������� �
� ����������������������������
�
��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������
� !���� $��%����!� &�� '�
'�����()�*!�������+������!�������,�
���-���.� �����
�/
�)�!
0112�-�013�(�
��������
�����
�
�
��
���
�� ������ ������������ �
� ��������
���������
�
������ ����
�
�
� ���� � ���������������
�����
��� ����� ���
��� ��
������� � ��
��
���� ����! �
�������
��
�
�"����� ������ ������� � �������
���
� ����
��
����#� ��������� ��
�#���
�
�
�� � $���
���#��
��� � $����
�"����� ��
��
����� "��
�
�� ������������ � ����������� ���
�������� �
�
��
��
����� �
��������"����� �
���
�����
����� ������
���� "��
�
�� ��
���
�
�� ����
����
�������
�"����� �������
�
��$���
�"����� �
���
�����
���� �
��
�
�#��
���� ��
���
�! �
���
������ ��
��� ����
��� ��
���
��� ��
��
�
��
��%���
���
� ��
���
�� �� �
�������� �
��������
�
������
������ � ��
�
����
���
����
� &
'� ���(�����
��� ������%����
��
���
���
��������
�
������ ����
�
�
�
���� � ��������������& )���
��
� ������� ����
��
�� � �
����
�� �
�
*��
��
���
����
����"����� +�����
�
��&
4�*
����5�6 ��������)
�
�)��-���.�7�/
�(6� �!�0118�-�980�(�
� ���#� *�# �� *�#��
���
����
� ��
(�+
���� $���
������ �� �������� ��
� �
�#��� �����
��
������& ,
� �������� �"������ ��
�
����������� ����
����*�� ���
�
�������
������� ��
������
�& )�
�
��� ������� ����������
����� � ���
��� ��"��� � �����& ���
������
��
� � ���
����� � ����"���
� ���(� ������ #���� ������ %
�
���
�
� ��������� �
�������#� ��
�
����!
� ���(� �"������ �
�������
�*��� &
���#� �
�������"��� �� �
����
�� $���
�
����"����� � ��*����
��
������
���(�������
��� ������
����
��
�����
�������� �
���� ����� �
� ��
�
����
�
���
������� (�+
����
�������&
|