Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD - Глушко, А.А.; Родионов, И.А.; Макарчук, В.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.