Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора
На основе теории функции комплексного переменного и конформных отображений проведен расчет коэффициентах преобразования кондуктометрического датчика биосенсора по уточненной пятикомпонентной модели....
Gespeichert in:
Datum: | 2007 |
---|---|
Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52874 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора / А.А. Михаль, М.П. Рубанчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 35-39. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52874 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-528742014-01-09T03:08:12Z Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора Михаль, А.А. Рубанчук, М.П. Сенсоэлектроника На основе теории функции комплексного переменного и конформных отображений проведен расчет коэффициентах преобразования кондуктометрического датчика биосенсора по уточненной пятикомпонентной модели. 2007 Article Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора / А.А. Михаль, М.П. Рубанчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 35-39. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52874 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника |
spellingShingle |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника Михаль, А.А. Рубанчук, М.П. Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
На основе теории функции комплексного переменного и конформных отображений проведен расчет коэффициентах преобразования кондуктометрического датчика биосенсора по уточненной пятикомпонентной модели. |
format |
Article |
author |
Михаль, А.А. Рубанчук, М.П. |
author_facet |
Михаль, А.А. Рубанчук, М.П. |
author_sort |
Михаль, А.А. |
title |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
title_short |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
title_full |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
title_fullStr |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
title_full_unstemmed |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
title_sort |
расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2007 |
topic_facet |
Сенсоэлектроника |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52874 |
citation_txt |
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора / А.А. Михаль, М.П. Рубанчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 35-39. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT mihalʹaa rasčetkoéfficientapreobrazovaniâkonduktometričeskogodatčikabiosensora AT rubančukmp rasčetkoéfficientapreobrazovaniâkonduktometričeskogodatčikabiosensora |
first_indexed |
2025-07-05T04:22:40Z |
last_indexed |
2025-07-05T04:22:40Z |
_version_ |
1836779423712411648 |
fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
35
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
28.03 2007 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Á. À. ÄÅÌÜßÍ×ÓÊ
(ÎÍÓ èì. È. È. Ìå÷íèêîâà, ã. Îäåññà)
Ê. ò. í. À. À. ÌÈÕÀËÜ, Ì. Ï. ÐÓÁÀÍ×ÓÊ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èíñòèòóò ýëåêòðîäèíàìèêè
E-mail: Marymed@ukr.net
ÐÀÑ×ÅÒ ÊÎÝÔÔÈÖÈÅÍÒÀ ÏÐÅÎÁÐÀÇÎÂÀÍÈß
ÊÎÍÄÓÊÒÎÌÅÒÐÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÄÀÒ×ÈÊÀ ÁÈÎÑÅÍÑÎÐÀ
Íà îñíîâå òåîðèè ôóíêöèè êîìïëåêñíî-
ãî ïåðåìåííîãî è êîíôîðìíûõ îòîáðà-
æåíèé ïðîâåäåí ðàñ÷åò êîýôôèöèåíòà
ïðåîáðàçîâàíèÿ êîíäóêòîìåòðè÷åñêîãî
äàò÷èêà áèîñåíñîðà ïî óòî÷íåííîé ïÿ-
òèêîìïîíåíòíîé ìîäåëè.
Êîíäóêòîìåòðè÷åñêèé áèîñåíñîð (ÊÁÑ) ïðåäñòàâ-
ëÿåò ñîáîé äèôôåðåíöèàëüíûé ïåðâè÷íûé ïðåîáðà-
çîâàòåëü, ñîñòîÿùèé èç äâóõ êîíäóêòîìåòðè÷åñêèõ
äàò÷èêîâ (ÊÄ). Êîíñòðóêòèâíî ÷óâñòâèòåëüíûå ýëå-
ìåíòû ÊÄ ñîñòîÿò èç äâóõ èäåíòè÷íûõ ïî ãåîìåòðèè
ñèñòåì ýëåêòðîäîâ, òîïîëîãèÿ êîòîðûõ, êàê ïðàâèëî,
ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé âñòðå÷íûå ãðåáåíêè. Íà îäíó èç
ïàð ýëåêòðîäîâ íàíîñÿò òîíêèé ñëîé áèîëîãè÷åñêè
àêòèâíîé ìåìáðàíû, ÷óâñòâèòåëüíîé ê èññëåäóåìî-
ìó âåùåñòâó. Èññëåäóåìîå âåùåñòâî, êîíöåíòðàöèþ
êîòîðîãî íåîáõîäèìî îïðåäåëèòü, äèôôóíäèðóåò ÷å-
ðåç ïîëóïðîíèöàåìóþ ìåìáðàíó â òîíêèé ñëîé áèî-
êàòàëèçàòîðà, â êîòîðîì ïîä äåéñòâèåì áèîëîãè÷å-
ñêîãî ìàòåðèàëà ïðîòåêàåò õèìè÷åñêàÿ ðåàêöèÿ. Ðåçóëü-
òàòîì ýòîé ðåàêöèè ÿâëÿåòñÿ èçáûòî÷íàÿ êîíöåíòðà-
öèÿ èîíîâ.
Ñóòü çàäàâàåìîãî ôèçè÷åñêîãî ïðåîáðàçîâàíèÿ çà-
êëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ïîä äåéñòâèåì ïðèëîæåííîãî ãðà-
äèåíòà ýëåêòðè÷åñêîãî ïîòåíöèàëà èçáûòî÷íàÿ êîí-
öåíòðàöèÿ èîíîâ ïðåîáðàçóåòñÿ â ïðèðàùåíèå ñîïðî-
òèâëåíèÿ íà ýëåêòðîäàõ ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà. Ñ
îäíîé ñòîðîíû, äëÿ áîëåå òî÷íûõ èçìåðåíèé íåîáõî-
äèìî ñòðåìèòüñÿ ïîâûøàòü ñîïðîòèâëåíèå. Ïðè çà-
äàííîé êîíöåíòðàöèè òàêîé ðåçóëüòàò ìîæíî ïîëó÷èòü
â ïåðâè÷íîì ôèçè÷åñêîì ïðåîáðàçîâàòåëå ñ ìàêñè-
ìàëüíûì êîýôôèöèåíòîì ïðåîáðàçîâàíèÿ. Ñ äðóãîé
ñòîðîíû, êàê ïðàâèëî, áèîëîãè÷åñêèå ìåìáðàíû äî-
âîëüíî äîðîãè. Ïîýòîìó èõ îáúåì äîëæåí áûòü ìè-
íèìàëüíûì è, ñëåäîâàòåëüíî, ìèíèìàëüíûìè äîëæ-
íû áûòü ãàáàðèòû ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû [1].
Ïðîèçâîëüíîå âàðüèðîâàíèå ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ
ìîæåò ïðèâåñòè ê òîìó, ÷òî äëÿ ìàëûõ (1�10 ìêì)
çàçîðîâ ìåæäó ýëåêòðîäàìè â îáùåé ïðîâîäèìîñòè
ìîæåò ïðåâàëèðîâàòü âêëàä êàê äâîéíîãî ýëåêòðè-
÷åñêîãî ñëîÿ, òàê è ôàðàäååâñêèõ ïðîöåññîâ íà ìåæ-
ôàçíîé ãðàíèöå ìåòàëë/ýëåêòðîëèò.  ýòîì ñëó÷àå ïåð-
âè÷íûé ïðåîáðàçîâàòåëü íåîáõîäèìî ðàññìàòðèâàòü
íå êàê êîíäóêòîìåòðè÷åñêèé, à êàê ýëåêòðîõèìè÷å-
ñêèé. Ïðîáëåìà â òîì, ÷òî îäíè è òå æå ïàðàìåòðû
ýêâèâàëåíòíîé ñõåìû áóäóò èíôîðìàòèâíûìè äëÿ
îäíîãî òèïà ïðåîáðàçîâàòåëåé è äåñòàáèëèçèðóþùè-
ìè äëÿ äðóãîãî òèïà. Òî åñòü äëÿ êàæäîãî ïðåîáðàçî-
âàòåëÿ òðåáóþòñÿ ñâîè ýíåðãåòè÷åñêèå ðåæèìû è,
ñîîòâåòñòâåííî, ôóíêöèîíàëüíûå ñõåìû âòîðè÷íûõ
ïðåîáðàçîâàòåëåé.
Òàêèì îáðàçîì, ÷òîáû ðàññìàòðèâàòü ñåíñîð êàê
êîíäóêòîìåòðè÷åñêèé ïðåîáðàçîâàòåëü è ïîëó÷èòü äëÿ
íåãî ìàêñèìàëüíóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ïðè ìèíèìàëü-
íîé ïëîùàäè ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû (÷òî îáåñïå÷èâà-
åò ìèíèìàëüíûé îáúåì èññëåäóåìîé ïðîáû) è ïðè
ìèíèìàëüíîì âëèÿíèè ïðèýëåêòðîäíûõ ïðîöåññîâ,
íåîáõîäèìî äîâîëüíî òî÷íî çíàòü êîýôôèöèåíò ïðå-
îáðàçîâàíèÿ ÊÄ áèîñåíñîðà.
Îïèñàíèå ðàñ÷åòíîé ìîäåëè. Ðàñ÷åòàìè ïëàíàð-
íûõ ãðåáåí÷àòûõ ýëåêòðîäîâ çàíèìàþòñÿ äàâíî. Êàê
ïðàâèëî, äëÿ ðàñ÷åòà êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ
ïëàíàðíî ðàñïîëîæåííûõ ýëåêòðîäîâ èñïîëüçóþò
ìåòîä êîíôîðìíûõ îòîáðàæåíèé, êîòîðûé ñïðàâåä-
ëèâ äëÿ ïëîñêîïàðàëëåëüíûõ ïîëåé. Íàïðèìåð, â [2]
áûë ïðîèçâåäåí ðàñ÷åò ïîëÿ äëÿ èíäóêöèîííûõ ïå-
÷åé Â×-íàãðåâà, ïîçæå ìåòîä áûë èñïîëüçîâàí ïðè
ðàñ÷åòå êîíñòàíòû ÊÄ [3]. Îäíàêî è â òîì, è â äðó-
ãîì ñëó÷àå ïëîñêîïàðàëëåëüíîå ïîëå èìååò ìåñòî ïðè
áåñêîíå÷íî äëèííûõ ýëåêòðîäàõ è íåîãðàíè÷åííîì
êîëè÷åñòâå ãðåáåíîê. Òàêàÿ ðàñ÷åòíàÿ ìîäåëü íå ó÷è-
òûâàåò êðàåâûå ýôôåêòû íà ïîñëåäíèõ êðàéíèõ ýëåê-
òðîäàõ è íà òîðöàõ ýëåêòðîäîâ. Áîëåå òî÷íàÿ, òðåõ-
êîìïîíåíòíàÿ ðàñ÷åòíàÿ ìîäåëü áûëà ïðåäëîæåíà â
[4]. Îäíàêî è â ýòîé ìîäåëè íàðóøàëàñü ðàñ÷åòíîñòü
ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû, ïîñêîëüêó â ðàñ÷åò âõîäèëè
η
λ λ λ λξ ξ ξ ξ
µ µ µ µ
µ µ µ µ µ µ
η η
η η
2
1
Ðèñ. 1
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
36
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
òîëüêî îáëàñòè λ, ξ è η. Êàê ñëåäóåò èç ðèñ. 1 (1 �
ïîòåíöèàëüíûå ýëåêòðîäû, 2 � çàçåìëåííûå ýëåê-
òðîäû), ÷àñòü ïðîñòðàíñòâà, à èìåííî îáëàñòü µ, íå
âõîäèò â ðàñ÷åò êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ.
Âòîðîé ôàêòîð, ñíèæàþùèé òî÷íîñòü ðàñ÷åòà êî-
ýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ, êàñàåòñÿ òîëùèíû ýëåê-
òðîäîâ. Äëÿ òåõíîëîãèé, îáåñïå÷èâàþùèõ òîíêèå
ïëåíêè (äîëè ìêì), ýòèì ôàêòîðîì ìîæíî ïðåíå-
áðå÷ü. Íî äëÿ äåøåâûõ âàðèàíòîâ ÊÁÑ, èñïîëüçóþ-
ùèõ, íàïðèìåð, ôîëüãèðîâàííûé ñòåêëîòåêñòîëèò ñ
òîëùèíîé ôîëüãè 18 èëè 35 ìêì, áóäåò âîçíèêàòü äî-
âîëüíî ñóùåñòâåííàÿ îøèáêà â ðàñ÷åòàõ.
Äëÿ ðàñ÷åòà ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû ÊÁÑ ìû èñ-
ïîëüçîâàëè ñóùåñòâóþùóþ, õîðîøî ðàçâèòóþ òåî-
ðèþ ðàñ÷åòà ïîãîííîé åìêîñòè. Îäíàêî, êàê ñëåäóåò
èç [5, ñ. 17], â ñèëó ìàòåìàòè÷åñêîé àíàëîãèè ïîòåí-
öèàëüíûõ ïîëåé ðàçëè÷íîé ôèçè÷åñêîé ïðèðîäû ñó-
ùåñòâóåò ïðÿìàÿ çàâèñèìîñòü ìåæäó åìêîñòüþ Ñ è
ïðîâîäèìîñòüþ G:
,
G C
A= =
γ ε (1)
Ïðè ýòîì ïîñêîëüêó âûðàæåíèå (1) åñòü îòíîøå-
íèå ôèçè÷åñêèõ âåëè÷èí íà âûõîäå è âõîäå ïðåîáðà-
çîâàòåëÿ, òî ïàðàìåòð À íå ÷òî èíîå, êàê êîýôôèöè-
åíò ïðåîáðàçîâàíèÿ ñîîòâåòñòâóþùåãî ïåðâè÷íîãî
ïðåîáðàçîâàòåëÿ.
Ñ öåëüþ ïîëó÷åíèÿ áîëåå òî÷íîãî âûðàæåíèÿ äëÿ
êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ ÊÁÑ àâòîðû ïðåäëà-
ãàþò:
� âî-ïåðâûõ, èçìåíèòü êîíôèãóðàöèþ ýëåêòðî-
äîâ ïóòåì çàìåíû ïðÿìûõ óãëîâ ïðîâîäíèêîâ íà ñî-
îòâåòñòâóþùèå äóãè îêðóæíîñòåé (ðèñ. 2);
� âî-âòîðûõ, ê ñóùåñòâóþùåé òðåõêîìïîíåíò-
íîé ìîäåëè ðàñ÷åòà [4] äîáàâèòü åùå äâå ñîñòàâëÿþ-
ùèõ � Gµ è Gφ, êîòîðûå ó÷èòûâàþò ñîîòâåòñòâåííî
âêëàä ïîëÿ â óãëàõ ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû è òîëùèíó
ýëåêòðîäîâ.
Ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà äîïîëíèòåëüíûõ ñîñòàâëÿþ-
ùèõ. Îáîçíà÷èì îáëàñòü ñèëîâûõ ëèíèé, îãðàíè÷åí-
íóþ êîëüöåîáðàçíîé ÷àñòüþ ýëåêòðîäîâ, ñèìâîëîì µ
(ðèñ. 2); ñîîòâåòñòâåííî ïðîâîäèìîñòü áóäåì îáîçíà-
÷àòü Gµ.
 [6] ïðèâåäåíû îáùèå âûðàæåíèÿ äëÿ ðàñ÷åòà
åìêîñòè Gµ, îáðàçîâàííîé äâóìÿ ðàçíîèìåííî çàðÿ-
æåííûìè êîàêñèàëüíûìè êîëüöåâûìè ýëåêòðîäàìè ñ
ðàäèóñàìè à1, b1, a2 è b2, ðàñïîëîæåííûìè â îäíîé
ïëîñêîñòè. Îäíàêî â íàøåì ñëó÷àå âíóòðåííåå êîëü-
öî ïðåâðàùàåòñÿ â êðóã, ò. å. a1=0. Òîãäà, â ñîîòâåò-
ñòâèè ñ (1), âûðàæåíèå äëÿ ðàñ÷åòà Gµ áóäåò èìåòü
ñëåäóþùèé âèä:
1
2 2
2 2 12 2
2 22
1 1 2
2 2
3
,
4
1
G b N b Y Y
b b a
b b
−
µ
π = − + γ −
(2)
ãäå N � êîëè÷åñòâî ïîòåíöèàëüíûõ ýëåêòðîäîâ (òîã-
äà êîëè÷åñòâî ó÷àñòêîâ ñî ñêðóãëåííûìè óãëàìè ýëåê-
òðîäîâ áóäåò 4N);
3 2
2 2 2
2
2 2 2
2
2 2
2 2
1 1
1 ;
a a a
Y E
b b b
a a
K
b b
= + − + +
+ −
(3)
2
1 1
12
2 2
2 3
1 1 2
2 2 2
2 2
1 1 1 1
2 2 2 2
1
1
1 1 ;
b b
Y E
b b
b b a
K
b b b
b b b b
E K
a a a a
= + −
− − − ×
× + − −
(4)
Ê è Å � ïîëíûå ýëëèïòè÷åñêèå èíòåãðàëû 1-ãî è 2-
ãî ðîäà.
Äëÿ ñîïîñòàâëåíèÿ ïîëó÷åííûõ âûðàæåíèé ñ ïðåä-
ûäóùèìè ðàñ÷åòàìè, ïðèâåäåííûìè â [4], íåîáõî-
äèìî ïðåäñòàâèòü ðàäèóñû ÷åðåç øèðèíó ýëåêòðîäà
à è çàçîð ñ.
Êàê ñëåäóåò èç ðèñ. 2, a2=b1+c, b2=b1+c+a.
 ñîîòâåòñòâèè ñ àëãîðèòìîì ðàñ÷åòà, ïðåäñòàâ-
ëåííûì â [4], ïåðåéäåì ê áåçðàçìåðíûì âåëè÷èíàì:
p=a/c, f=a/b1. Òîãäà âûðàæåíèÿ (2)�(4) ïðèìóò ñëå-
äóþùèé âèä:
ãäå γ �
ε =
εp �
ε0 �
óäåëüíàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîâîäèìîñòü èëè, â ñîîòâåòñòâèè
ñ ÄÑÒÓ 3651.1, ýëåêòðîëèòè÷åñêàÿ ïðîâîäèìîñòü
ðàñòâîðà;
εpε0;
äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü ñðåäû;
äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü âàêóóìà.
a
c
a/2
b2
a2
b1
ξ
µ
η
Ýëåêòðîäû
Ðèñ. 2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
37
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
( ) 23
4
G a p f fp N
fp
µ + + π
= ×
γ
( )2
12
3 2
1
2
22
;
1
c p f fp Y
f p p
p f pf
Y
p f
p f pf
−
+ +× − + + +
+
+− + +
(5)
3
2
2
2
1
1
1 ;
f p
Y
f p fp
f p f p
E
f p fp f p fp
f p f p
K
f p fp f p fp
+= + − + +
+ +− + + + + + +
+ ++ − + + + +
(6)
2
12
2
3 2
2
1
1
1
1 .
p p
Y E
p f pf p f pf
p p
K
p f pf p f pf
p f p p
E
p f pf p f p f
p p
K
p f p f
= + − + + + +
− − − + + + +
+ − + − + + + +
− − + +
(7)
Òàêèì îáðàçîì, íàìè ðàññìîòðåíû âñå ó÷àñòêè
ïîëÿ, îáðàçîâàííûå ýëåêòðîäíîé ñèñòåìîé â âåðõíåé
ïîëóïëîñêîñòè. Â çàâèñèìîñòè îò ïîëîæåíèÿ ðàññìàò-
ðèâàåìûõ ýëåêòðîäîâ ýòî ìîãóò áûòü îáëàñòè η, λ
èëè ξ � èç ìîäåëåé, ïðåäñòàâëåííûõ â [4], èëè îá-
ëàñòü µ, îïèñûâàåìàÿ ôîðìóëîé (5). Ñòðîãî ãîâîðÿ,
äëÿ åìêîñòíûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé íåîáõîäèìî ó÷èòû-
âàòü ïîëå íèæíåé ïîëóïëîñêîñòè. Îäíàêî äëÿ êîí-
äóêòîìåòðè÷åñêîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ ýòîé ñîñòàâëÿ-
þùåé ìîæíî ïðåíåáðå÷ü, ïîñêîëüêó óäåëüíàÿ ýëåê-
òðè÷åñêàÿ ïðîâîäèìîñòü áóôåðíîãî ðàñòâîðà è ïîä-
ëîæêè îòëè÷àþòñÿ íà 3�4 ïîðÿäêà.
 òî æå âðåìÿ äëÿ ïëåíîê, òîëùèíà êîòîðûõ îäíî-
ãî ïîðÿäêà ñ çàçîðîì ìåæäó ýëåêòðîäàìè, íåîáõîäè-
ìî óòî÷íèòü ðàñ÷åòíóþ ìîäåëü. Ýòà ìîäåëü äîëæíà
ó÷èòûâàòü òîëùèíó ýëåêòðîäîâ (ðèñ. 3). Òîãäà â äî-
ïîëíÿþùåé ìîäåëè â êà÷åñòâå ýëåêòðîäîâ âûñòóïàþò
ïëîñêîñòè À è CD. Î÷åâèäíî, ïîëå ìåæäó íèìè èäåí-
òè÷íî ïîëþ èäåàëüíî ïëîñêîãî êîíäåíñàòîðà. Ïðè ýòîì
åìêîñòü Ñ ìîæíî îïðåäåëèòü ÷åðåç ïëîùàäü S è çàçîð
d ïî èçâåñòíîé ôîðìóëå C/ε=S/d. Ñ ó÷åòîì óðàâíåíèÿ
(1), ñîñòàâëÿþùàÿ, îïðåäåëÿåìàÿ ïðÿìîëèíåéíûìè
ó÷àñòêàìè, çàïèøåòñÿ ñëåäóþùèì âûðàæåíèåì:
( )1 2
2
2
2 1
2 1
1 ,
2
G NhL ha
N
c c
Nh
L a
c N
φ = + + =
γ
= + +
(8)
Òàê êàê L2>>a, òî ïðè N→∞ âûðàæåíèå (8) ïðè-
ìåò ñëåäóþùèé âèä:
( )1
2
2
.
G Nh
L pc
c
φ ≈ +
γ (9)
Âëèÿíèå ñêðóãëåííûõ ó÷àñòêîâ ìîæíî ó÷åñòü âû-
ðàæåíèåì, èçâåñòíûì èç [7, ñ. 345]:
2
2
1
2
4 .
ln
G h
N
a
b
φ π=
γ
(10)
Ïðîñóììèðîâàâ âûðàæåíèÿ (9) è (10), ïîëó÷èì
ïîëíîå âûðàæåíèå äëÿ Gφ, ó÷èòûâàþùåå òîëùèíó
ýëåêòðîäîâ:
( )2
2 8
.
ln
G Nh hN
L pc
c p f
p
φ π= + +
γ +
(11)
Ñ ó÷åòîì ïîëó÷åííûõ ðàíåå óðàâíåíèé îáùåå (ïîë-
íîå) âûðàæåíèå äëÿ êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ
ÊÁÑ áóäåò èìåòü ñëåäóþùèé âèä:
,
G G G G
A
Gξ η λ µ φ+ + +
=
γ
+
(12)
ãäå ( )2
2
2
2 ( )
1 ;
( )
G K k
N L
K k
ξ = −
′γ
Ïîäëîæêà
Ýëåêòðîäû
A
B
C
D
φ
ξ η λ µ
Ðèñ. 3
ãäå h �
L2 �
ñ �
à �
òîëùèíà ýëåêòðîäîâ;
äëèíà ýëåêòðîäîâ;
øèðèíà çàçîðà;
øèðèíà ýëåêòðîäà.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
38
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
( )1
1
( )
2 1 ;
( )
G K k
pc N
K k
η = + ′γ 2
2 ( )
;
( )
K k
L
K k
Gλ =
′γ
( ) 23
4
G a p f fp N
fp
µ + + π
= ×
γ
( )2
12
3 2
1
2
22
;
1
c p f fp Y
f p p
p f pf
Y
p f
p f pf
−
+ +× − + + +
+
+− + +
( )2
2 8
;
ln
G Nh hN
L pc
c p f
p
φ π= + +
γ +
ki è ki' � ìîäóëè ýëëèïòè÷åñêèõ èíòåãðàëîâ.
Âûðàæåíèÿ äëÿ Gξ, Gη, Gλ, ki è ki' âçÿòû èç [4].
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî â êîíäóêòîìåòðèè, êàê ïðà-
âèëî, èñïîëüçóåòñÿ òåðìèí «êîíñòàíòà» êîíäóêòîìåò-
ðè÷åñêîãî äàò÷èêà Êä. Î÷åâèäíî, ñîãëàñíî êëàññè-
÷åñêîìó îïðåäåëåíèþ êîíñòàíòû, ïðèâåäåííîìó â [1],
ýòà õàðàêòåðèñòèêà äàò÷èêà îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëü-
íà êîýôôèöèåíòó ïðåîáðàçîâàíèÿ (1):
ä
1
.Ê
A
= (13)
Ïîýòîìó ðàññìîòðèì íåêîòîðûå ðåçóëüòàòû â ãðà-
ôè÷åñêîì âèäå, ðóêîâîäñòâóÿñü òðàäèöèîííîé â êîí-
äóêòîìåòðèè òåðìèíîëîãèåé.
Òàê, ðåçóëüòàòû âû÷èñëåíèé ñîãëàñíî âûðàæåíè-
ÿì (12) è (13) ïðè ð=1; 2 è òîëùèíå ýëåêòðîäîâ h 18
è 35 ìêì ïðåäñòàâëåíû â ãðàôè÷åñêîì âèäå íà ðèñ. 4.
Êàê âèäíî èç ãðàôèêîâ, ïðè çíà÷åíèÿõ à>100 ìêì
ïîëå çîíû φ îáåñïå÷èâàåò ïðàêòè÷åñêè àääèòèâíûé
ñäâèã â ðàñ÷åòå êîíñòàíòû ÊÄ Kä.
Íà ðèñ. 5 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè êîíñòàíòû äàò-
÷èêà Kä ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ ð=à/ñ (b1=10 ìêì,
h=0). Èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî ïðè ð>1 èçìåíåíèå ñ
âûçûâàåò àääèòèâíûé ñäâèã â ðàñ÷åòå Kä.  òî æå
âðåìÿ îäèíàêîâîå ïðèðàùåíèå ñ (50 ìêì) íå ïðèâî-
äèò ê îäèíàêîâûì ïðèðàùåíèÿì â ðàñ÷åòå Kä.
Îñîáåííîñòè õîäà êðèâûõ íà ðèñ. 4 è 5 ïîçâîëÿ-
þò äëÿ èíæåíåðíûõ âû÷èñëåíèé àïïðîêñèìèðîâàòü
èõ ïðîñòåéøèìè ëèíåéíûìè óðàâíåíèÿìè y=ax+b.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ âëèÿíèÿ òîëùèíû ïëåíêè h íà
ðàñ÷åò À ðàññìîòðèì ïîãðåøíîñòü êîýôôèöèåíòà ïðå-
îáðàçîâàíèÿ, îáóñëîâëåííóþ íàëè÷èåì êîíå÷íîé òîë-
ùèíû ýëåêòðîäîâ:
0
.
GA A G
A G G G GG
φ = φ
ξ η λ µ φ
−
δ = =
+ + ++
Ðåçóëüòàòû âû÷èñëåíèé ñîãëàñíî ïîñëåäíåìó âû-
ðàæåíèþ ïðèâåäåíû íà ðèñ. 6. Èç ãðàôèêîâ ñëåäóåò,
÷òî ïðè òîëùèíå ïëåíîê ýëåêòðîäîâ ÊÁÑ áîëåå 5 ìêì
ó÷åò ñîñòàâëÿþùåé Gφ ïðè îäèíàêîâîé øèðèíå ýëåê-
òðîäà è çàçîðà (ð=1) îáÿçàòåëåí ïðàêòè÷åñêè ïðè âñåõ
çíà÷åíèÿõ çàçîðà.
Êä,
103 ìêì�1
0,12
0,08
0,04
0,00
0 50 100 150 200 à, ìêì
ð=1, h=18 ìêì
ð=2, h=18 ìêì
ð=1, h=35 ìêì
ð=2, h=35 ìêì
Ðèñ. 4
Êä,
103 ìêì�1
0,14
0,10
0,06
0,02
0 1 2 3 4 5 p
ñ=300 ìêì
250 ìêì
200 ìêì
150 ìêì
100 ìêì
ñ=50 ìêì
Ðèñ. 5
δ,
%
60
50
40
30
20
10
0
0 10 20 30 40 50 h, ìêì
ñ=50 ìêì, ð=1
ñ=100 ìêì, ð=1
ñ=200 ìêì,
ñ=100 ìêì,
ñ=200 ìêì, ð=5
ñ=200 ìêì, ð=10
Ðèñ. 6
ð=1
ð=2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
39
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Âûâîäû
1. Ñîâåðøåíñòâîâàíèå êîíäóêòîìåòðè÷åñêèõ áèî-
ñåíñîðîâ (ÊÁÑ) òðåáóåò âûñîêîé òî÷íîñòè îïðåäåëå-
íèÿ êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ èõ äàò÷èêîâ. Àâ-
òîðàìè ïðåäëîæåíî ñêðóãëèòü ïðÿìûå óãëû ýëåêòðîä-
íîé ñèñòåìû è ââåñòè ïÿòèêîìïîíåíòíóþ (âìåñòî
òðåõêîìïîíåíòíîé) ðàñ÷åòíóþ ìîäåëü ÊÁÑ.  ðåçóëü-
òàòå îáåñïå÷èâàåòñÿ áîëåå âûñîêàÿ òî÷íîñòü îïðåäå-
ëåíèÿ êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ êîíäóêòîìåòðè-
÷åñêîãî äàò÷èêà áèîñåíñîðà.
2. Îïèðàÿñü íà òó èëè èíóþ òåõíîëîãèþ íàíåñå-
íèÿ ýëåêòðîäîâ ìîæíî ïîëó÷èòü ðàñ÷åòíîå çíà÷åíèå
êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ ÊÁÑ è îöåíèòü ìåòðî-
ëîãè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè, â ÷àñòíîñòè ìåòîäè÷å-
ñêóþ ïîãðåøíîñòü, îáóñëîâëåííóþ òîëùèíîé ïëåíêè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ëîïàòèí Á. Â. Êîíäóêòîìåòðèÿ.� Íîâîñèáèðñê: ÑÎ ÀÍ
ÑÑÑÐ, 1964.
2. Òàáàêñ Ê. Ê. Ðàñ÷åò ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé äëÿ íåêîòîðûõ
çàäà÷ âûñîêî÷àñòîòíîãî íàãðåâà // Òð. Ìîñêîâñêîãî ýíåðãåòè÷å-
ñêîãî èí-òà. Òåîðåòè÷åñêèå îñíîâû ýëåêòðîòåõíèêè.� 1953.�
¹ 12.� Ñ. 157�165.
3. Olthuis W., Streekstra W., Bergveld P. Theoretical and
experimental determination of cell constants of planar-interdigitated
electrolyte conductivity sensors // Sensors and Actuators, B.� 1995.�
Vol. 24�25, N 1�3.� P. 252�256.
4. Ëåâèöêèé À. Ñ., Ìåäâåäåíêî Ì. Ï., Ìèõàëü À. À. Ðàñ÷åò
êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâàíèÿ ïëàíàðíîé ñèñòåìû ýëåêòðîäîâ ñ
ãðåáåí÷àòîé ãåîìåòðèåé // Òåõí³÷íà åëåêòðîäèíàì³êà.� 2006.�
¹ 5.� Ñ. 9�16.
5. Èîññåëü Þ. ß., Êî÷àíîâ Ý. Ñ., Ñòðóíñêèé Ì. Ã. Ðàñ÷åò
ýëåêòðè÷åñêîé åìêîñòè.� Ë.: Ýíåðãîèçäàò, 1981.
6. Èîññåëü Þ. ß. Îöåíêà åìêîñòåé â ñèñòåìàõ êîàêñèàëüíûõ
êîëüöåâûõ ýëåêòðîäîâ, ðàñïîëîæåííûõ íà ïëîñêîé ãðàíèöå äâóõ
äèýëåêòðè÷åñêèõ ñðåä // Ýëåêòðè÷åñòâî.� 1982.� ¹ 11.�
Ñ. 66�69.
7. ßâîðñêèé Á. Ì., Äåòëàô À. À. Ñïðàâî÷íèê ïî ôèçèêå.� Ì.:
Íàóêà, 1965.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Êëàðê Ý. Ð., Ýáåðõàðä Ê. Í. Ìèêðîñêîïè÷åñêèå ìåòîäû èññëåäîâàíèÿ
ìàòåðèàëîâ.� Ì.: Òåõíîñôåðà, 2007.� 376 ñ.
Çà ïîñëåäíèå äåñÿòèëåòèÿ â îáëàñòè ìàòåðèàëîâåäåíèÿ áûë ñîâåðøåí îãðîìíûé
ñêà÷îê âïåðåä. Îäíîâðåìåííî î÷åíü áûñòðî ðàçâèâàëèñü è îïòè÷åñêèå ìåòîäû
èññëåäîâàíèÿ ìàòåðèàëîâ. Â êîìïüþòåðíîé ìèêðîñêîïèè ïðîèçîøëè ñòîëü çíà-
÷èòåëüíûå èçìåíåíèÿ, ÷òî ïîÿâèëàñü ïîòðåáíîñòü â êíèãå, îïèñûâàþùåé âîç-
ìîæíîñòè íîâåéøèõ îïòè÷åñêèõ ìèêðîñêîïîâ, èñïîëüçóåìûõ äëÿ èññëåäîâàíèÿ
êîíñòðóêöèîííûõ ìàòåðèàëîâ.
 êíèãå ðàññìàòðèâàþòñÿ îñíîâû îïòè÷åñêîé ìèêðîñêîïèè, îïèñûâàþòñÿ ìåòî-
äû îïòè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé, êàê êëàññè÷åñêèå (ìåòîäû òåìíîãî ïîëÿ è èíòåð-
ôåðåíöèîííàÿ ìèêðîñêîïèÿ), òàê è íîâåéøèå, à òàêæå íåîïòè÷åñêèå � íàïðè-
ìåð, àêóñòè÷åñêèå è ðåíòãåíîâñêèå. Ðàññìàòðèâàåòñÿ ïîñòðîåíèå äâóìåðíîãî èçîá-
ðàæåíèÿ íà îñíîâå òðåõìåðíîãî ìàññèâà äàííûõ è ìåòîäû ïðåîáðàçîâàíèÿ öèô-
ðîâîãî èçîáðàæåíèÿ íà êîìïüþòåðå, èçó÷àåòñÿ ðàáîòà êîíôîêàëüíîãî ëàçåðíîãî
ñêàíèðóþùåãî ìèêðîñêîïà, ïðèâîäÿòñÿ ïðèìåðû òðåõìåðíîé ðåêîíñòðóêöèè
ñòðóêòóðû êîìïîçèòîâ.
Êíèãà áóäåò ïîëåçíà ó÷åíûì, ñïåöèàëèñòàì â îáëàñòè ìàòåðèàëîâåäåíèÿ, àñïè-
ðàíòàì.
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ãðèãîðüÿí Ñ. Ã. Êîíñòðóèðîâàíèå ýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ ñèñòåì àâòî-
ìàòèçàöèè è âû÷èñëèòåëüíîé òåõíèêè.� Ì.: Ôåíèêñ, 2007.� 303 ñ.
 ó÷åáíîì ïîñîáèè ðàññìîòðåíû êðàòêèå ñâåäåíèÿ èç ñòàíäàðòîâ, ôàêòîðû,
îïðåäåëÿþùèå êîíñòðóêöèþ è íàäåæíîñòü ýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ è ñèñòåì, íåñó-
ùèå êîíñòðóêöèè, ïðèáîðíûå êîðïóñà, êîìïîíîâêà áëîêîâ è øêàôîâ, ñðåäñòâà
îòîáðàæåíèÿ èíôîðìàöèè, êîíñòðóèðîâàíèå ïå÷àòíûõ ïëàò, ìèêðîñáîðîê, îáúåì-
íîãî ýëåêòðè÷åñêîãî ìîíòàæà, à òàêæå îïòîýëåêòðîííûå êîìïîíåíòû è óçëû.
Îïèñàíû ñïîñîáû îõëàæäåíèÿ, îáåñïå÷åíèÿ ïîìåõîçàùèùåííîñòè, ýëåêòðîìàã-
íèòíîé ñîâìåñòèìîñòè è âçðûâîçàùèùåííîñòè ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû, åå çà-
ùèòà îò ìåõàíè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé è àãðåññèâíîé âíåøíåé ñðåäû. Ðàññìîòðåíû
ìåòîäû èçãîòîâëåíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò è òåõíîëîãèÿ ñáîðêè ýëåêòðîííûõ óçëîâ, à
òàêæå ìåòîäû àêòèâèçàöèè ìûñëèòåëüíîãî ïðîöåññà ïðè ðåøåíèè òâîð÷åñêèõ
èíæåíåðíûõ çàäà÷.
Ïîñîáèå ïðåäíàçíà÷åíî äëÿ ñòóäåíòîâ, îáó÷àþùèõñÿ ïî ñïåöèàëüíîñòÿì íàïðàâ-
ëåíèÿ «Àâòîìàòèçàöèÿ è óïðàâëåíèå», à òàêæå ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíî ñòó-
äåíòàìè ðîäñòâåííûõ íàïðàâëåíèé è ïðàêòè÷åñêè âñåõ èíæåíåðíûõ ñïåöèàëü-
íîñòåé, ñâÿçàííûõ ñ ýëåêòðîííîé òåõíèêîé.
|