Ультразвуковая очистка оптико-механических систем
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52880 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-528802014-01-09T03:08:35Z Ультразвуковая очистка оптико-механических систем Томаль, В.С. Технологические процессы и оборудование Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность. 2007 Article Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Томаль, В.С. Ультразвуковая очистка оптико-механических систем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность. |
| format |
Article |
| author |
Томаль, В.С. |
| author_facet |
Томаль, В.С. |
| author_sort |
Томаль, В.С. |
| title |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_short |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_full |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_fullStr |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_full_unstemmed |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_sort |
ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880 |
| citation_txt |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT tomalʹvs ulʹtrazvukovaâočistkaoptikomehaničeskihsistem |
| first_indexed |
2025-07-05T04:23:01Z |
| last_indexed |
2025-07-05T04:23:01Z |
| _version_ |
1836779445580464128 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
57
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
11.04 2007 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. À. ÏÈËÈÏÅÍÊÎ
(ÃÖ "Áåëìèêðîàíàëèç", ã. Ìèíñê)
Â. Ñ. ÒÎÌÀËÜ
Ðåñïóáëèêà Áåëàðóñü, ã. Ìèíñê, ÐÓÏ �Îïòè÷åñêîå ñòàíêîñòðîåíèå
è âàêóóìíàÿ òåõíèêà�
E-mail: os_vt@mail.belpak.by
Èññëåäîâàíû ïðîöåññû î÷èñòêè îò çà-
ãðÿçíåíèé îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì
ñ ðàçëè÷íûìè âèäàìè ôóíêöèîíàëüíûõ
ïîêðûòèé è ðàçðàáîòàí ïðîöåññ óëü-
òðàçâóêîâîé î÷èñòêè, îáåñïå÷èâàþùèé
âûñîêóþ åå ýôôåêòèâíîñòü.
Âûñîêîå êà÷åñòâî îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì âî
ìíîãîì îïðåäåëÿåò êà÷åñòâî òîãî îáîðóäîâàíèÿ, â
êîòîðîì îíè èñïîëüçóþòñÿ, � ìåäèöèíñêîé àïïàðà-
òóðû, ýëåêòðîííîé òåõíèêè, êèíîôîòîàïïàðàòóðû è
êîíòðîëüíî-èçìåðèòåëüíûõ ïðèáîðîâ. Â ñàìèõ ñèñ-
òåìàõ áîëüøîå çíà÷åíèå èìååò ÷èñòîòà ïîâåðõíîñòè îò-
äåëüíûõ äåòàëåé è óçëîâ. Äàæå ìèíèìàëüíîå íàëè÷èå
ïîñòîðîííèõ âåùåñòâ íà îïòè÷åñêèõ ïîâåðõíîñòÿõ íå
ïîçâîëÿåò ïîëó÷èòü òðåáóåìûõ îïòè÷åñêèõ õàðàêòåðè-
ÓËÜÒÐÀÇÂÓÊÎÂÀß Î×ÈÑÒÊÀ
ÎÏÒÈÊÎ-ÌÅÕÀÍÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÈÑÒÅÌ
ñòèê, ÷òî âåäåò ê óâåëè÷åíèþ áðàêà, îòêàçàì ïðèáî-
ðîâ è àïïàðàòóðû â ïðîöåññå ýêñïëóàòàöèè, óâåëè÷å-
íèþ âåðîÿòíîñòè ïîëó÷åíèÿ íåäîñòîâåðíûõ äàííûõ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ ïðîáëåìà î÷èñòêè îïòè÷åñêèõ
äåòàëåé ïîñëå èõ èçãîòîâëåíèÿ ïðàêòè÷åñêè ðåøåíà
áëàãîäàðÿ ñîçäàííûì âûñîêîýôôåêòèâíûì óëüòðàçâó-
êîâûì ïðîöåññàì è âûñîêîïðîèçâîäèòåëüíîìó îáî-
ðóäîâàíèþ áåñïðîòèðî÷íîé î÷èñòêè [1, ñ. 126�146].
Îäíàêî ýòè ïðîöåññû íå îõâàòûâàþò î÷èñòêó îïòèêî-
ìåõàíè÷åñêèõ èçäåëèé, ò. ê. â äàííîì ñëó÷àå êðîìå
îïòè÷åñêîãî ñòåêëà î÷èñòêå ïîäâåðãàþòñÿ èçãîòîâëåí-
íûå èç ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ îïðàâû, à òàêæå ëàêî-
êðàñî÷íûå è ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïîêðûòèÿ, ïðèñóòñòâó-
þùèå íà îïòè÷åñêèõ äåòàëÿõ. Ñëîæíîñòü î÷èñòêè ëèíç
â îïðàâàõ âûòåêàåò èç ñî÷åòàíèÿ â îïòèêî-ìåõàíè÷å-
ñêèõ ñèñòåìàõ ìàòåðèàëîâ ñ ñèëüíî ðàçëè÷àþùèìèñÿ
ôèçèêî-õèìè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè � ëèíç èç ñòåêëà ñ
áûòü ïîëîæåíî â îñíîâó ãðàíè÷íî-çåðåííîé èíæå-
íåðèè â ïëåíêàõ CoSi2. Ìåòîä ëàòåðàëüíî íàïðàâ-
ëåííîãî ðîñòà èç ðàñïëàâà Co�Si ñ ïîìîùüþ ïîçè-
öèîíèðîâàíèÿ ýëåêòðîííîãî ëó÷à ïîçâîëÿåò óïðàâ-
ëÿòü çåðåííîé ìèêðîñòðóêòóðîé è ñîçäàíèåì ìîíî-
êðèñòàëëè÷åñêèõ îáëàñòåé ñ çàäàííûì ðàñïîëîæå-
íèåì ìåæçåðåííûõ ãðàíèö. Íåêîòîðûå òèïû ìîäåëü-
íûõ ñòðóêòóð, îñíîâàííûõ íà èñïîëüçîâàíèè áóôåð-
íîãî ñëîÿ CoSi2 ñ çàäàííûì ïîëîæåíèåì ìåæ-
çåðåííûõ ãðàíèö è ïðèìåíÿþùèõñÿ â òåõíîëîãèè
óñòðîéñòâ íà îñíîâå âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ ñâåðõïðî-
âîäíèêîâ, îïèñàíû â [9, 10].
Äàëüíåéøàÿ ïðîðàáîòêà îïèñàííîãî ìåòîäà ìîæåò
áûòü îñíîâîé äëÿ ñîçäàíèÿ òåõíîëîãèè ñàìîôîðìè-
ðóþùèõñÿ íàíîñòðóêòóðèðîâàííûõ êîìïîíåíòîâ
êðåìíèåâûõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì è åå èíòåãðàöèè ñ
òðàäèöèîííûìè ìåòîäàìè èçãîòîâëåíèÿ îñíîâíûõ
ýëåìåíòîâ íàíîýëåêòðîííûõ ñõåì.
Âûâîäû
Òàêèì îáðàçîì, èññëåäîâàíèå ïðîöåññîâ ëîêàëü-
íîãî çàðîæäåíèÿ è ïîñëåäóþùåé íàïðàâëåííîé ëàòå-
ðàëüíîé êðèñòàëëèçàöèè ñèëèöèäíîé ôàçû êîáàëüòà
íà ïîâåðõíîñòè ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ ïî-
êàçàëè, ÷òî âûäåëåíèå òåïëà ïðè ýêçîòåðìè÷åñêîé ðå-
àêöèè ñèëèöèäîîáðàçîâàíèÿ èíèöèèðóåò ïðîöåññ ñà-
ìîïîääåðæèâàþùåãîñÿ ëàòåðàëüíîãî ðàçðàñòàíèÿ è
ïîñëåäóþùåé êîàëåñöåíöèè ôàçû CoSi2. Ýòî ïîçâî-
ëÿåò öåëåíàïðàâëåííî è óïðàâëÿåìî ôîðìèðîâàòü íà-
íîðàçìåðíûå ñòðóêòóðû ìåòîäîì ñàìîîðãàíèçàöèè è
âîñïðîèçâîäèòü èõ ñ äîñòàòî÷íîé äëÿ ïðèêëàäíûõ öå-
ëåé òî÷íîñòüþ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Âàëèåâ Ê. À. Ìèêðîýëåêòðîíèêà: äîñòèæåíèÿ è ïóòè ðàçâè-
òèÿ.� Ì.: Íàóêà, 1986.
2. Ôåäîòîâ ß. À., Ùóêà À. À. Àëüòåðíàòèâû ðàçâèòèÿ ìèêðî-
ýëåêòðîíèêè // Ìèêðîýëåêòðîíèêà è ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáî-
ðû.� 1989.� Âûï. 10.� Ñ. 22�41.
3. Ìîððèñîí Ñ. Ð. Õèìè÷åñêàÿ ôèçèêà ïîâåðõíîñòè òâåðäîãî
òåëà.� Ì.: Ìèð, 1980.
4. Cross M. C., Hohenberg P. C. Periodic state in multiphase
systems // Rev. Mod. Phys.� 1993.� Vol. 65.� P. 851�857.
5. Áåëîóñîâ È. Â., Êóçíåöîâ Ã. Â., Ï÷åëÿêîâ O. Ï. Íàïðàâëåí-
íàÿ ëàòåðàëüíàÿ êðèñòàëëèçàöèÿ ñèëèöèäíîé ôàçû êîáàëüòà íà
ïîâåðõíîñòè êðåìíèÿ // Ôèçèêà è òåõíèêà ïîëóïðîâîäíèêîâ.�
2006.� Ò. 40, ¹ 8.� Ñ. 909�912.
6. Derrien J., Avitaya F. A. Thin metallic silicide films epitaxially
grown on Si(111) and their role in Si-metal-Si devices // Journ. Vac.
Sci. Technol.� 1987.� Vol. 5, N 4.� P. 2111�2120.
7. Tung R. T. Epitaxial silicide interfaces: fabrication and
properties // Ibid.� 1989.� Vol. 7, N 3.� P. 598�605.
8. Belousov I., Grib A., Linzen S., Seidel P.. Cobalt silicide
formation inside surface defects of a silicon substrate // Nuclear
Instruments and Methods in Physics Research.� 2002.� Vol. 186.�
P. 61�65.
9. Kumar F., Narayan J. Superconducting YBa2Cu3O7-δ thin films
on Si(100) substrates with CoSi2 buffer layers by an in situ pulsed laser
evaporation method // Appl. Phys. Lett.� 1991.� Vol. 59, N 14.�
P. 1785�1787.
10. Belousov I., Kus P., Linzen S., Seidel P. CoSi2 buffer films on
single crystal silicon with Ño ions pre-implanted surface layer for
YBCO/CoSi2 /Si heterostructures //Solid State Electronics.� 1999.�
Vol. 43.� P. 1101�1106.
58
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
îïòè÷åñêèìè è ëàêîêðàñî÷íûìè ïîêðûòèÿìè è ìåòàë-
ëè÷åñêèõ îïðàâ ñ çàùèòíûìè ïîêðûòèÿìè.
Ôóíêöèîíàëüíûå (îïòè÷åñêèå) ïîêðûòèÿ îïòè÷å-
ñêèõ èçäåëèé (ñì. ðèñ. 1) ïî íàçíà÷åíèþ ïîäðàçäåëÿ-
þò íà çåðêàëüíûå, ñâåòîäåëèòåëüíûå, ïðîñâåòëÿþùèå,
ôèëüòðóþùèå, çàùèòíûå ýëåêòðîïðîâîäÿùèå, ïîëÿ-
ðèçóþùèå. Îíè ìîãóò áûòü êàê îäíîñëîéíûìè, òàê è
ìíîãîñëîéíûìè (òàáë. 1), íàíåñåííûìè â ðàçëè÷-
íîé ïîñëåäîâàòåëüíîñòè.
Ïðè èçãîòîâëåíèè îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì
ïðèìåíÿþò ëàêîêðàñî÷íûå ìàòåðèàëû ñî ñïåöèàëü-
íûìè ñâîéñòâàìè � ñâåòîïîãëîùàþùèå è ñâåòîîò-
ðàæàþùèå. Âèíèë-õëîðèäíûå ýìàëè ÕÑ-543, ÕÑ-1107,
ýïîêñèäíûå ÝÏ-51, êðåìíèéîðãàíè÷åñêèå ÊÎ-843
íàíîñÿò âðó÷íóþ íà íåðàáî÷èå ïîâåðõíîñòè îïòè÷å-
ñêèõ äåòàëåé (ïî òîðöó äåòàëåé). Ïðè ýòîì êðåïëåíèå
ëèíç â îïðàâû îñóùåñòâëÿåòñÿ â îñíîâíîì òðåìÿ
ìåòîäàìè � çàâàëüöîâêîé, ðåçüáîâûì êîëüöîì,
ïðèæèìíûìè ïëàíêàìè. Äëÿ çàâàëüöîâêè èñïîëüçó-
þòñÿ ëàòóíè ËÑ59-1, Ë62, äþðàëþìèíèé Ä1, Ä6, Ä16,
íèçêîóãëåðîäèñòûå êîíñòðóêöèîííûå ñòàëè � 20 è
30. Ðåçüáîâûå êîëüöà âûïîëíÿþòñÿ èç àâòîìàòíûõ ñòà-
ëåé À12, À20, çàêàëåííîãî äþðàëþìèíèÿ Ä15, Ä6Ò,
Ä16Ò, ëèòåéíûõ àëþìèíèåâûõ ñïëàâîâ ÀË2, ÀË9,
ÀË13, à ïðèæèìíûå ïëàíêè � èç ñòàëåé 65Ò, Ó8À.
Èçãîòîâëåííûå îïðàâû äëÿ ïðåäîõðàíåíèÿ îò êîð-
ðîçèè ïîäâåðãàþòñÿ äîïîëíèòåëüíîé îáðàáîòêå: ñïëà-
âû àëþìèíèÿ è ìåäè � íàíåñåíèþ àíîäíî-îêèñíûõ
ïîêðûòèé (Àí. Îêñ), ñïëàâû àëþìèíèÿ � îêèñíûõ
õèìè÷åñêèõ (Õèì. Îêñ), ñòàëè � îêèñíûõ è ôîñôàò-
íûõ ïîêðûòèé. Çàãðÿçíåíèÿ íà îïðàâàõ îáû÷íî òå æå,
÷òî è íà ëèíçàõ, � îòïå÷àòêè ïàëüöåâ, ïûëü, îòäåëü-
íûå æèðîâûå ìàçêè.
Ëèíçû â îïðàâàõ â íàñòîÿùåå âðåìÿ ÷èñòÿòñÿ òàê
æå, êàê è äåñÿòêè ëåò íàçàä, � âðó÷íóþ, âàòíûì òàì-
ïîíîì, ñìî÷åííûì ñïèðòîýôèðíîé ñìåñüþ. Ïðîèç-
âîäèòåëüíîñòü òðóäà íèçêàÿ, êà÷åñòâî íåñòàáèëüíîå.
Èçâåñòíûå ôèðìû, çàíèìàþùèåñÿ ïðîèçâîäñòâîì
ïðîìûâî÷íîãî îáîðóäîâàíèÿ, «Øîëëåðøàëü», «Áàëü-
öåðñ», «Âàêî-Êî¸êè» è äðóãèå, ðåêëàìèðóþò îáîðó-
äîâàíèå òîëüêî äëÿ î÷èñòêè èíäèâèäóàëüíûõ îïòè-
÷åñêèõ äåòàëåé. Ïîýòîìó î÷åâèäíà íåîáõîäèìîñòü ðàç-
ðàáîòêè ïðîìûøëåííûõ ïðîöåññîâ è îáîðóäîâàíèÿ
äëÿ î÷èñòêè îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì â öåëîì,
÷òî è îïðåäåëèëî ïðîâåäåíèå íàñòîÿùåé ðàáîòû.
Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ î÷èñòêè ëèíç â îïðà-
âàõ äîëæåí îáåñïå÷èòü ÷èñòîòó è ñîõðàííîñòü îïòè-
÷åñêîé äåòàëè, îïòè÷åñêîãî ïîêðûòèÿ íà äåòàëè, ëà-
êîêðàñî÷íîãî ïîêðûòèÿ, çàùèòíîãî ïîêðûòèÿ îïðà-
âû. Èç áîëüøîãî ÷èñëà ðàñòâîðèòåëåé (âîäà, àöåòîí,
èçîïðîïèëîâûé ñïèðò, ýòèëîâûé ñïèðò, ïåòðîëåéíûé
ýôèð, òðèõëîðýòèëåí, ïåðõëîðýòèëåí, òðèõëîðòðè-
ôòîðýòàí) íàèáîëüøèé èíòåðåñ ïðåäñòàâëÿåò âîäà êàê
íåãîðþ÷èé íåòîêñè÷íûé ðàñòâîðèòåëü. (Âûøåïåðå-
÷èñëåííûå ñïèðòû, êåòîí è ýôèð ÿâëÿþòñÿ ãîðþ÷èìè
âåùåñòâàìè; õëîðèðîâàííûå óãëåâîäîðîäû òîêñè÷-
íû, îáëàäàþò êàíöåðîãåííûì è ìóòàãåííûì âîçäåé-
ñòâèåì, îáðàçóþò ñìîã è òðåáóþò óòèëèçàöèè îòõî-
äîâ ìåòîäîì çàõîðîíåíèÿ; õëàäîí ðàçðóøàåò îçîíî-
âûé ñëîé è óñèëèâàåò ïàðíèêîâûé ýôôåêò.)
Î÷èñòêà ëèíç â îïðàâàõ â âîäíûõ ìîþùèõ ðà-
ñòâîðàõ èññëåäîâàëàñü èíäèâèäóàëüíî äëÿ êàæäîãî
ìàòåðèàëà, âõîäÿùåãî â îïòèêî-ìåõàíè÷åñêóþ ñèñ-
òåìó. Âîçìîæíîñòü î÷èñòêè îïðàâ, ëèíç ñ îïòè÷å-
ñêèìè ïîêðûòèÿìè è ëèíç ñ ëàêîêðàñî÷íûìè ïîêðû-
Ðèñ. 1. Îïòè÷åñêèå èçäåëèÿ ñ ðàçëè÷íûìè ïîêðûòèÿìè
Òèïû è âèäû ïîêðûòèé
Óñëîâíîå
îáîçíà÷åíèå
Çåðêàëüíûå
Àëþìèíèðîâàíèå ðåçèñòèâíûì èñïà-
ðåíèåì ñ çàùèòíûì àíîäíûì îêñè-
äèðîâàíèåì
IÈ.21Å
Àëþìèíèðîâàíèå ðåçèñòèâíûì èñïà-
ðåíèåì ñ çàùèòíûì ñëîåì äâóîêèñè
êðåìíèÿ, íàíåñåííûì ýëåêòðîííî-
ëó÷åâûì èñïàðåíèåì
IÈ.41ÈÝ
Ñâåòîäåëèòåëüíûå
Ïîêðûòèå ïÿòèñëîéíîå ðåçèñòèâíûì
èñïàðåíèåì ñåðíèñòîãî öèíêà è
êðèîëèòà
(29È.23È)5 29È
Ïðîñâåòëÿþùèå
Ïîêðûòèå îäíîñëîéíîå ýëåêòðîííî-
ëó÷åâûì èñïàðåíèåì ôòîðèñòîãî
ìàãíèÿ
24ÈÝ
Ïîêðûòèå òðåõñëîéíîå àõðîìàòè÷å-
ñêîå ýëåêòðîííî-ëó÷åâûì èñïàðåíè-
åì îêèñè àëþìèíèÿ, äâóîêèñè öèðêî-
íèÿ è ðåçèñòèâíûì èñïàðåíèåì ôòî-
ðèñòîãî ìàãíèÿ è ïðîãðåâîì ñëîåâ
îêèñè àëþìèíèÿ è äâóîêèñè öèðêîíèÿ
35ÈÝ.(57ÈÝõ2)t.24ÈÝ
Ïîêðûòèå ïÿòèñëîéíîå àõðîìàòè÷å-
ñêîå ýëåêòðîííî-ëó÷åâûì èñïàðåíè-
åì äâóîêèñè öèðêîíèÿ è ðåçèñòèâíûì
èñïàðåíèåì ôòîðèñòîãî èòòðèÿ, ôòî-
ðèñòîãî ìàãíèÿ
97È.24È.97È.
(57ÈÝõ2).
24ÈÝ
Ôèëüòðóþùèå
Ôèëüòð óçêîïîëîñíûé II ïîðÿäêà
ñåðíèñòûé öèíê � ôòîðèñòûé ìàãíèé
Ó2 17-29-24
Ýëåêòðîïðîâîäÿùèå
Ïîêðûòèå îäíîñëîéíîå ðåçèñòèâíûì
èñïàðåíèåì òðåõîêèñè èíäèÿ ñ ïðè-
ìåñüþ 10%-íîé äâóîêèñè îëîâà ñ
òåðìîîáðàáîòêîé íà âîçäóõå è ïðî-
ñâåòëåíèåì ýëåêòðîííî-ëó÷åâûì èñ-
ïàðåíèåì äâóîêèñè êðåìíèÿ
69/58È.t.41ÈÝ
Òàáëèöà 1
Ôóíêöèîíàëüíûå ïîêðûòèÿ îïòè÷åñêèõ èçäåëèé
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
59
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
òèÿìè ïðîâåðÿëàñü ïî ñõåìå ïðîöåññà, ïîêàçàííîé
íà ðèñ. 2.
Î÷èñòêà ïðîâîäèëàñü â âàííàõ îáúåìîì 25 ëèò-
ðîâ. Ïðîöåññ î÷èñòêè èíòåíñèôèöèðîâàëñÿ íàëî-
æåíèåì óëüòðàçâóêîâûõ (ÓÇ) êîëåáàíèé ÷àñòîòîé
44±4 êÃö íà ðàñòâîðû â òðåõ âàííàõ è âîçâðàòíî-
ïîñòóïàòåëüíûì äâèæåíèåì êàññåò ñ ëèíçàìè è îïðà-
âàìè â âåðòèêàëüíîé ïëîñêîñòè. ÓÇ-âàííà áûëà
îñíàùåíà 12 ïüåçîêåðàìè÷åñêèìè ïðåîáðàçîâàòåëÿ-
ìè, ïîäêëþ÷åííûìè ê 3 áëîêàì ÓÇ-ãåíåðàòîðà. Ìî-
þùèé ðàñòâîð èìåë ðH=9,0.
Âîçäåéñòâèå ÓÇ-ïîëåé íà æèäêèå ñðåäû âûçûâàåò â íèõ ïðî-
öåññû êàâèòàöèè, à òàêæå ìàêðî- è ìèêðîïîòîêè â îáúåìå æèäêî-
ñòè, ïðèëåãàþùåé ê èçëó÷àþùåé ïîâåðõíîñòè âàííû. Çàõëîïûâà-
íèå êàâèòàöèîííûõ ãàçîâûõ ïîëîñòåé ñîïðîâîæäàåòñÿ îáðàçîâà-
íèåì óäàðíûõ ìèêðîâîëí, äàâëåíèå êîòîðûõ ìîæåò äîñòèãàòü
(1�5)·108 Ïà. Òàêèå ìèêðîóäàðû ðàçðóøàþò íå òîëüêî îêñèäíûå
ïëåíêè è çàãðÿçíåíèÿ íà îáðàáàòûâàåìîé ïîâåðõíîñòè èçäåëèé,
íî è â îïðåäåëåííîé ñòåïåíè èçìåíÿþò ìîðôîëîãèþ ïîâåðõíîñ-
òè. Âîçíèêàþùèå ìèêðî- è ìàêðîïîòîêè ñïîñîáñòâóþò óäàëåíèþ
çàãðÿçíåíèé è óñêîðåíèþ ïðîöåññà î÷èñòêè ìèêðîðåëüåôíîé ïî-
âåðõíîñòè [2]. Èñïîëüçîâàíèå ðàáî÷èõ ÷àñòîò â äèàïàçîíå îò 20
äî 120 êÃö îáåñïå÷èâàåò íåðàçðóøàþùóþ î÷èñòêó è óäàëåíèå ñ
ìèêðîðåëüåôíûõ ïîâåðõíîñòåé çàãðÿçíåíèé ðàçìåðîì äî 1 ìêì.
Î÷èñòêà îïðàâ ïðîâîäèëàñü ïðè òåìïåðàòóðå 25 è
40°Ñ áåç íàëîæåíèÿ ÓÇ-êîëåáàíèé íà ìîþùèé ðàñ-
òâîð è ïðè ðàáîòå îäíîãî, äâóõ èëè òðåõ áëîêîâ ãå-
íåðàòîðà (êàæäûé ìîùíîñòüþ 200 Âò) ïðè òåìïåðà-
òóðå ìîþùåãî ðàñòâîðà 40°Ñ. Êîíòðîëü î÷èñòêè íà
îòñóòñòâèå èçìåíåíèé íà çàùèòíûõ ïîêðûòèÿõ îïðàâ
îñóùåñòâëÿëñÿ âèçóàëüíî.
Ðåçóëüòàòû î÷èñòêè îïðàâ èç ðàçëè÷íûõ ìàòåðèà-
ëîâ ñ àíòèêîððîçèîííûìè ïîêðûòèÿìè ïðèâåäåíû â
òàáë. 2. Êàê âèäíî èç òàáëèöû, íà îïðàâàõ îñòàëèñü
ñëåäû íåîòìûòûõ çàãðÿçíåíèé.
Èñïîëüçîâàíèå ÓÇ-êîëåáàíèé â ðàñòâîðàõ (òàáë. 3)
ïîçâîëèëî ïîëó÷èòü ÷èñòûå îïðàâû, íî ïðè óñèëå-
íèè ÓÇ-êîëåáàíèé (âêëþ÷åíèå äâóõ è òðåõ áëîêîâ
ãåíåðàòîðà) íàáëþäàëèñü íàðóøåíèÿ çàùèòíûõ ïîêðû-
òèé îïðàâ. Êðîìå òîãî, îïðàâû íå îáåçâîæèâàëèñü,
íà íèõ îñòàâàëèñü êàïëè âîäû, ïðè âûñûõàíèè êîòî-
ðûõ îáðàçîâûâàëèñü ïÿòíà.
Ñ öåëüþ ïîâûøåíèÿ óñòîé÷èâîñòè çàùèòíûõ ïî-
êðûòèé îïðàâ ê âîçäåéñòâèþ ìîþùåãî ðàñòâîðà â ïî-
ñëåäíèé áûëè ââåäåíû èíãèáèòîðû êîððîçèè ìåòàëëà.
Êàê âèäíî èç òàáë. 4, ââåäåíèå èíãèáèòîðîâ ïîçâîëè-
ëî óñòðàíèòü êîððîçèþ îïðàâ, íî ïðèâåëî ê îáðàçîâà-
íèþ ïëåíîê íà ñòåêëå è äàæå ê êîððîçèè ñòåêëà.
Âîçìîæíîñòü î÷èñòêè ëèíç ñ ëàêîêðàñî÷íûìè
ïîêðûòèÿìè ïî òîðöó äåòàëåé òàêæå èññëåäîâàëàñü
ïðè íàëîæåíèè ÓÇ-êîëåáàíèé è áåç óëüòðàçâóêà. Óñòà-
íîâëåíî, ÷òî â îòñóòñòâèå óëüòðàçâóêà è ïðè íàëî-
æåíèè ÓÇ-êîëåáàíèé ìèíèìàëüíîé ìîùíîñòè (âêëþ-
÷åí îäèí áëîê ãåíåðàòîðà) ñîñòîÿíèå ïîêðûòèÿ íå
èçìåíÿåòñÿ. Ïðè âîçäåéñòâèè ÓÇ-êîëåáàíèé áîëüøåé
ìîùíîñòè (âêëþ÷åíû äâà è òðè áëîêà ãåíåðàòîðà) ïðî-
èñõîäèò íàðóøåíèå (÷àñòè÷íîå äèñïåðãèðîâàíèå) ëà-
êîêðàñî÷íîãî ïîêðûòèÿ.
Î÷èñòêå ïîäâåðãàëèñü òàêæå äåòàëè ñ îïòè÷åñêè-
ìè ïîêðûòèÿìè. Êà÷åñòâî ïîêðûòèé êîíòðîëèðîâàëîñü
âèçóàëüíî äî è ïîñëå î÷èñòêè â îòðàæåííîì è ïðîõî-
äÿùåì ñâåòå íà ôîíå ÷åðíîãî ýêðàíà, à òàêæå îöåíè-
âàëîñü ïî êîýôôèöèåíòó ñâåòîïðîïóñêàíèÿ íà ñïåê-
Ùåëî÷íîé ðàñòâîð ÏÀÂ
40°Ñ, 2 ìèí
Âîäà ïðîòî÷íàÿ
35°Ñ, 2 ìèí
Âîäà äèñòèëëèðîâàííàÿ
25°Ñ, 2 ìèí
Âîäà ïðîòî÷íàÿ
25°Ñ, 2 ìèí
Ðàñòâîð îáåçâîæèâàíèÿ
25°Ñ, 2 ìèí
Ðèñ. 2. Ñõåìà ýêñïåðèìåíòàëüíîãî ïðîöåññà î÷èñòêè
Ðåçóëüòàòû î÷èñòêè Ìàòåðèàë
îïðàâû
Àíòèêîððîçèîííàÿ
îáðàáîòêà 25°Ñ 40°Ñ
Àí. Îêñ
Íåò
èçìåíåíèé;
îñòàëèñü
îòïå÷àòêè
ïàëüöåâ
Íåò
èçìåíåíèé;
îñòàëèñü
îòïå÷àòêè
ïàëüöåâ
Ëàòóíü
Áåç îáðàáîòêè Òî æå Òî æå
Àí. Îêñ '' ''
Õèì. Îêñ '' '' Äþðàëþìèíèé
Áåç îáðàáîòêè '' ''
Ñòàëü Ôîñôàòíàÿ '' ''
Òàáëèöà 2
Ðåçóëüòàòû î÷èñòêè îïðàâ èç ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ
â ðàñòâîðå ÏÀÂ
Âêëþ÷åííûå áëîêè ÓÇ-ãåíåðàòîðà
Ìàòåðèàë
îïðàâû
Àíòèêîð-
ðîçèîííàÿ
îáðàáîòêà 1 áëîê 2 áëîêà 3 áëîêà
Ëàòóíü
Áåç
îáðàáîòêè
Àí. Îêñ
Íåò
èçìåíåíèé
Òî æå
Íåò
èçìåíåíèé
Íàðóøàåòñÿ
Íåò
èçìåíåíèé
Íàðóøàåòñÿ
Äþðàëþ-
ìèíèé
Õèì. Îêñ
Àí. Îêñ
''
''
''
''
''
''
Ñòàëü Ôîñôàòíàÿ '' '' ''
Òàáëèöà 3
Âëèÿíèå èíòåíñèâíîñòè ÓÇ-îáðàáîòêè ðàñòâîðîâ íà
ñîõðàííîñòü çàùèòíûõ ïîêðûòèé îïðàâ
Ìàòåðèàë îïðàâû
Èíãèáèòîð
Ëàòóíü Ñòàëü
Äþðàëþ-
ìèíèé
Ñòåêëî
Áèêàðáîíàò
êàëüöèÿ
Êîððîçèè
íåò
Êîððîçèè
íåò
Êîððîçèè
íåò
Ïëåíêà
íà ñòåêëå
Õðîìàò Òî æå Òî æå Òî æå
Êîððîçèÿ
ñòåêëà
Äâóçàìåùåííûé
ôîñôàò íàòðèÿ
'' '' '' Òî æå
Ìåòàñèëèêàò
íàòðèÿ
'' ''
Pàçðó-
øàåòñÿ
Ïëåíêà
íà ñòåêëå
Òàáëèöà 4
Ðåçóëüòàòû âîçäåéñòâèÿ ÏÀÂ ñ èíãèáèòîðàìè
êîððîçèè íà ìàòåðèàë îïðàâû è ñòåêëî
60
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
òðîôîòîìåòðå ÑÔ26. Ðåçóëüòàòû ýêñïåðèìåíòîâ ïðè-
âåäåíû â òàáë. 5.
Èññëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî â âîäíûõ ùåëî÷íûõ
ðàñòâîðàõ âîçìîæíà ïðîìûâêà äåòàëåé ñ îïòè÷åñêè-
ìè ïîêðûòèÿìè, âíåøíèé ñëîé êîòîðûõ óñòîé÷èâ ê
äåéñòâèþ 0,1 í. ðàñòâîðîâ ùåëî÷è.  ýòîì ñëó÷àå
íåñòîéêèå âíóòðåííèå ñëîè ïîêðûòèÿ íå ïîâðåæäà-
þòñÿ. Äëÿ ïîêðûòèé æå ñ íåñòîéêèì âíåøíèì ñëîåì
òðåáóåòñÿ ðàçðàáîòêà äðóãèõ ìîþùèõ ðàñòâîðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, î÷èñòêà ìåòàëëè÷åñêèõ îïðàâ,
ëèíç ñ îïòè÷åñêèìè ïîêðûòèÿìè, ëèíç ñ ëàêîêðàñî÷-
íûìè ïîêðûòèÿìè â âîäíîì ìîþùåì ðàñòâîðå è âîäå
ïîêàçàëà:
� â ùåëî÷íîì ìîþùåì ðàñòâîðå ïðè ðÍ=9,0 ñ
îïðàâ è ëèíç çàãðÿçíåíèÿ (îòïå÷àòêè ïàëüöåâ, ïûëü,
îòäåëüíûå æèðîâûå ìàçêè) óäàëÿþòñÿ ïðè òåìïåðà-
òóðå ðàñòâîðà 40°Ñ è íàëîæåíèè ÓÇ-êîëåáàíèé ÷àñ-
òîòîé 44±4 êÃö ìîùíîñòüþ 200 Âò (ïðè ðàáîòå îäíî-
ãî áëîêà ãåíåðàòîðà) â òå÷åíèå 2 ìèíóò;
� òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ î÷èñòêè â âîäíûõ ðàñ-
òâîðàõ è â âîäå íå ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàí äëÿ ëèíç
â îïðàâàõ, ò. ê. îïðàâû íå îáåçâîæèâàþòñÿ, íà íèõ
îñòàþòñÿ êàïëè âîäû, ïîñëå âûñûõàíèÿ êîòîðûõ îá-
ðàçóþòñÿ ïÿòíà;
� ùåëî÷íîé ìîþùèé ðàñòâîð ñ ðÍ=9,0 ïðè òåì-
ïåðàòóðå 40°Ñ ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàí â òåõíîëîãè-
÷åñêîì ïðîöåññå î÷èñòêè òîëüêî ÷àñòè íîìåíêëàòó-
ðû ëèíç â îïðàâàõ;
� öåëåñîîáðàçíî èññëåäîâàòü âîçìîæíîñòü î÷èñò-
êè ëèíç â îïðàâàõ ñ èñïîëüçîâàíèåì ðàñòâîðèòåëÿ,
èíåðòíîãî ïî îòíîøåíèþ ê îïðàâàì è ëèíçàì è ïî-
çâîëÿþùåãî îñóøàòü èõ íå îñòàâëÿÿ ñëåäîâ.
Èññëåäîâàíèÿ áûëè ïðîäîëæåíû ñ èñïîëüçîâàíè-
åì öèêëîãåêñàíà. Ó÷èòûâàÿ, ÷òî îðãàíè÷åñêèå ðàñòâî-
ðèòåëè íå óäàëÿþò îòïå÷àòêîâ ïàëüöåâ áåñïðîòèðî÷íî,
äëÿ óäàëåíèÿ çàãðÿçíåíèé áûë èñïîëüçîâàí ìîþùèé
ùåëî÷íîé ðàñòâîð, ïðîøåäøèé èñïûòàíèÿ ðàíåå.
Ñõåìà ïðîöåññà î÷èñòêè ñ öèêëîãåêñàíîì ïîêàçàíà
íà ðèñ. 3.
Ïðè î÷èñòêå ïðèìåíÿþòñÿ äâå âàííû ñ äåèîíèçè-
ðîâàííîé ïðîòî÷íîé âîäîé. Âîäà ïðîõîäèò ñëîæíóþ
ñèñòåìó îáðàáîòêè: î÷èñòêó îò ìåõàíè÷åñêèõ âêëþ-
÷åíèé, óìÿã÷åíèå, îáåññîëèâàíèå íà èîíîîáìåííûõ
ñìîëàõ, óäàëåíèå îðãàíè÷åñêèõ ïðèìåñåé, îáåççàðà-
æèâàíèå óëüòðàôèîëåòîâûì èçëó÷åíèåì. Îòðàáîòàí-
íàÿ âîäà ñëèâàåòñÿ â êàíàëèçàöèþ òîëüêî ïîñëå íå-
ñêîëüêèõ öèêëîâ åå èñïîëüçîâàíèÿ è, ñîîòâåòñòâåí-
íî, ïîñëå î÷èñòêè.
Äåòàëè, ïðîìûòûå ïî ñõåìå ðèñ. 3, áûëè ÷èñòûìè,
ïîð÷è ïîâåðõíîñòè ñòåêëà, ïîâðåæäåíèÿ îïðàâ è ïî-
êðûòèé íå íàáëþäàëîñü. Ñõåìà èñïîëüçîâàíà äëÿ ðàç-
ðàáîòêè òåõíè÷åñêèõ òðåáîâàíèé ê íîâîé óñòàíîâêå äëÿ
î÷èñòêè îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì, ò. ê. ñóùåñòâó-
þùåå îáîðóäîâàíèå (ÊÏ-2, ÐÒÊÏ-1) íå ðàññ÷èòàíî íà
èñïîëüçîâàíèå îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé.
Çàêëþ÷åíèå
Óñòàíîâëåíî, ÷òî î÷èñòêà â âîäíûõ ðàñòâîðàõ è â
âîäå íå ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíà äëÿ ëèíç â îïðà-
âàõ, ò. ê. îïðàâû íå îáåçâîæèâàþòñÿ, íà íèõ îñòàþò-
ñÿ êàïëè âîäû, ïîñëå âûñûõàíèÿ êîòîðûõ îáðàçóþò-
ñÿ ïÿòíà. Ùåëî÷íîé ìîþùèé ðàñòâîð ìîæåò áûòü èñ-
ïîëüçîâàí ïðè î÷èñòêå òîëüêî ÷àñòè íîìåíêëàòóðû
ëèíç â îïðàâàõ.
Ýêñïåðèìåíòàëüíî îïðîáîâàííûé òåõíîëîãè÷å-
ñêèé ïðîöåññ î÷èñòêè ëèíç â îïðàâàõ ñ èñïîëüçîâà-
íèåì îðãàíè÷åñêîãî ðàñòâîðèòåëÿ � öèêëîãåêñàíà
ïîêàçàë åãî ïåðñïåêòèâíîñòü ïðè óñëîâèè ñîçäàíèÿ
óñòàíîâêè äëÿ î÷èñòêè îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì
ñ ïðèìåíåíèåì îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Óëüòðàçâóêîâûå ïðîöåññû â ïðîèçâîäñòâå èçäåëèé ýëåê-
òðîííîé òåõíèêè. Ò. 2 / Ñ. Ï. Êóíäàñ, Â. Ë. Ëàíèí, Ì. Ä. Òÿâëîâ-
ñêèé è äð.� Ìèíñê: Áåñòïðèíò, 2003.
2. Òîìàëü Â. Ñ. Óëüòðàçâóêîâîå îáîðóäîâàíèå äëÿ ïðîöåññîâ
óäàëåíèÿ çàãðÿçíåíèé ñ ìèêðîðåëüåôíûõ ïîâåðõíîñòåé ýëåê-
òðîííî-îïòè÷åñêèõ èçäåëèé // Äîêëàäû ÁÃÓÈÐ.� 2007.� ¹ 1.�
Ñ. 40�45.
Êà÷åñòâî ïîêðûòèÿ
Ìàðêà ïîêðûòèÿ
Âíåøíèé âèä
Ñâåòîïðîïóñ-
êàíèå
IÈ21Å
Ïîêðûòèå
ïî÷åðíåëî
Îòñóòñòâóåò
IÈ41ÈÝ Áåç èçìåíåíèé Áåç èçìåíåíèé
(29È.23È)5 29È Ìóòíååò Óìåíüøèëîñü
24ÈÝ Áåç èçìåíåíèé Áåç èçìåíåíèé
35ÈÝ.(57ÈÝõ2).t.24ÈÝ '' ''
97È.24È.97È.(57ÈÝõ2) '' ''
Ó2 17-29-24 '' ''
69/58È.t.41ÈÝ '' ''
Òàáëèöà 5
Ðåçóëüòàòû î÷èñòêè äåòàëåé ñ ïîêðûòèÿìè
Ùåëî÷íîé
ðàñòâîð
40°Ñ; ÓÇ-ïîëå
Âîäà
ïðîòî÷íàÿ
Âîäà
ïðîòî÷íàÿ
Öèêëîãåêñàí
Öèêëîãåêñàí
Öèêëîãåêñàí +
îáåçâîæèâàòåëü,
Ó3-ïîëå, 2 ñòàäèè
Ðèñ. 3. Ñõåìà ïðîöåññà î÷èñòêè ñ öèêëîãåêñàíîì (öèêë
� 2 ìèí)
|