Ультразвуковая очистка оптико-механических систем
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность....
Saved in:
| Date: | 2007 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |