В портфеле редакции
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52899 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 61. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52899 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-528992014-01-09T03:09:11Z В портфеле редакции Библиография 2007 Article В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 61. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52899 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Библиография Библиография |
| spellingShingle |
Библиография Библиография В портфеле редакции Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| format |
Article |
| title |
В портфеле редакции |
| title_short |
В портфеле редакции |
| title_full |
В портфеле редакции |
| title_fullStr |
В портфеле редакции |
| title_full_unstemmed |
В портфеле редакции |
| title_sort |
в портфеле редакции |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Библиография |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52899 |
| citation_txt |
В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 61. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-07-05T04:23:57Z |
| last_indexed |
2025-07-05T04:23:57Z |
| _version_ |
1836779503792160768 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
61
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
óâåëè÷åíèÿ ∆T òîëùèíà âûðàùåííûõ ñëîåâ óâåëè-
÷èâàåòñÿ ëèíåéíî, à ñ óâåëè÷åíèåì ìàññû ââîäèìûõ
ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ êðóòèçíà ðîñòà âîçðàñòàåò. Ñ
äðóãîé ñòîðîíû, ïî ìåðå óâåëè÷åíèÿ èíòåðâàëà òåì-
ïåðàòóðû (∆T≠Const) ñîîòâåòñòâóþùèå òîëùèíû âû-
ðàùåííûõ ñëîåâ óâåëè÷èâàþòñÿ â çàâèñèìîñòè îò
êîíöåíòðàöèè ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ
(ðèñ. 3).
Òàêèì îáðàçîì, ïðè èçìåíåíèè óñëîâèé ðîñòà
ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ (íàïðèìåð èíòåðâàëà òåìïå-
ðàòóðû, ìàññû äîáàâëÿåìîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà) òîë-
ùèíà âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ èçìåíÿåòñÿ ïî çàäàâàå-
ìîìó çàêîíó ìåðû âûäàâëèâàíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëà-
âà.  ÷àñòíîñòè, ñ óâåëè÷åíèåì ãðàäèåíòà òåìïåðà-
òóðû òîëùèíà âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ âîçðàñòàåò, à ïî
ìåðå óâåëè÷åíèÿ òîëùèíû âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ êîí-
öåíòðàöèÿ ïðèìåñåé óìåíüøàåòñÿ.
Çàêëþ÷åíèå
Ñîïîñòàâëÿÿ èçâåñòíûå è ïðåäëîæåííûå íàìè
óñòðîéñòâà, ìîæíî çàêëþ÷èòü, ÷òî ÷åì øèðå âîçìîæ-
íîñòü âàðüèðîâàòü ñîñòàâ è ìàññó ðàáî÷èõ ðàñòâî-
ðîâ-ðàñïëàâîâ, òåì øèðå ôóíêöèîíàëüíûå ñâîéñòâà
óñòðîéñòâà. Åñëè ñ ïîìîùüþ îäíîïîðøíåâîãî
óñòðîéñòâà ìîæíî ïîëó÷àòü êîìáèíèðîâàííûì ñïîñî-
áîì âàðèçîííûå ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè [4], òî ñ ïî-
ìîùüþ èññëåäóåìîãî äâóõïîðøíåâîãî óñòðîéñòâà
ìîæíî óïðàâëÿòü ïðîôèëåì ðàñïðåäåëåíèÿ êîíöåí-
òðàöèè íîñèòåëåé ïî òîëùèíå âûðàùèâàåìûõ ñëî-
åâ ïóòåì ñìåøèâàíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ðàçëè÷-
íîé êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñåé. Óíèâåðñàëüíîñòü ìî-
äèôèöèðîâàííîãî óñòðîéñòâà â òîì, ÷òî ñ åãî ïîìî-
ùüþ ìîæíî îñóùåñòâèòü ýïèòàêñèàëüíûé ðîñò ñëî-
åâ íå òîëüêî ðàçëè÷íûìè ñïîñîáàìè (èçîòåðìè÷å-
ñêèì ñìåøèâàíèåì, ïðèíóäèòåëüíûì îõëàæäåíèåì),
íî è ïîëó÷àòü â åäèíîì ïðîöåññå ýïèòàêñèàëüíûå
ñëîè ñ ïåðåìåííûì ãðàäèåíòîì êîíöåíòðàöèè ïî òîë-
ùèíå.  èçîòåðìè÷åñêèõ óñëîâèÿõ íåîáõîäèìî ñî-
çäàòü óñëîâèÿ ïåðåñûùåíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ, è
ìîæíî ïîëó÷èòü ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè ïóòåì èõ ñìå-
øèâàíèÿ. Ìàòåðèàë ðàñòâîðèòåëÿ âûáèðàþò òàê, ÷òî-
áû ðàñòâîðèìîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà â
ïåðâîì ðàñòâîðå áûëà âûøå, ÷åì âî âòîðîì (íàïðè-
ìåð çà ñ÷åò äîáàâëåíèÿ âèñìóòà, åñëè îñíîâíîé ðàñ-
òâîð-ðàñïëàâ ñîäåðæèò ïðèìåñè îëîâà, à äîïîëíè-
òåëüíûé � ïðèìåñè òåëëóðà).
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. http://solidstate.karelia.ru/~tutorials/moel/seminars/2001_2002/
SolBat_FE/Fotoelectro/fotodiods.htm. Ôîòîäèîäû.
2. Ãðà÷åâ Â. Ì., Ñàáàíîâà Ë. Ñ. Ìåòîäû è àïïàðàòóðà æèäêîñò-
íîé ýïèòàêñèè.� Ì.: Öâåòìåò-èíôîðìàöèÿ, 1974.� Ñ. 7�13.
3. À. ñ. 913759 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè /
À. Â. Êàðèìîâ, Ì. Ìèðçàáàåâ, Ø. Ç. Ìèðòóðñóíîâ, Í. Ô. Ìóõèò-
äèíîâà.� 1981.
4. ̈ äãîðîâà Ä. Ì., Êàðèìîâ À. Â., Ãèÿñîâà Ô. À., Ñàèäîâà Ð. À.
Êîìáèíèðîâàííûé ñïîñîá âûðàùèâàíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé ÀIIIÂV // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðó-
èðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå (ÒÊÝÀ).� 2007.� ¹ 3.�
Ñ. 56�58.
5. Àíäðååâ Â. Ì., Äîëãèíîâ Ë. Ì., Òðåòüÿêîâ Ä. Í. Æèäêîñò-
íàÿ ýïèòàêñèÿ â òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ.�Ì.:
Ñîâ. ðàäèî, 1975.
6. Woodal I. M. Solution growth Ga1�xAlxAs superlattice structu-
res // J. Crystal Growth.� 1971.� Vol. 12, N 1.� P. 32�38.
7. Ìàòåðèàëû äëÿ îïòîýëåêòðîíèêè / Ïåð. ñ àíãë. Å. È. Ãåâàð-
ãèçîâà, Ñ. Í. Ãîðèíà.� Ì.: Ìèð, 1976.
8. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì., Þëäàøåâ Ø. Ø, Áîëòàåâà
Ø. Ø. Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñíîâû ïîëó÷åíèÿ ðåçêîãî ð�n-
ïåðåõîäà // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïà-
ðàòóðå (ÒÊÝÀ).� 2006.� ¹ 4.� Ñ. 59�60.
9. À. ñ. 1037795 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá ýïèòàêñèàëüíîãî íàðàùèâà-
íèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé òèïà À3Â5 / À. Â. Êàðèìîâ,
Ø. Ç. Ìèðòóðñóíîâ.� 1983.
10. À. c. 460826 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ìíîãî-
ñëîéíûõ ñòðóêòóð ìåòîäîì æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè / Â. Ì. Àí-
äðååâ, Þ. Â. Æèëÿåâ, Â. Ð. Ëàðèîíîâ, Â. Ã. Íèêèòèí.� 1977.
11. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì. Ôèçè÷åñêèå ÿâëåíèÿ â àð-
ñåíèäãàëëèåâûõ ñòðóêòóðàõ ñ ìèêðîñëîéíûì êâàçèèçîïåðèîäè-
÷åñêèì ïåðåõîäîì.� Òàøêåíò: Ôàí, 2005.
12. ×åðíÿåâ Â. Ì., Êîæèòîâ Ë. Â. Òåõíîëîãèÿ ýïèòàêñèàëü-
íûõ ñëîåâ íà àðñåíèäå ãàëëèÿ è ïðèáîðû.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1974.
d,
10�3 ñì
3,0
2,4
1,8
1,2
0,6
1,8 2,4 3,0 Nx, 1017 ñì�3
3
2
1
1 � ∆T=2°C
2 � ∆T=6°C
3 � ∆T=10°C
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü òîëùèíû âûðàùåííûõ ñëîåâ àðñåíè-
äà ãàëëèÿ îò êîíöåíòðàöèè ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëà-
âîâ äëÿ ðàçëè÷íûõ èíòåðâàëîâ òåìïåðàòóðû:
µGaAs=144,64; S=1,0 ñì2; ρGaAs=5,32 ã/ñì�3; AGa=69,72
Ïåðñïåêòèâû óêðàèíñêî-ïîëüñêîãî íàó÷íî-òåõíè÷åñêîãî ñîòðóäíè÷åñòâà. (Óêðàèíà, ã. Äíåïðî-
ïåòðîâñê; Ïîëüøà, ã. Âàðøàâà)
Ìåòîäèêà êàëèáðîâêè ÓÔ-ðàäèîìåòðîâ ýíåðãåòè÷åñêîé îñâåùåííîñ-
òè. (Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
Öèôðîâûå ãåíåðàòîðíûå ïðåîáðàçîâàòåëè ïîâûøåííîé ÷óâñòâèòåëü-
íîñòè äëÿ ñèñòåì óïðàâëåíèÿ è êîíòðîëÿ. (Ðîññèÿ, ã. Òîëüÿòòè)
Àâòîìàòèçèðîâàííàÿ ñèñòåìà ðåãèñòðàöèè öèêëîâ ïðè óñòàëîñòíûõ
èñïûòàíèÿõ. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Ø
Ø
Ø
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
|